162393. lajstromszámú szabadalom • Eljárás hidegkatód szerkezet kialakítására
162393 3 4 Ilyen katódrendszerek a W —La—Zr, W—La—Th, W-Hf-Th, W-Hf-Zr, W-Ce-Zr. Az ilyen hidegkatód ötvözeteknek az az előnyük van, hogy az ionbombázás következtében porlódó felületi réteg nem pusztul el, hanem ismételten megújul az emiszsziós mechanizmusnak megfelelő koncentrációban. A találmány szerint javasolt hidegkatód ötvözet gyártási eljárása a következő. Wolfram huzalt elektrolitikus marással kúposra marjuk, állandó le-föl való mozgás közben, kb. 10%-os lúgos fürdőben. A kúpszög nagyságát az oldatban való bemerülés mértékével, a mozgás sebességével és az áram erősségével a kívánt értékre állítjuk. A csúcsot az 1. ábrán látható módon a W fűtőtestre hegesztjük hőkezelés céljából. Az így elkészített katódokat egy befogó szerkezetbe, körbe elhelyezve kb. 10 db-ot befogjuk, úgyhogy a fűtőtestek sorbakapcsolva felfüthetők legyenek és vákuum párologtatóba helyezzük, majd 10-« torrnál felfutjuk 600 °C-tól 1100 °C-ig az ötvözök anyagi tulajdonságától függően, majd a közepén elhelyezett párologtatókból La és Th-ot vagy La és Zr-t egyidejűleg a megfelelő arányban elpárologtatunk a csúcskatódokra, pl. 5 rész La-t és 1 rész Th vagy Zr-t. A meleg csúcs réintkezik a párolgó fémgőzzel és ötvöződik, majd bediffundál a W fémbe. Az ötvözött réteg vastagsága, illetve a diffúzió mélysége a hőmérséklet alkalmas megválasztásával és az időtartamával szabályozható. A beötvözött hidegkatódokat levegőre hozzuk a további beszerelések céljából, ugyanis ezen ötvözetek szobahőmérsékleten levegőn nem változnak. A beötvözött hidegkatódokat felhasználás céljából további kezelés nélkül különböző vákuum szerelvénybe szereljük, a leszívott szerelvényekben 10~6 torr vákuumnál 1000 C-nál rövid időre felfutjuk a felület hidegemissziós aktiválása céljából, illetve a kis kilépési munka beállásából. A leírt módon készített katódokat pl.-ként gyakorlati célra alkalmas szerkezetben mutatjuk be a 2. ábrán. A készített hidegkatódokat többszörös anódfurató kisütőcsőbe szereljük. A több katód-anód egységet tartalmazó diódával elérjük, hogy nem válik önfelfűtővé a csúcson áthaladó áram következtében, azaz termikus emisszió ne 5 lépjen fel. A fenti nagyfeszültségű diódán előre nem látható jelenséget figyelhetünk meg az egyes katódok árama — méréseink szerint — 0,62-es szorzó tényezőivel adódnak össze. 10 A leírt módon készített katódoknál nagyfeszültségű egyenirányító diódában 20-30 Kv és 200 ft A áramnál szikrázások vagy átütések nem tapasztalhatók. Impulzusban 500 fi A csúcsáramok is elérhetők anélkül, hogy a csúcsok bármelyike meghibásodna. 15 A hidegemissziós csúcskatódokkal készített nagyfeszültségű egyenirányítók különösen alkalmasak a csúcsok a nemkívánatos szikrázásokkal szemben védő hatásúak. 20 Szabadalmi igénypontok: 1. Eljárás nagy olvadáspontú — célszerűen W, Ta, Re, Nn-ból készített — csúcs alakú ötvözött hidegkatód készítésére azzal jellemezve, hogy nagy olvadáspontú fém-25 huzal(ok) vége(it) — ismert módon — elektrolitikusan kúpos csúcsra marjuk, majd az így nyert csúcso(ka)t wolfram fűtőtestre helyezzük, majd a csúcs(ok)ra vákuumpárologtatásban - kb. 10-3 torr-nál és 600-1100 °C között La, Th és Zr ötvözök közül legalább kettőt 30 kb. 20 percen át rápárologtatunk, majd az így elkészített ötvözött csúcsú hidegkatódot szerelvénybe építjük. 2. Az 1. igénypont szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy a csúcsokra 5:1 arányú La, Th ötvözőt párologtatunk. 35 3. Az 1. igénypont szerinti eljárás foganatosítási módja azzal jellemezve, hogy a csúcsokra 5:1 arányú La, Zr ötvözőt párologtatunk. 1 rajz, 2 ábra A kiadásért felel: a Közgazdasági és Jogi Könyvkiadó igazgató}a 74-3038 - Dabasi Nyomda, Budapest - Dabas 2
