162852. lajstromszámú szabadalom • Ion-adszorpciós berendezés

MAGYAR NÉPKÖZTÁRSASÁG SZABADALMI LEÍRÁS 162852 _|Lr Bejelentés napja: 1969. XII. 23. (PE—719) Közzététel napja: 1972. XI. 28. Megjelent: 1974. XII. 31. Nemzetközi osztályozás: ••%•• ••»•'^ Bejelentés napja: 1969. XII. 23. (PE—719) Közzététel napja: 1972. XI. 28. Megjelent: 1974. XII. 31. F 04 b 37/02 j H 01 j 41/00 Bejelentés napja: 1969. XII. 23. (PE—719) Közzététel napja: 1972. XI. 28. Megjelent: 1974. XII. 31. Bejelentés napja: 1969. XII. 23. (PE—719) Közzététel napja: 1972. XI. 28. Megjelent: 1974. XII. 31. ORSZÁGOS rALALMANYI HIVATAL Bejelentés napja: 1969. XII. 23. (PE—719) Közzététel napja: 1972. XI. 28. Megjelent: 1974. XII. 31. Feltaláló: Czarycki Wenancjusz mérnök, Warszawa, Lengyelország Tulajdonos: Przemyslowy Instytut Elektroniki, Warszawa, Lengyelország Ion-adszorpciós berendezés. 1 A találmány ion-adszorpciós berendezés, amely arra szolgál, hogy a legnagyobb vákuum-feltételeket megteremtse, példaképpen a gépészeti ipar, vagy nukleáris kutatások területén. -Az ion-adszorpciós szivattyúk működése olyan, gázokat elnyelő anyagok adszorpciós képességén alapul, mely anyag a szivattyúház belső falfelületére van szublimálva és szorbensanyagnak nevezhető azzal, hogy a-kémiailag aktív gázokat elnyeli kémiai eljárás eredményéképpen, míg a kémiailag semleges gázokat ionizációjuk révén nyeli el a szivattyún belül és ennek következtében az így nyert ionok felgyorsulnak a szivattyúház fala irányában, s ezeket az ionokat az abszorbens anyag irányába tereli. Gáznemű anyagok ionizációja a szivattyúban elektron-ágyúból nyert elektronok segítségével megy végbe. Ezeket az elektronokat az elektrosztatikus térbe injektáljuk, mely térben általában görbevonalú röppályán mozognak, s ezáltal pályájuk meghosszabbodik. Semleges gázok ionizációs hatása, és ebből eredően elnyelődésük mértéke az ion-adszorpciós szivattyúban megnő az ionizációs-rendszer sokszorozása révén. Az ion-adszorpció ismert szakmai területén az ionizációs rendszerek sokszorozásának elve alapján felépített berendezésekben külön elektronágyúkat használnak mindegyik rendszerben. Ezek a célberendezések nem előnyösek, tekintve, hogy a szivattyú és a hozzá csatlakozó berendezésék szerkezete nagyon bonyolult, 5 Az eddig" isinsr-t ion-adszorpciós szivattyúszerkezetekben az adszorbens-anyag"** rá van szórva a szivattyúház belső falfelületére, szublimációs eljárással, melynél a szóbanforgó anyag L anódként szolgál, de úgy is yégre lehet hajtanig 10 hogy egy külön szúfolimátort helyezünk el a szí- . vattyú. belsejében. Amikor aAdszorbéns-anya- ; got az anódon helyezzük el, elporlik, ami a fel-; hevítés következménye, ezt pedig az elektron-! ágyú által létesített elektronbombázás hajtja 15 yégre, ezzel szemben az adszorpciós anyagnajc külön szublimátorban történt elhelyezése révén bekövetkező elporlása villamos fűtőberendezés útján közölt fűtés eredményeképpen jön létre. Külön fűtőberendezésnek a szublimátorba való 20 .beiktatása a szivattyúszerkezetet bonyolulttá teszi és azzal a következménnyel jár, hogy egy olyan' szivattyúszerkezetet alkalmazunk, amelylényegesen bonyolultabb, mint az eddigiek. 2S Célunk e találmánnyal ap, hogy egy olyan ion-adszorpciós szivattyúj valósítunk meg, amely minden lényeges eleme^magában foglal, mentes a fentebb említett kedvezőtlen kísérőjelenségektől és egyszerű, n§m! bonyolult adagoló-30 rendszerrel van összekapcsolva. 162852