162565. lajstromszámú szabadalom • Eljárás félvezetők ohmos kontaktusainak kialakítására

162565 — réteg felülete már nem tükörsima és fényes, s ez a felület már szigorúan és nehezen betartható termokompressziós feltételeket nem igényel. A hármas réteg párologtatási idejének aránya 1:2:2. Az előbbieket kivi/teli példa leírásával tudjuk könnyebben érthetővé tenni. A párologtatásnál az alsó Au forrás 25 mg. az Ag forrás 135 mg és a felső Au forrás 75 mg volt. A forrás távolsága 120 mm. A ibevont felület 25X70 [A. A párologtatást 3i60 °C hőmérsékleten, 5-10 •"' torr nyomáson, 10 percig végeztük. A legalsó Au réteg 0,05 fi-os, az Ag réteg 0,5 és a fedő Au réteg 0,15 ^u^os. A három réteg párologtatása ideje 2—4—4 perc. A kohtaktáló (Au) ,huzal 12,5 /J.-OS volt. Két kísérletsoroziatbári összesen 16000 db tranzisztort állítottunk elő. A kihozaital 8,3, ill. 7j4tyo-kal javult. Ez a javulás a szakadt, IB selejtes tranzisztorok számának csökkenésében mutatkozott. Találmányunk által elérhető kedvező hatások azok, hogy eljárásunkban az ismert eljárásokhoz képest, a termokontáktálás kisebb erővel végezhető, így nem fordul elő eljárásunknál a 5 rétegek elválása a termokompressziós művelet alatt. Végül eljárásunk termokompressziós tömeggyártásra gépesíthető kontaktust alakít ki, aminek termelékenysége nagyobb és a termékek 10 elektromos paramétereinek romlása kisebb. Szabadalmi igénypont: 15 Eljárás félvezetők felületén sandwioh-típusú Au-Ag-Au réteg kialakítására, azzal jellemezve, hogy a párologtatást az Au-Ge eutektikus hőmérséklete alatt végezzük, kib. 5—10# °C-nál és a félvezetőkre felvitt Au réteget feleakkora 20 párologtatási sebességgel alakítjuk ki, mint az , Ag és a második Au réteg párologtatási sebessége. ^ A kiadásért felel: a Közgazdasági és Jogi Könyvkiadó igazgatója. 7406443. Zrínyi (T) Nyomda, Budapest V., Balassi Bálint utca 21—23.