165458. lajstromszámú szabadalom • Eljárás doppolóanyagnak félvezető eszközbe szilárd állapotban való diffundáltatására

MAGYAR NÉPKÖZTÁRSASÁG ORSZÁGOS TALÁLMÁNYI HIVATAL SZABADALMI LEÍRÁS Bejelentés napja: 1973. V. 30. (TE—718) Amerikai egyesült államokbeli elsőbbsége: 1972. V. 31. (258173) Közzététel napja: 1974. III. 28. Megjelent: 1977. II. 28. §$304ocS Nemzetközi osztályozás: C 23 f 7/02 Feltalálók: , FISH John Ggylord, mérnök, Richardson, SHOBTES Samuel Ray, mérnök, Piano, POLLACK Gordon Paul, mérnök, Richardson. Texas, Amerikai Egyesült Államok Tulajdonos: Texas Instruments Incorporeted, .Daliás, Texas, Amerikai Egyesült Államok Eljárás doppolóanyagnak félvezető eszközbe szilárd állapotban való diffundáltalására A bejelentés félvezető eszköz előállítására, pontosabban szilárd állapotban végzett diffúziós technológiára vonatkozik, amelynek során vezetési típust meghatározó szennyezőket juttatnak a doppolt szilíciumdioxid filmből a félvezető szeletbe. Ezenkívül olyan oldatkészítményeket ismertetünk, amelyekkel a félvezető szeletet bevonva azon doppolt szilíciumdioxid réteget alakíthatunk ki, miután ezek a készítmények doppolóanyag-forrásként szolgálnak a szilárd állapotban végrehajtott diffundáltatáshoz. A félvezetőeszköz-gyártás területén már néhány éve ismert a doppolt oxidfilm használata szennyezésforrásként a szilárd állapotban végrehajtott diffundáltatáshoz. Elméletben a doppolt oxiddal jobban szabályozható a doppolóanyagkoncentráció, és annak eloszlása egyenletesebb, továbbá lehetőséget nyújt n-típusú szennyezés egyetlen lépésben történő bevitelére. Mindazonáltal ezt a technikát nem alkalmazzák általánosan az iparban, amelynek valószínűleg az az oka. hogy nem eléggé gazdaságos, továbbá, hogy hiányzik egy egyszerű kis hőmérsékletű technológia a doppolt oxidffltai kialakítására. Javasoltak már doppolt oxidoldatot, vagy annak stabil (folyékony) szuszpenzióját előállító eljárásokat vagy olyan oldat-előállító eljárásokat, amelynek alkotórészeiből doppolt oxidfilm állítható elő. Ezeknek széles körű felhasználását a stabil, elegendően tiszta és reprodukálhatóan gyártható szuszpenzió vagy oldat előállítási nehézségei akadályozták. A találmány tárgya oxidképző készítmény készítése. Az eljárás kielégítően tiszta, hosszú élet-5 tartamú és pontos kereskedelmi specifikációk szerint reprodukálható készítményt eredményez. A találmány további tárgya olyan oxidképző készítmény előállítása, amely diffúziós forrásként alkalmazva az eddigi eljárásokkal nyert 10 hasonló készítményekhez képest nagyobb doppolóanyagisűrűséget biztosít a félvezetőben. A találmány tárgya még- a szilárd állapotban végrehajtható javított diffúziós eljárás is. A találmány szerinti készítmény megfelelő ol-1S dószerben oldva megfelelő doppolóanyagot,' valamint tetraetüortoszilikát és ecetsavanhidrid vagy ecetsav közti reakcióból származó terméket tartalmaz. Például egy javasolt készítmény állítható elő tetraetilortoszilikát, ecetsavadhidrid 20 és bóroxid etilalkoholhoz való adagolásával. Az ecetsavanhidrid reagál a tetraetilortoszilikáttal. A reakció eredményeként egymással egyensúlyban etilacetát, trietoxiszilíciumacetát és dietoxiszilán képződik. Ha az ecetsavanhidri-85 det 1 mól feleslegben alkalmazzuk, akkor főleg diacetát képződik, ez az egyensúlyeltolás azonban nem lényeges a találmány szempontjából. Etilalkohol előnyös oldószer, bár az alkohol a dietoxiszilíciumdiacetáttal reakcióba léphet, és 30 így trietoxiszilíciumacetát képződhet, amelyet 165458