165718. lajstromszámú szabadalom • Maratószer aluminiumrétegek felületi mintázatának kialakítására
165718 3 4 a negatív-fotolakk a szerrel szemben mutatott ellenállóképessége nem elegendő. Az alumíniummaratás alatt bekövetkező hidrogénfejlődés elkerülése végett továbbá olyan szert is alkalmaznak, amely toluolszulfónsav-klóramid-nátriumot, nátrium-etilén-diamintetraacetátot és káliumkarbonátot tartalmaz. Ez a szer szintén lúgos és roncsolja a negatív-lakkot. Azonkívül a marás az alumíniumon nagyon egyenlőtlen, ezért a szer nagyon kis méretű mintázat előállítására nem alkalmazható. Lúgos maratószerként továbbá káliumhexaciáno (III) ferrát és nátriumhidroxid-oldat elegyét használják, amely adott esetben nátriumtioszulfátot is tartalmaz. A maratás itt szintén gázfejlődés nélkül megy végbe, ellenálló azonban csak a negatív-fotolakk. Az említett szer alkalmazása esetén pozitív-fotolakkal nem lehet dolgozni. Savas maratószerként foszforsavat szoktak használni. Salétromsavval elegyített foszforsavat, valamint foszforsav, salétromsav és ecetsav vizes elegyét szintén alkalmazzák. Ezek a szerek savas jellegüknél fogva mind negatív-, mind pozitív-lakk esetén alkalmazhatók. Az igen erős gázfejlődés azonban, mivel a gázbuborékok tapadnak az alumíniumfelületen, nagyon késlelteti a marás megindulását. Eredményként ezeken a helyeken a maratás tökéletlen lesz. A találmány célja a fotolakknak a maratószerrel szembeni rossz ellenállóképessége, valamint a sablonnak meg nem felelő alumíniummintázat miatti selejtarány csökkentése. A találmány feladata olyan maratószer kifejlesztése, amely lehetővé teszi a bármely lakkfajta alkalmazását és tömeggyártásban rövid marató időn belül a sablonnak megfelelő szerkezetű alumíniumrétegeket eredményez. A feladatot úgy oldottuk meg, hogy maratószerként foszforsav és salétromsav nehézfémvegyületeket tartalmazó elegyét használjuk. A találmányt az alábbiakban egy kiviteli példával szemléltetjük. Tetszés szerint doppolt félvezető anyaggal és fölötte szigetelő réteggel ellátott szilíciumlapon az áramköri funkciót hordozó területeket a, kapcsolási rajz szerint kell összekötni. Erre a célra először az ismert fotolitográfiai technika segítségével kontaktablakokat maratunk a szigetelő rétegbe, majd a le-5 mezt 0,5—1,5 fixa vastagságú alumíniumréteggel látjuk el. A maszk kialakítása céljából a lemezeket fotolakkal bevonjuk, exponáljuk, majd előhívjuk. A vehető pályák, kontaktablakok és forrasztási helyek részére kijelölt helyeken maratószerrel szemben 10 ellenálló lakkréteg marad meg. A találmány szerinti eljárásban mind negatív- mind pozitívlakkot lehet alkalmazni. A lakkmentes alumíniumfelületeket a következő módon előállított maratószerrel távolítjuk el: 15 75%-os foszforsavat 66%-os salétromavval 13:1 arányban elegyítünk. 1000 g savelegybe 5 mg rezet adagolunk oldható só alakjában. Az ilyen összetételű maratószer meredek élű alumíniumprofilt ad. A salétromsav hányadának 20 növelésével az alumíniumprofilt azonban úgy változtathatjuk, hogy az alapfelülettel szemben dőlt, lejtős élek képződnek ki. Nikkel- és vas-sókkal végzett kísérletek hasonló eredményeket adtak. 25 1 fim vastagságú alumíniumróteg maratásához 50 °C-os hőmérsékleten körülbelül 150 másodperc szükséges. A hőmérséklet emelésével vagy csökkentésével rövidíthetjük illetve hosszabbíthatjuk a maratási időt. 30 A maratás zavaró gázfejlődés nélkül megy végbe. Szabadalmi igénypont Alumíniumrétegek felületi mintázatának kiala-35 kítására szolgáló, főleg a félvezetőtechnikában alkalmazható maratószer, amely a fotolitográfiai eljárás során vékony alumíniumrétegekre felvitt maratómaszknak megfelelően a felületnek a maszk által nem fedett részeit lemarja, azzal jellemezve, hogy 40 70—75%-os foszforsavat és 66%-os salétromsavat 10:1—17:1 arányban, előnyösen 13:1 arányban, továbbá rezet, vasat vagy nikkelt tartalmaz oldható só alakjában, 1000 g savelegyre számítva 5—2500 mg kation mennyiségben. A kiadásért felel: a Közgazdasági és Jogi Könyvkiadó igazgatója 75.6308/4 — Zrínyi Nyomda, Budapest. — F. v.: Bolgár Imre vezérigazgató 2
