169621. lajstromszámú szabadalom • Eljárás és készülék villamos ellenálláselem előállítására

5 169621 6 be, hogy a két rész-barázda az előre meghatározott Re vezetőréteg ellenállásérték elérésekor a vezetőréteg közepén találkozzon. Minden esetre ajánlatos, hogy a gyártásnál gondoskodjunk arról, hogy a két energiasugár, illetőleg az energia részsugarak bekapcsolódjanak, amikor a vezetőréteg ellenállása a két elektród között a kívánt végértéket elérte. A továbbiakban az 1. és 2. ábra kapcsán olyan találmány szerinti eljárást ismertetünk, amelynél optikai sugárforrásból, különösen lézerből kiinduló energiasugarat féligáteresztő tükör vagy prizma segítségével két kb. azonos intenzitású rész-sugárra bontjuk és a két részsugarat oly módon térítjük el, hogy azok a forgó vezetőréteget egymáshoz képest axiálisan eltolt helyeken érik el és ezen részsugarak mindegyikét a vezetőréteg elérése előtt pont alakú becsapódási helyet biztosító eszköz segítségével, különösen gömblencsével vagy hengerlencsével fókuszáljuk. Emellett gondoskodunk arról is, hogy a két részsugár becsapódási helyeit a vezetőréteg forgástengelyére merőlegesen elhelyezett tengely körül elforgatható és a rája becsapódó részsugarat a vezetőrétegre vetítő tükör alkalmazásával axiális irányban eltoljuk. Az 1. ábrán egy optikai energiasugár két részsugárra bontásának elvét és a két részsugárnak a forgó vezetőrétegre való fokuszálását ábrázoltuk egyszerűsített módon, példaképpen, a találmány szerinti eljárás egy előnyös foganatosítási módjaként, míg a 2. ábrán a két részsugárnak vezetőrétegre való becsapódási helyének axiális eltolódását előidéző részletet szemléltettük az 1. ábra szerinti A nyíl irányában tekintve. Az ábrán nem ábrázolt fényforrásból előnyösen lézer sugárzóból vagy infravörös sugárzóból kibocsátott 1 energiasugarat féligáteresztő 2 tükör (vagy pedig egy megfelelően ható optikai prizma) két 3 és 4 részsugárra bontja; a részsugarak intenzitása kb. azonos. Ezután a két 3 és 4 részsugarat sík 5 és 6 tükrök mindenkor 90 fokkal eltérítik. Egy további 7 tükör mégegyszer eltéríti a 3 részsugarat, úgyhogy a két 3 és 4 részsugár együttesen kb. derékszögű négyszöget határol, amint ez az 1. ábrán világosan látható. A két 3 és 4 részsugár ellentétes irányokból érkezik a csavarvonalas menetekkel ellátandó 8 vezetőréteg felületére. Ezt a vezetőréteget a menetkiképzés folyamata alatt például B nyíl irányában a rajz síkjára és gyakorlatilag a két 3 és 4 részsugárra merőlegesen orientált C forgástengely körül — amely egyben az ellenálláselem (példánk esetében hengeres) R szigetelő magjának szimmetriatengelye — forgásban tartjuk. Példánk esetében a 2 és 5 tükrök rögzítettek, míg a 6 és 7 tükrök elforgathatóan vannak ágyazva és forgástengelyük az 1. ábra rajzsíkjába esik. Amikor a tükröket ezen tengely körül forgatjuk, a megfelelő 3, ill. 4 energiasugár becsapódási pontja a 8 vezetőrétegen a C forgástengellyel párhuzamosan eltolódik. Annak érdekében, hogy a két 3 és 4 részsugárnál pont alakú becsapódási felületeket kapjunk, megfelelő fókuszáló eszközöket alkalmazunk, példánk esetében 9 és 10 gömblencséket. Ezek biztosítják, hogy a 8 vezetőrétegen a becsapódási foltok pont alakúak legyenek és az energiahordozó 3 és 4 részsugarak által „leírt" barázda a 8 vezetőrétegen vonalszerű legyen. A 3 és 4 részsugarak intenzitását úgy állítjuk be, hogy a 8 vezetőréteg anyaga a mindenkori becsapódási helyen, és csak ezen, lehetőleg azonnal elpárologjon. Amennyiben szükséges, a 8 vezetőrétegen való menetképzés folyamán gondoskodunk arról, hogy