166070. lajstromszámú szabadalom • Eljárás tömör bevonat képzésére korundalátéteken

MAGTAR NÉPKÖZTÁRSASÁG ORSZÁGOS TALÁLMÁNYI HIVATAL SZABADALMI LEÍRÁS Bejelentés napja: 1972. X. 19. (BI—455) Közzététel napja: 1974. VIII. 28. Megjelent: 1976. IV. 30. 166070 Nemzetközi osztályozás: H 01 b 19/04, C 04 b 41/06 Byistrova Vera Ivamovnla imérniök, Kiriltowa Galinla iKoosítarAiovnia miénnök, Milkhiai'lova Gíailiinla AnMiApavnía mérnök, Leningrádi, Szovjteifcunitó Eljárás tömör bevonat képzésére korundalátéteken A találmány tárgya »a rádiótechnikával és elektronikával kapcsolatos, közelebbről meghatározva eljárás tömör bevonat képzésére korundalátéteken. A találmány integrált- és más mikroáramkörök, valamint precíziós ellenállások gyártásánál hasznosítható. Az utóbbi időben sor került aprópórusos (1— 3% porozitású) keramikus alátétek előállítására, azonban az ezek felületének minőségével szemben támasztott követelmények a mikroánarrikörök további miniatürizálásával összefüggésben egyre nőnek. Az elektronikában egy sor integrált- és más mikiroáraimlkömél alkalmazott keramikus korundalátétek — eltérően (a siflalltól és az üvegtől — rövid ideig 1000 C° feletti hőhatást is elviselnek, jobb mechanikai és villamos jeUemzöTkkel bírnak és nagyobb a hővezetőképességük is. A keramikus alátétek felületminőségének javítására jelenleg — többek Iközött — a mázzal való bevonást alkalmazzák. Ennél az eljárásnál a 90—100% korundot tartalmazó keramikus korundialátét felületére utólagos hőkezeléssel mázat visznek fel. Az ismert, mázzal való bevonást alkalmazó eljárás azonban csak V10 felületi érdességű korundialátéteknél alkalmazható, és nem zárja ki a Hullámosság és a hasonló hibák létrejöt-10 15 20 25 30 tét. Ezen túlmenően a jól kialakított mázréteg vastagsága legalább 20—60 fim. Az ilyen vastagságú mázréteg lerontja a villamos jellemzőket és csökkenti az alátétek hővezetőképességét. Az ismert eljárás további hiányossága, hogy a mázzal bevont alátétek üzemi hőmérséklete a 700—800 C°-ot nem lépi túl, és a bevonat felületi érdessége a mechanikai megmunkálás után V12—V13. A találmány célja az említett hiányosságok megszüntetése. A találmány által megoldani kívánt feladat olyan eljárás kidolgozása tömör bevonat képzésére korundalátéteken, amelynél mázzál való bevonáshoz V6 felületi érdességű korundalátétek alkalmazhatók, ezek kiváló fizikai, mechanikai és villamos jellemzőinek megtartása mellett; továbbá a sitallal analóg, tömör, legalább V14 érdességű felület és a korundalátéteknél jelenleg alkalmazott mázakéhoz viszonyítva magasabb üzemi hőmérsékletet biztosító bevonat előállítása korundalatétdken. Találmányunkban a feladatot úgy oldjuk meg, hogy 90—100%, korundtertialmú korundalátétek tömör bevonatának utólagos hőkezelés mellett való mázfelvitel útján történő előállításánál — az alátéten üvegkeramikus bevonatot létrehozandó — az alkáliföldfémpatit mázzal bevont korundalátétek hőkezelését 1350— 1650 C° hőmérsékleten, 100—500 C°/h hevítési 166070