169621. lajstromszámú szabadalom • Eljárás és készülék villamos ellenálláselem előállítására

169621 10 5. Az 1—4. igénypontok bármelyike szerinti eljárás foganatosítás! módja, azzal jellemezve, hogy a két energiasugár becsapódási helyeinek mozgását — a vezetőréteg egy-egy szélétől kezdődően — a vezetőréteg közepe irányában vezetjük. 5 6. Az 1—5. igénypontok bármelyike szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy a két energiasugár becsapódási helyeit különböző sebességekkel és/vagy időben változó sebességekkel vezetjük a forgó vezetőrétegen, annak forgástengelyével párhuzamosan. 10 7. Az 1—6. igénypontok bármelyike szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy a vezetőréteg forgássebességét a csavarvonal alakú barázdáknak a vezetőrétegben való előállítása folyamán változtatjuk. 8. Az 1—7. igénypontok bármelyike szerinti eljárás 15 foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy először a gyűrű alakú vezetőréteget végein egy-egy —^ különösen sapka vagy gyűrű alakú — csatlakozó elektróddal látjuk el és csak ezt követően látjuk el a villamos ellenállást növelő barázdákkal, továbbá, hogy a két csatlakozó 20 elektródot feszültségre kötjük és a vezetőrétegnek a két csatlakozó elektród közötti ellenállását ellenőrző mérőműszerre kapcsoljuk, és az ellenállásváltozást a vezetőrétegben előállított barázdák készítése közben ellenőrizzük. 25 9. A 8. igénypont szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy a két energiasugarat a két elektród közötti vezetőréteg ellenállásértékének kívánt végértékénél automatikusan lekapcsoljuk. 10. Az 1—9. igénypontok bármelyike szerinti eljárás 30 foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy optikai sugárforrásból, különösen lézerből kapott energiasugarat féligáteresztő tükör vagy prizma segítségével azonos intenzitású két részsugárra bontjuk és a két részsugarat oly módon térítjük el, hogy azok a forgó vezetőréteget 35 annak egymáshoz képest axiálisan eltolt helyein érik el és mindegyik részsugarat a vezetőréteg elérésé előtt pont alakú becsapódási helyet előállító eszköz, különösen gömblencse vagy hengerlencse segítségével fókuszáljuk. 40 11. A 10. igénypont szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy a két részsugár becsapódási helyeinek axiális eltolását a vezetőréteg forgástengelyére merőlegesen elhelyezett tengely körül forgatható, a becsapódó részsugarat a vezetőrétegre vetítő tükörrel végezzük. 12. Az 1—9. igénypontok bármelyike szerinti eljárás foganatosítási módja azzal jellemezve, hogy energiasugárként elektronsugarat alkalmazunk oly módon, hogy egy elektronsugárforrásból megfelelően kialakított diafragmákkal két részsugarat állítunk elő és a két részsugarat villamos és/vagy mágneses terek segítségével a forgó vezető rétegre vetítjük, miközben a vezetőréteg elérése előtt elektronoptikai eszközök segítségével pont alakú becsapódási folttá fókuszáljuk azokat. 13. Készülék, az 1—11. igénypontok bármelyike szerinti eljárás foganatosítási módja, amelynek lézer-sugárforrást, a lézer-sugarat két részsugárra felbontó, azokat eltérítő és az ellenállás felületére egymástól tengelyirányban eltolt helyre fókuszáló optikai eszközei, valamint az ellenállást tengelye körül forgató mechanikus észköze van, azzal jellemezve, hogy a lézer-sugár (1) útjában féligáteresztő tükör (2) van ferdén elhelyezve, a féligáteresztő tükrön (2) áthaladó részsugár (4) útjában a részsugarat (4) az ellenállás (R) felületére vetítő, tengely (Al) körül forgatható tükör (6) van elrendezve, a féligáteresztő tükörről (2) visszaverődő részsugár (3) útjában rögzített tükör (5) van elhelyezve, a rögzített tükörről (5) visszavert részsugár (3) útjában második, a részsugarat (3) az ellenállás (R) felületére vetítő, tengely (A2) körül forgatható tükör (7) van elrendezve. 14. A 13. igénypont szerinti készülék kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy mindegyik részsugár számára mozgatható, a forgó vezetőrétegen a becsapódási helyet axiálisan eltoló tükröt tartalmaz. 15. A 13. vagy 14. igénypont szerinti készülék kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy a forgó gyűrű alakú vezetőrétegre becsapódó energiasugarat fókuszáló optikai eszközöket, különösen gömblencséket vagy hengerlencséket, vagy megfelelő homorú tükröket tartalmaz. 1 lap rajz, 3 ábra A kiadásért felel: a Közgazdasági és Jogi Könyvkiadó igazgatója 77.4633.66-42 Alföldi Nyomda, Debrecen — Felelős vezető: Benkő István igazgató 5