162852. lajstromszámú szabadalom • Ion-adszorpciós berendezés

3 162852 4 Ezt a célkitűzésünket egy olyan ion-adszorpciós szivattyú megvalósítása révén értük el, amelynek hengeres alakú, vákuumzáró szivatytyúháza van, egyik végén zárt, a másik végén egy perem van rászerelve azon célból, hogy a . szivattyú ezen keresetül evakuált térrel legyen összekapcsolható, van egy elektronágyúja, amely a szivattyúházzal szemben és azzal egytengelyű helyzetben van elrendezve, van ezenkívül egy több darabból álló, vagy több lépcsőben kialakított ionizációs rendszere, amely a szivattyú középvonalához képest szimmetrikusan és párhuzamosan van elrendezve, ezen rendszereket pedig olyan elemek alkotják, amelyek a villamos teret létesítik, további alkatelemei pedig olyan anódok, amelyek lényegében rúd alakúak és az előbb említett elemekkel azonos tengelyirányban vannak elhelyezve, továbbá, mindenegyes ilyen anód-rúdon egy vagy több hengeres kialakítású, elnyelőképességű anyag van alkalmas módon, előnyösen csekély átmérőjű tartó vagy rögzítőelem útján, mely utóbbinak azonos, de szilárd anyaga van, vagy például hengeres tekercselésű huzalok alkotják úgy, hogy a hengeres kialakítású, elnyelő-anyag belső átmérője akkora, mint a rúd alakú anód átmérője. A szivattyú elektronágyúját alkotja a kátédként alkalmazott huzal vagy egy indirekt fűtésű katódhuzal, amely azotios tengelyirányú helyzetet foglal el a szivattyúházzal szemben, továbbá ezen katód körül van elhelyezve egy gyorsító elektróda, melynek csavartvonalú, vagy gyűrűs kiképzése van, avégből, hogy a katódot körülvegye, ehhez járul még az, hogy a katódtól bizonyos távolságra f ókuszáló-elektródák vannak elhelyezve, melyek síkfelületen vannak elrendezve, keresztülmennek a katódtengelyen és az anódrudakon, számuk ugyanannyi, mint az anódoké, kiképzésük szintén hengeres és a katódhoz képest koaxiálisán és párhuzamosan vannak elhelyezve. » Tekintettel arra, hogy a szublimáció tartama alatt az elnyelő-anyag és az anód-rúd között kicsi a távolság, az elnyelő-anyag behatolhat a rúd alakúan kiképzett anódba és ezzel az anódrudat törékenyebbé teszi. Ennek az anyaginfúziónak megakadályozása végett, — amely mindenegyes elnyelő-anyagelem és mindegyik anód-rúd között végbemegy, egy hengeres formájú védőernyőt helyeztünk el, melynek nagy olvadáspontú anyaga van, 'alacsonyabb gőznyomású, mint amekkora az elnyelő-ányag üzemi hőfoka. Például: ha titánt használunk elnyelő anyagként, akkor a védőernyőt tantálból készíthetjük és ebben az esetben az anód-rúd wolfram, vagy molibdén. / Az elnyelő^anyag-darabol!; kicserélésének megkönnyítésére az anódot két részből lehet készíteni, akként, hogy ezek közül az egyik a szivattyú alján elhelyezett szigetelőhöz van erősítve, a másik pedig benne van abban a szigetelőben, amely a szivattyúház tetőfalához van erősítve. Az elnyelőanyagot ezután felerősítjük arra az anód-rúdra amely a szivattyú alján van felszerelve. 5 A találmány szerinti szivattyú anód-övezetén belüli villamos mező, vagy villamos tér kialakítására alkalmas elemek a szivattyúház belső terét felosztják olyan azonos ionizációs kamrákra, amelyeknek például (henger alakú cső for-10 májuk van, de lehetnek ezek a csövek szabályos, vagy szabálytalan sokszög alakú keresztmetszetben kialakítva, — olyképpen, hogy a szivattyúház belső terét falsíkokkal részekre osztjuk, melyek egyforma szegmensekre oszt-18 ják a ház belsejét, és mindenegyes anód úgy van elhelyezve, hogy relatíve tengelyirányban , van azzal a hengerrel, amelyet az így kialakított szakaszba képzeletben berajzolhatunk. A villamos mezőt — vagy teret — kialakító 20 elemeket az anód-övezetén belül rácsszerkezetűre, vagy rúd alakra is kiképezhetjük úgy, hogy párhuzamosan legyenek elhelyezve az egyes kamrákat kialakító szilárd vázakon. 25 Az anód és katód közötti térben, az anódzónában levő és a villamos tér kialakítására szolgáló elemek nyújtott, lemezeit darabokból állnak, melyek vagy laposak, vagy meg vannak hajlítva hosszanti irányban avégből, hogy kö-30 vessék az egyes kamrák körvonalait. Ezek a nyújtott lemezeit darabok egymással párhuzamosan vannak elhelyezve az anód és katódrudakhoz képest, s így védőernyőt alkotnak az elektronágyú számára és megvédik az elnyelőanyag 35 behatolásától, sőt, a védőernyők vége ós a vele szembenfekvő anódrúd között — avégből, hogy az anódzónán belül is villamos teret létesítsenek ezek az elemek, — akkora rések vannak, amelyek egyenlők a katódok és az említett elemek 40 között levő résekkel, mely rések lehetővé teszik az elektronoknak az elektronágyútól az ionizációs kamráig történő áramlását. A találmány szerinti szerkezeti elrendezést 45 egy kiviteli példa kapcsán ismertetjük, ahol hivatkozunk a leíráshoz csatolt rajzokra, amelyek négy ionizációs rendszerű szivattyúszerkezetet ábrázolnak, amelyben az 1. ábra az ion-adszorpciós szivattyú alkat-50 részeinek sematikus, oldalnézeti rajzát mutatja; a 2. ábra ugyanezen szivattyúnak az A—?A metszővonal mentén kialakított metszetrajza; a 3. ábra egy kétrészes anóddal felszerelt szi-55 vattyú részletének oldalnézete; a -4. ábra pedig a villamos teret kialakító elemekkel felszerelt szivattyúnak az anód zónán belüli nézeti metszetrajza, melyben a szivattyú belső tere a szivattyú belsejét szegmensekre 60' osztó közfalakkal van felszerelve. A szivattyú henger alakú 1 háza a 2 fénék-- oldali részén zárva van, a másik oldalán pedig egy 3 perem van rászerelve avégből^ hogy ezen keresztül összeköttetést létesíthessünk azzal a 65 rendszerrel, amelyet evakuálni szándékozunk. 2