164001. lajstromszámú szabadalom • Berendezés vákuumcső vagy gáztöltésű cső buráján belüli tér gáztalanítására, illetve atmoszférájának beállítására, és egyéb ezekkel kapcsolatos műveletek elvégzésére

5 164001 6 nyék ellenére sem tipizálhatók és még egységesen elő sem készíthetők. Néhány kivételtől eltekintve az előzőekben ismertetett csoportok minden egyes típusához speciális berendezésre van szükség. A találmánnyal célunk az ismertetett hiányosságok megszüntetése. A találmány feladata olyan szivattyú ill. beforrasztó és szivattyúzó gép kifejlesztése, amely a kevés alkatrész felhasználása, a kis hely- és energiaigénye ellenére nagy teljesítményű és üzembiztos. Azonos teljesítmények esetén, eltekintve a hozzá csatlakoztatható kiegészítő berendezésektől, a gépnek azonos méretű, különböző típusú gyártmányoknál is felhasználhatónak kell lennie. A találmánynak megfelelően ezt a feladatot úgy oldjuk meg, hogy a burát a leszívó berendezésed nem oldhatóan vagy oldhatatlanul kapcsoljuk össze, hanem egy, a továbbiakban vákuum kamrának nevezett eszközbe helyezzük. A vákuumkamra vagy állandóan a szelepeken is a lehető legnagyobb keresztmetszetű szívócsöveken keresztül csatlakozik a szivattyúhoz és egy vagy több oldható, légmentesen záródó ajtaja a szivattyúzandó eszköz kivételét és behelyezését teszi lehetővé, vagy az egyik oldala nyitott és a nyitott oldallal csúszik el a szivattyúk csatlakozásai előtt. A vákuumkamra olyan kivitelezésű is lehet, hogy egy nagy kamrát a megfelelően elhelyezett burák, ill. az egyes burák között elhelyezett lezárások különböző rekeszekre osztanak, a rekeszek közöttt a nyomáskiegyenlítődést a nagy áramlási ellenállás akadályozza meg. A szivattyúkat a nagy vákuumkamra mentén a rekeszek szerint osztják el, így szelepek nélküli üzemeltetés válik lehetővé. A burákat vagy beforrasztatlan állapotban helyezzük be a vákuumkamrába és ott, a szivattyúzás után olvasztjuk össze a darabjait, vagy pedig már beforrasztott állapotban helyezzük el a kamrában, a burán ekkor a szokásos üveg-leszívócső van, de ez rendkívül rövid és a kamrában ezt zárjuk le. Az egyes feldolgozási munkafolyamatok a találmánynak megfelelően vagy a vákuumban, vagy töltőgáz-atmoszférában történnek. A hőátvitel a fűtőtestekről a szivattyúzandó egységre elsősorban sugárzás útján jön létre, a búra részeinek összeforrasztása és a leszívócső összeolvasztása szintén sugárzási hővel és üvegszerű anyaggal vagy vitrokerám-ce menttel (pirokerám-cementtel) vákuumban, vagy a gázkisülési csövek esetében atmoszférában történik. A katód-anyag formálása elvégezhető a többi búrakész leszívatására szolgáló kamráktól elválasztott a vákuumkamrákban. A találmányt ezeknek a kamráknak három kivitelezési formáján az alábbiakban ismertetjük: 1. Dobrendszeres felépítés A kamrákat forgástesten elhelyezett falba, vagy a falon radiálisán kiképzett nyílások alkotják. A forgástest olyan hengerben mozog, amelynek a palástján helyezkednek el a szivattyúk leszívó-nyílásai valamint a szivattyúzandó eszköz behelyezésére és kivételére szolgáló nyílások. 2. Láncrendszeres felépítés A kamrákat a lánc-szerűen egymás mögé besorakoztatott tárcsák közötti terek képezik, a lánc önmagába zárt (végtelen), és részben egy 5 egyenes, hengeres csőben mozog, A cső mentén, melynek egyik vége a beadagolásra, a másik a kivételre szolgál, helyezkednek el a szivattyúk csatlakozó nyílásai. A kamrákat úgy is ki lehet képezni, hogy egy 10 nagyobb szivattyúzandó edényt, amelyen keresztül a szivattyúzandó eszközök mozognak, vagy maguk a szivattyúzandó eszközök, vagy a továbbító rendszerre külön felszerelt elválasztó falak , rekeszekre osztják. 15 Míg a két első kivitelezési forma a szivattyúzandó eszközök kivétele és behelyezése szempontjából előnyös, addig az utóbbi kivitelezési mód a nagy-vákuumban elvégzendő munkáknál előnyös. A teljes leszívató rendszer a különböző kivitelezési 20 formák kombinációjából is állhat. \ A találmányban leírt berendezésnek és eljárásnak a műszaki-gazdasági előnye abban áll,, hogy a berendezés nem tartalmaz könnyen hibásodó és drága alkatrészeket, mint például szívócsőlezáráso-25 kat, implozió elleni védőberendezéseket, levegőbeszivárgást kereső berendezéseket és szelepeket, illetve egy sor további alkatrész kisebb számban kerül felhasználásra. A beforrasztó berendezés és a leszívó-berendezés egyesítésével további gépalkatré-30 szék takaríthatók meg. A gép nagy része állórész, a mozgatandó tömeget minimálisra csökkentettük. Ezáltal pl. a körforgós automatákkal és a csoportos rendszerekkel szemben, a mozgató mechanizmus sokkal egyszerűbb lehet. A szívócsőhöz felhasznált 35 anyagszükséglet kisebb. A szivattyú szívó teljesítménye egészen a szívócsőig hatékony, mivel az optimális keresztmetszet konstruktívan megvalósítható. A szivattyúk a vákuumkamra azon pontjaira helyezhetők, ahol a legnagyobb teljesítményüknek 40 megfelelő nyomás uralkodik. A kifűtő testeknek csak sugárzási veszteségei vannak, ezek egyszerű reflektorokkal alacsony szinten tartahatók. Az eljárás szempontjából előnyös, ha azonos időben történő beforrasztás és szivattyúzás esetén 45 nincsenek szívócsövek, tehát a leszívatás a lehető legnagyobb keresztmetszeten következik be, illletve, ha a szívócsövek rendkívül rövidek és így nagyon kicsi az áramlási ellenállásuk. A szívócső a beforrasztási helyen felmelegíthető, így az összefor-50 rasztáskor a kész termékben káros gázkitörés nem keletkezhet. A kifűtési folyamatban a hőmérséklet egészen a képlékenységi hőmérsékletig emelhető, mivel a búrára külső nyomás nem nehezedik. A felmelegedés egyenletes, mert a légáramlás a 55 hőmérséklet gradiensét nem befolyásolja. Mivel a felmelegítést magas hőfokú sugárzók végzik, nagyon gyors hőmérséklet-emelkedés érhető el, a kifűtési folyamat meggyorsul. Mivel a felmelegített, leszívattyúzott eszköz a hőenergiáját csak sugárzás 60 útján veszítheti el és a szokásos hőmérséklet-tartományban a veszteségek nagyon alacsonyak, általában az egész kifűtési folyamat idejére elég egyetlen felmelegítés. A formálási folyamat, amennyire csak lehetséges, meggyorsítható, mert a káros nyomás-65 emelkedést a felhasználható nagy vezeték-kereszt-3