163067. lajstromszámú szabadalom • Kettősmikroszkóp különösen helyzetmeghatározó folyamatok megfigyelésére szilicium-planártechnológiában

163067 6 sara szolgál a mágneses vezérlésű 9 váltóblende. Ez vagy az 1, vagy az 5 objektív sugárnyalábjának útjába fordítható és középálásában mind a két sugárnyalábot átengedi. Mindkét objektív számára külön ráesőiényt biztosító készülék is alkalmazható, de ebben az esetben a sugárnyaláb kétsizeír megy át a féláteresztő tükrön és a kép fényeíssége felére csökken.. A két objektív fél látómezeje egyszerre is megfigyelhető, ha a képoldali párhuzamos sugárnyaláb útjában az objektívek felett két, egymásra merőleges polarizációjú 12 és 13 polarizáló szűrőt helyezünk el. A rajzon nem ábrázolt okulárokban is, a közbenső 4 képsík közelében is két egymásra merőleges polarizációjú félből összeállított 14 polarizáló szűrő van elhelyezve. A fcettőstmikrosákóp alsó része rögzített okulárrendszer mellett az 1 db objektív 10 optikai tengelye körül elforgatható; az 5 objektív a 6 felületi tükörrel együtt radiális irányba eltolható, anélkül, hogy a kép élessége változna, ha az eltolás a 11 tárgysíkkal párhuzamosan történik. Így az 5 objektívvel meg lehet keresni és szükség esetén fedésbe lehet hozná az 1 objektívvel a sablonon befogott tartománynak megfelelő tartományt, anélkül hogy az előbbi tartomány a látómezőből eltűnne. Egy objektives megfigyeléséknél az 1 objektívet 'hagyjuk el és az 5 objektívet a 6 felületi tükörrel együtt a rajzon nem ábrázolt forgósiránytváltoztató motor és orsó segítségével a 11 tárgysíkkal párhuzamosan mozgatjuk. A sablonon le-10 15 20 25 30 vő struktura^sorofckal párhuzamos eltolási irányt az alsó imifcroszkiópirésznek; a 3 tubuslencse tengelye körüli elforgatásával' liehet beszabályozni. Szabadalmi igénypontok. 1. Kettősmikrószkóp, helyzetmeghatározási folyamatok megfigyeléséire, különösen a szilíciumplanártechnológiában, amelynél az objektívek közepes távolsága változtatható és amely a ráesőfény-megvilágítáisnál a sugármenetek váltakozó szétválasztására alkalmas eszközökkel és megvilágító berendezéseikkel van ellátva, azzal jellemezve, hogy a két objektív (1, 5) képsugarainafc párhuzamos sugármenetében felületi tükör (6) és egy féláteresztő tükör (2) van elrendezve, amely a két objektív (1, 5) egyikének optikai tengelyével 45°-os szöget bezáró felületi tükörrel (6) párhuzamos és a két objektív mögött, a sugármenet irányában az optikai sugármenet tekét egyesítő tubuslencse (3) van elrendezve. 2. Az 1. igénypont szerinti kiettősimikiroszkóp kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy két objektívjének (1, 5) közös fényforrása i(7) az optikai tengelyre (10) merőlegesen van elrendezve. 3. Az 1. vagy 2. igénypont szerinti kettősmikroszköp kiviteli alakja, azzal jelemezve, hogy a két objektív (1, 5) képoldali sugármenetébe polarizációs síkok vannak helyezve és az okulárrendszerbe tubuslencse (3) közbenső képsíkjának (4) közeliében két egymásra merőleges polarizációjú félből álló polarizáló' szűrő (14) van ellyezve. 1 rajz A kiadásért felel a Közgazdasági és Jogi Könyvkiadó igazgatója 74.6480/4 — zrínyi Nyomda, Budapest. F. v.: Bolgár Imre vezérigazgató 3