166303. lajstromszámú szabadalom • Vákuumgőzölő berendezés

166303 10/ ten érintkezve a bordázott 6a házzal, annak hőjét elvonva a 88a csőcsonkon át a szabadba távozik. A találmány szerinti nagyvákuumos gőzölögtető berendezésnek az ismertetett új megoldású részek mellett, azok kapcsolatának és működésének biztonságát szolgáló további új szerkezeti megoldásai is vannak. így pl. a vákuumtérbe átmenő, mozgást, ill. fogást végző elemek ágyazására, pL szerkezetek forgató meghajtására vagy a vákuum szelep működtetéséhez szükséges forgó és csüszómozgást közvetítő tengelyek, csapok tömítőzárású átvezetése is újszerűen van megvalósítva. Ilyen van pl. alkalmazva a 3. ábrán szemléltetett kétutas szelep forgást végző 29 tengelyének 28 tömítő szerkezeténél, amit részletesebben a 20. ábra szemléltet. A tömítő szerkezet a 29 tengelyt ágyazó, csatlakozó nyakkal kiképezett 89 tárcsája révén alkalmas a szelepházba vagy asztallapba való beépítésre. A 89 tárcsához illeszkedik a legalább egy 93 zsírzószemmel ellátott 90 zárógyűrű, melyet a 91 tárcsa zár le. A 89 és 91 tárcsák szolgálnak egyben a 29 tengely csapágyául is. A tömítés olyan módon történik, hogy a rugalmas 92 lapok a 89 és 91 tárcsák belső kúpos felületét követik, miáltal a 29 tengely számára kivágott lyuk befelé néző pereme megtágul, viszont a tárcsák felőli oldalon a lyuk összeszűkül és kis felületen körkörösen a tengelyhez van szorítva. Az így kiképzett kúpos körgyűrű tér 94 tömítőzsírral, pl. szilikonzsírral tölthető fel, ami biztosítja a tökéletes zárást úgy forgó, mint ki-be mozgás esetében. A kúpos körgyűrű térbe ugyancsak a találmány szerint a 94 tömítőzsír mellett térfogatkitöltő rugalmas 95 elemet, pl. gumigyűrűt lehet elhelyezni, amely tágulásával kompenzálja a tömítőzsír elszivárgását. A 92 lapok és a 29 tengely között a szilikonzsírt befogadó rések is vannak, amelyek kizárják a levegőmolekulák átáramlását. A 21. és 22. ábrák a találmány szerinti berendezésben alkalmazott nagyvákuumos csővezetékek új megoldású bilincses csatlakozószerelvényét szemléltetik. Szerelésnél előnyös és sokszor szükséges is csövek olyan összekötése, ahol több irányban megtört fémcsöveket alkalmazva, azok feszültségétől függetlenül, a csatlakozó csődarab saját feszültségmentes helyzetét megtartva csatlakozhat, és ezzel a zárófelületek feszültségmentes párhuzamos állását biztosítja. Ilyen csúszókötés célszerű pl. a diffúziós 6 szivattyú és a 11 cső közötti 10 csatlakozónál (1. ábra). A 21. ábrán a 96 cső célszerűen kiképzett kúpos 96a csőpereménél helyezkedik el a 97 tömítő gyűrű. A csatlakozó 98 cső hosszirányú helyzete változtatható oly módon, hogy az a 96 cső belsejében tengelyirányban elcsúszhat, és feszültségmentes helyzetében bárhol megállhat. A 98 csőre van ráhúzva a kúpos 99 záróidom. A 97 tömítő gyűrűhöz illeszkedő 96a csőperemet és 99 záróidomot a belül kúposán kialakított két 100 szorítótest szorítja össze oly módon, hogy a szorító testek célszerűen kiképzett hornyába 101 szalagbilincs fekszik be, amelyet függőleges szárai révén a 102 csavar húz össze, biztosítva ezzel a 96 és 98 cső relatív rögzítését. Ez a csatlakozószerelvény egyszerű gyártástechnológiával készülhet, mivel alkatrészei sima forgástestek, ugyanakkor biztonságos zárást biztosít és nagy húzóerőt tud elviselni. A gőzölendő tárgyak forgatását az 1. ábrán látható motor forgásközvetítő áttétel közbeiktatásával végzi. Ez továbbá a nagyvákuumos technikában eddig is alkalmazott diffúziós és rotációs szivattyúk, a 14 pufferedény, valamint a berendezés üzembiztos működéséhez előírásszerűen js alkalmazandó kezelő és biztosító szerelvények (nyomásmérők stb.) önmagukban ismert szerkezetek, ezért leírásukat mellőzzük. 