maga a vezetőréteg és az őt hordozó mag ne melegedjék túlságosan és a vezetőréteg mindazokon a helyeken megmaradjon, ahol azt nem érik a 3 és 4 részsugarak. Ha a két 6 és 7 tükröt elég messze helyezzük el a menettel ellátandó vezetőrétegtől, már kis a elfordulási szög elégséges ahhoz, hogy a két 3 és 4 részsugár összesen szükséges D axiális eltolását biztosítsuk a teljes vezetőréteg mentén. A fokuszálást ekkor adott esetben mindenkor egyetlen, megfelelően nagy gyújtótávolságú 9 és 10 gömblencsével tudjuk biztosítani. Egyrészt a 6 tükör és a 10 gömblencse és másrészt a 7 tükör és a 9 gömblencse szerepe kombinálható oly módon, hogy a 6 és 7 tükröket előnyösen szferikus homorú tükrökkel helyettesítjük, amelyeknek gyújtótávolságát oly nagyra választjuk, hogy azok az energiahordozó 3 és 4 részsugarakat pont alakban képezik le a forgó 8 vezetőrétegen. Ebben az esetben a 9 és 10 gömblencsék fölöslegesek. Még egyszerűbb, ha a két 3 és 4 részsugár 19 és 20 becsapódási helyének eltolását az elvégzendő axiális eltolás mértéke szerint előre meghatározzuk és a D axiális eltolást a forgó 8 vezetőréteg axiális eltolásával végezzük, miközben a 3 és 4 részsugarak sugármenetét azonos helyzetben tartjuk. A két 3 és 4 részsugarat megfelelő tükörrendszer segítségével oly módon téríthetjük el, hogy azok ugyanazon oldalról érkezve érik el a Vezetőréteget. Ezt a lehetőséget előnyösen akkor alkalmazzuk, ha energiasugárként elektronsugarat használunk, amelyet egy elektronsugárforrás bocsát ki és megfelelően kialakított diafragmák segítségével bontunk két részsugárra. A két részsugarat ekkor villamos és/vagy mágneses terek segítségével vetítjük a forgó vezetőrétegre és még a vezetőréteg elérése előtt elektronoptikai eszközök segítségével pont alakú becsapódási folttá fókuszáljuk. Ezt a folyamatot egyszerűsített alakban a 3. ábra kapcsán ismertetjük. Amint a rajzon látható, 11 izzókatód és 12 anód segítségével vákuumban az anód és a katód között 13 elektronsugarat állítunk elő. A 12 anódon két azonos méretű 14 és 15 nyílás van és ezeken keresztül lépnek ki a 13 elektronsugár 16 és 17 részsugarai abba a térbe, amely a 12 anód és a C forgástengely körül forgó 8 vezetőréteg között van. Ali izzókatód, valamint a 12 anód méretei, a lyukdiafragma-szerű 14 és 15 nyílásokkal oly módon vannak kialakítva, hogy a két 17 és 16 részsugár egymáshoz képest axiálisan eltolt 19 és 20 becsapódási helyeken érik el a forgó 8 vezetőréteget. A két 16 és 17 részsugár között a C forgástengelyre merőlegesen 21 eltérítő lemez van elhelyezve, amelyet a 16 és 17 elektronsugarakhoz képest változtatható feszültségű 22 feszültségforrásról negatív potenciálra töltünk. Ezen negatív feltöltés következtében a 16 és 17 részsugarak 19 és 20 becsapódási helyeit a forgó 8 vezetőrétegek irányában el tudjuk mozgatni. Ha a két 19 és 20 becsapódási helyet azonos irányban kívánjuk mozgatni, az úgy történhet, hogy a 8 vezetőréteget a C forgástengely irányában eltoljuk. Annak érdekében, hogy éles, pont alakú becsapódási foltot kapjunk, járulékos elektronoptikai eszközöket (olyan villamos és/vagy mágneses lencséket, amelyek célszerűen függetlenek egymástól és a két 16 és 17 részsugártól) alkalmazunk a 12 anód és a forgó 8 vezetőréteg közötti térben. Annak érdekében, hogy az elektronsugár intenzitáscsökkenését elkerüljük, legkedvezőbb volna, ha a forgó vezetőréteget a vákuumtéren belül helyeznénk el, amelyben a 16 és 17 részsugarakat előállító eszközök vannak. Egyszerűbb azonban, ha a két 16 és 17 részsugarat Le-10 15 20 25 30 35 40 45 50 55 60 3