169204. lajstromszámú szabadalom • Mágnesfej és eljárás annak előállítására

5 169204 6 1. ábra a találmány szerinti mágneses transzduktort alulnézetben mutatja be, a 2. ábra az 1. ábra szerinti transzduktor tekercselésének példaképpeni vázlatrajza, 3. ábra a találmány szerinti maszkok kialakításának lehetőségét példaképpen szemlélteti, a 4. és 5. ábrák viszont kiterített állapotban — erősen vázlatosan- mutatják be a hordozórétegen-az egyes rétegek elhelyezkedését. A 4. ábra a mágnesfej szimmetriatengelye által meghatározott réteg-elrendezést, az 5. ábra pedig a szimmetriatengelyre merőleges irány szerinti rétegelrendezést mutatja. A két tengelyt all és 12 mágnesrétegek határozzák meg. A találmány szerinti mágnesfej előállításához - ami zárt, légüres térben felgőzölögtető eljárással történik — olyan 50 maszkokra van szükség, amilyent a 3. ábrán látunk. Az 50 maszkoknak különböző alakú 1-9 kivágásai vannak, melyeket a 10 hordozóréteg felületén lehet elhelyezni úgy, hogy a zárt térben (a rajzon nem ábrázoltuk) egymás után, a megfelelő sorrendben, az e célra alkalmas mechanizmus segítségével — mely hagyományos vezérlésű pozícionáló berendezés - a kivágások méretének és elhelyekedésének függvényében előre meghatározott program szerint helyezzük el egymás felett. A rétegek felhordása célszerűen egy 51 résen keresztül történik, melynek hasznos keresztmetszete a 10 hordozóréteg szélességével megegyezik. A zárt térre csatlakoznak a mágneses, a vezetőtulajdonságú és szigetelőanyagokat a hordozórétegre vivő berendezés 52, 53, 54 beömlőnyílásai. Ezt úgy kell érteni, hogy a zárt téren belül vannak, s ez azért van így, hogy a felgőzölt rétegek a hordozórétegen egyenletesen tudjanak eloszlani. Ez egyébként önmagában ismert technológia, melyet általában vékony rétegek kialakításához alkalmazunk. A maszk megkívánt pozíciójának megfelelően, a megfelelő anyagot tartalmazó tartály beömlőnyílását nyitjuk, előzőleg az adott anyagot például melegítéssel alkalmassá teszünk a felgőzölögtetésre. Ez utóbbi eljárás önmagában szintén ismert technológia. Az így kialakított rétegek mindegyike a maszk kivágása szerinti formát és pozíciót veszi fel. A maszk kivágása szerinti példák - amelyek révén az m mágnesréteget alakítjuk ki — a mágnesfej pólusrészének felelnek meg, a kiterített ábrákon látható 11 és 12 első és második mágnesréteghez tartozó kivágásoknál pedig látjuk, hogy ezek szélei a maszk 3. ábrán látható 1 kivágásának magasságával elvágóan vannak kiképezve. A mágneses rétegek felgőzölés után a 10 hordozóréteg elülső szélével elvágóan helyezkednek el. A 3, 4, 6 kivágásoknak megfelelő pozicionálás alkalmával a maszk olyan helyzetet foglal el, mely mellett a mágnesfej dielektromos rétegének kialakítása hajtható végre. A 3 kivágás U-alakú, míg a 4 és 6 kivágások szimmetrikus helyzetűek, a mágnesréteg közpvonalához, mint szimmetriatengelyhez viszonyítva, s ha ezeket egymás fölé helyezve képzeljük el, akkor világosan látható, hogy a 4 és 6 kivágások a 3 kivágás felett, a 4, 6 kivágások pedig egymáshoz képest központos elhelyezkedésű derékszögű formát alkotnak, mely forma oldalait a rétegszerkezetben levő 11, 12 első és második mágnesrétegek a 3 kivágásból kiindulva - a dielektromos réteg keresztirányú ágai 5 lefödik. A 2, 3, 4, 5, 6, 7, 8, 9 kivágások meghatározzák a c vezetőrétegek helyét a hordozórétegen. Ha a 2, 5, 7 és 9 kivágásokat egymás fölé helyezzük, s ugyanakkor az egyes rétegek kialakításánál szigetelőrétegeket gőzölünk a vezetőrétegek 10 közé, akkor ennek eredményeképpen egy lapos tekercs jön létre, melynek egy menete van és a 8 kivágás határozza meg a tekercskivezetést. A d dielektromos és c vezetőrétegek ilymódon történő kombinációjából az is látható, hogy egy olyan 15 tekercset kapunk, melynek menetei egymás felett, de egymástól elszigetelten helyezkednek el úgy, hogy a tekercs folyamatossága nem szakad meg. Ezt például a következő, kivágás-kombináció révén biztosíthatjuk: 2-3-4-5-6-3-4-5-6-9. Arra 20 azonban figyelemmel kell lenni, hogy a tekercs mindkét oldalán például a 3 kivágásnak és az 1 kivágásnak megfelelően a rétegek úgy legyenek kialakítva, hogy a mágnes-tekercs szerkezetében a menetek a mágnesrétegek alatt záródjanak de a 25 mágnesrétegeken kívül és ahhoz egészen közel. így a tekercs optimális kialakítású és szerkezetileg jó lesz. Amikor azt mondjuk, hogy a mágnesrétegek „alatt" záródjanak a menetek, azt értjük, hogy a tekercs menetei lehetőleg a mágnesrétegeken kívül 30 legyenek kialakítva. A különböző rétegek és ezek elhelyezkedése az 1. ábrából látható, amelyet úgy kell elképzelni, hogy a rétegszerkezetet alulról nézzük. A vezető tulajdonságú és mágneses rétegek teljes vonallal 35 vannak kihúzva, míg a szigetelő, ill. dielektromos rétegek szaggatott vonallal vannak ábrázolva. A 2. ábra szerinti tekercs-szerkezet kiterítve a 4. és 5. ábrán látható. Miután az első 11 mágneses réteget Idalakt 40 tottuk, — ahol a maszk az 50 nyíláson átdugva az 1 kivágással kerül a hordozórétegre, az 52 beömlőnyílással zárt tartályban levő anyagot előkészítjük, felgőzöljük, majd utána a 3 kivágással rendelkező maszkot helyezzük el a 10 hordozórétegre és az 45 53 beömlőnyílással zárt tartályban levő anyagot visszük a hordozórétegre. Ekkor a 31 első szigetelőréteg az első 11 mágneses réteg fölé kerül, s így all első mágneses réteget oldalt — a 3 kivágás oldalágai révén - kiegészíti. Feltételezzük, hogy 50 jobbmenetű tekercsről van szó, ennek folytán a következő réteg (a 4. ábrán) a második kivágás szerinti réteg kerül a 31 első szigetelőréteg fölé, mimellett az ezen nyíláson keresztül felhordott rétegformáció baloldali ága (lásd a 3. ábrát) a hor-55 dozóréteg hátulsó széléhez illeszkedik (lásd az 1. és 4. ábrát). Ezután kerül sor a 3 kivágású maszk ismételt elhelyezésére, s ennek segítségével egy új járulékos 32 szigetelő réteget visszük fel: ennek révén a / 60 vezetőtulajdonságú 2 kivágáson keresztül felvitt réteg keresztirányú ágát és ennek oldalsó, függőleges ágainak egy részét elfödjük. így a 2 kivágáson keresztül felvitt réteg hosszabbik oldalágát lefedő réteg felett, a maszk 4 kivágásán keresztül egy 65 második 41 szigetelő réteg jön létre. A kereszt-3