166046. lajstromszámú szabadalom • Eljárás valamely felületre történő szelektív fémleválasztásra
11 166046 12 B) A II-A példa szerinti eljárást ismételtük meg azzal az eltéréssel, hogy az oldat pH-ját nem állítottuk 4,5—6 közé, és így nem kaptunk kolloid oldatot. Nem képződött a poliimid szubsztrátumon rézmintázat, legfeljebb csak némi halvány lerakódás. 5 C) A II. példa szerinti eljárást ismételtük meg azzal az eltéréssel, hogy fényforrásként mikroszkóp izzót, és így 3.200 Á hullámhosszúságú fényt használtunk. A kvarc maszkon keresztül 200 ju joule/cm2 teljes energiával történő megvilágítás után sem észleltünk a 10 szubsztrátumon leválasztott rézréteget, legfeljebb egy halvány lerakódást. Az ultraibolya fénnyel megvilágított szubsztrátum területeken sem észleltünk levált rézréteget. III. példa A fényérzékeny kolloid platina aktivátort 0,2-4 súlyszázalék PtQ2 0,1 n sósavban történő 20 oldásával készítettük. A kapott oldat pH-ját egyenlő arányú 1 n NaOH és 0,5 n H4 NOH adagolásával állítottuk be az 5,5 ± 1 értékre, miáltal finoman eloszló barna kolloid oldat képződött. A II. példa szerinti szubsztrátumot és eljárást alkalmaztuk azzal 25 az eltéréssel, hogy az ultraibolya fénnyel való megvilágítást 25 percig végeztük (teljes energia 300 M joule/cm2 volt). 25 • 10" 6 cm vagy 2540 A (lOjuinches) vastagságú árammentesen leválasztott rézmintázatot kaptunk a poliimid szubsztrátumon. 30 A szokásos módszerrel elkészítettük a platina aktivátor' elektrondiffrakciós képét mind az ultraibolya fénnyel történő megvilágítás előtti, mind pedig azutáni állapotban. A megvilágítatlan aktivátor 35 képe olyan gyűrűket mutatott, amelyek a hidráit platinaoxidnak és a fém platinának feleltek meg. Voltak olyan diffrakciós gyűrűk is, amelyeket nem lehetett azonosítani. A megvilágított aktivátor képén is látszottak olyan gyűrűk, amelyek a hidráit 40 platinaoxidnak, illetve fémplatinának feleltek meg. A nem azonosítható gyűrűk kevésbé intenzívek voltak. Feltételeztük, hogy mindkét esetben a platina fém a hidráit platinaoxid elbomlásakor képződött a vizsgálatnál alkalmazott vákuum és az elektronsugár 45 okozta hő együttes hatására. B) AIII—A példa szerinti eljárást valósítottuk meg azzal az eltéréssel, hogy az oldat pH-ját kb. 5,5 ± 1,0 értékűre állítottuk be, és így nem kaptunk kolloid oldatot. Árammentesen leválasztott fémmintázat nem 50 alakult ki a szubsztrátumon, inkább csak valami halvány lerakódás jelentkezett. C) A III—A példa szerinti eljárást ismételtük meg azzal az eltéréssel, hogy egy mikroszkóp izzólámpa volt a fényforrás és 3.200 Ä hullámhosszúságú fényt 55 sugárzott. Kvarc maszkon keresztül 300 ß joule/cm2 teljes energiát közöltünk a szubsztrátummal. Ezen megvilágítás után nem választódott le rézmintázat, hanem csak valami halvány lerakódás jelentkezett. D) A III—A példa szerinti eljárást ismételtük meg 60 azzal az eltéréssel, hogy közönséges epoxi szubsztrátumot alkalmaztunk. A platina aktivátort a következő módon készítettük. 1—5 súlyszázalék káliumtetrakloroplatinátot (II) oldottunk fel vízben. Az oldathoz 0,5 n NaOH-ot adtunk, hogy a pH-t 65 6,5-7,5 érték közé állítsuk be, miáltal barna kolloid oldat képződött. 25 • 10"6 cm vagyis 2540 Á (10 juinch) vastag rézmintázatot kaptunk árammentesen az epoxi szubsztrátumon. A platina aktivátor elektrondiffrakciós képét felvettük, és hasonló eredményt kaptunk, mint a III—A példa esetén. E) A III-D példa szerinti eljárást ismételtük meg azzal a különbséggel, hogy az oldat pH-ját nem állítottuk be 6,5-7,5 közti értékre, s így nem képződött kolloid oldat. Nem vált le rézmintázat a szubsztrátumra, inkább csak halvány lerakódás volt megfigyelhető. F) A III-D példa szerinti eljárást ismételtük meg azzal a különbséggel, hogy egy mikroszkóp izzólámpát alkalmaztunk fényforrásként, amely 3200 Á hullámhosszúságú fényt sugárzott. 300 jujoule/cm2 teljes energiát közöltünk a szubsztrátummal kvarc maszkon keresztül, de rézmintázat ezúttal sem vált le, csak valami halvány lerakódás volt észlelhető. G) A III—A példa szerinti eljárást ismételtük meg azzal az eltéréssel, hogy közönséges poliészter szubsztrátumot alkalmaztunk. A platina aktivátor az a platina nedvesítő oldat volt, amit Kenney ismertetett a fentebb említett munkájának XII. példájában. Ezt az oldatot 1 súlyszázalék platinadikloridnak (PtCl2) 100 ml forró (70 C°) hígított sósavban való oldásával állítottuk elő. Az oldat szobahőmérsékletre való hűtése után egyértékű lúgoldattal a pH-t 3-ra növeltük, amikor is sárga kolloid oldat képződött. Végeredményben 25 • 10"6 cm, vagyis 2540 Á (lOjuinch) vastag rézmintázat vált le áram nélkül a poliészter szubsztrátumra. H) A III—G példa szerinti eljárást ismételtük meg azzal az eltéréssel, hogy az oldat pH-ját nem növeltük meg 3-ra, s így nem alakult ki a kolloid oldat. Nem is vált le a rézmintázat a szubsztrátumra, csak valami halvány lerakódás volt észlelhető. I) A III—G szerinti eljárást ismételtük meg azzal az eltéréssel, hogy fényforrásként mikroszkóp izzólámpát alkalmaztunk, amely 3200 Ä hullámhosszúságú fényt bocsátott ki. 300 Mjoule/cm2 teljes energiát közöltünk a szubsztrátummal kvarc maszkon keresztül, de a megvilágítás után sem vált le rézmintázat a szubsztrátumra, csak valami halvány lerakódás keletkezett. Szabadalmi igénypontok: 1. Eljárás fémmintázatnak valamely szubsztrátumon való előállítására, amelynek során a szubsztrátum felületét olyan fémsó oldattal vonjuk be, amelynek fémkomponense árammentes fémleválasztást elősegítő katalizátorrá redukálható, majd a felületet borító fémsóréteg kiválasztott részeinek kezelésével a kívánt fémmintázatnak megfelelő fémkatalizátor mintázatot megrajzoljuk, végül ezt a megrajzolt mintázatot kémiai fémező fürdővel hozzuk érintkezésbe, amelynek segítségével az említett mintázatra árammentesen és katalitikusan fémréteget redukálunk, azzal jellemezve, hogy 6