5 Szabadalmi igénypontok 1. Vákuumgőzölő berendezés, amelynek gőzolőtere egyrészt elővákuumot előállító szivattyúhoz, másrészt nagyvákuumot előállító szivattyúhoz van csatlakoz-10 tátva, ahol a gőzölőtér és a nagyvákuumot előállító szivattyú közé szelep vart beiktatva, azzal jellemezve, hogy az elővákuum szivattyú (15a) a gőzölőtérhez (2) és a nagyvákuum szivattyúhoz (6) kétutas szelepen (12) át van csatlakoztatva, a kétutas szelep (12) az elővákuum 15 szivattyú (15a) és a gőzölőtér (2) közötti egyik — például nyitott — állásához az elővákuum szivattyú (15a) és a nagyvákuum szivattyú (6) közötti másik — például zárt — állása tartozik, és amely kétutas szelepnek (12) az egyik irányú nyitott állása és a másik irányú nyitott 20 állása között egy harmadik, mindkét irányban zárt állása is van. 2. Az 1. igénypont szerinti berendezés kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy a kétutas szelep (12) egymással szemben elhelyezett és egymással ellentétes irányban 25 spirálrugó (25, 25a) ellenében nyitó szelepcsészéinek (24, 24a) szárai fogashüvelybe (27) nyúlnak, amely fogashüvely a kétutas szelep (12) kezelőkarjához (30) erősített tengelyen (29) kiképzett fogaskerékhez van csatlakoztatva. 30 3. A 2. igénypont szerinti berendezés kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy a csőtengelyként kialakított tengelyen (29) kívülről spirálrugó (33) ellenében nyitható, a kezelőkar (30) állásának megfelelő teret lelevegőztető szelep (35, 36) van kialakítva. 35 4. A 2. igénypont szerinti berendezés kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy a kétutas szelep (12) szelepcsészéi (24 és 24a) palástfelületükön vannak a szelepházban (12a) megvezetve, és zárt állásban homlokfelületükkel a szelepüléken kiképzett horonyba ágyazott rugalmas 40 gyűrűn (23) fekszenek fel. 5. Az előző igénypontok bármelyike szerinti berendezés kiviteli alakja fémgőzölésre, azzal jellemezve, hogy a gőzölőteret (2) lezáró harang (la) falába beépített kémlelőablak (21) és a gőzölőforrás (20) között 45 árnyékoló lemez (53) van elhelyezve, és a gőzölőforrásnak a kémlelőablakon át történő megfigyelésére a haranghoz erősített tükör- (52) vagy prizma-rendszere van. 6. Az 1—4. igénypontok bármelyike szerinti beren-50 dezés kiviteli alakja fémgőzölésre, azzal jellemezve, hogy a gőzölőteret (2) lezáró harang (la) falába beépített kémlelőablak (21) és a gőzölőforrás (20) között a gőzölőforással egyező és ahhoz viszonyítva pozitív egyenfeszültségre kapott potenciálú árnyékoló rácsok (54 és 55 54a) vannak elhelyezve. 7. Az előző igénypontok bármelyike szerinti berendezés kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy a gőzölőteret (2) lezáró harang (la) falába lelevegőztető szelep (2a) van beépítve, amelynek levegőbeáramlási útjába 60 beiktatott szűrője (60, 61, 62,63) és a gőzölőtérbe (2) beáramló levegőt a harang (la) falához terelő — előnyösen gömbsüveg alakú — lemeze (56a) van. 8. Az előző igénypontok bármelyike szerinti berendezés kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy a gőzölő-65 forrás (20) villamosan fűtött csónakja (68) által megtá-5