161324. lajstromszámú szabadalom • Izotópos mérőeszköz bevonatréteg-vastagság mérésére

MAGYAR NÉPKÖZTÁRSASÁG ORSZÁGOS TALÁLMÁNYI HIVATAL SZABADALMI LEÍRÁS Bejelentés napja: 1969- V. 2. (JA—577) Lengyelországi elsőbbsége: 1968. V. 3. (P—126.783) Közzététel napja: 1972. III. 28. Megjelent: 1973. VI. 30. 161324 Szabadalmi osztály: Nemzetközi osztály: G 01 b 15/02 Decimái osztályozás Feltalálók: Dr. Szepke Ryszard mérnök és Pomierny Bpleslaw mérnök, Varsó, Lengyelország Tulajdonos: Instytut Badana Jadrowych, Varsó, Lengyelország Izotópos mérőészköz bevonatréteg-vastagság mérésére A találmány tárgya izotópos mérőeszköz bevonatréteg-vastagság mérésére, amely alkalmas a védő- és díszítőbevonatok roncsolásmentes mérésére. Az eddig ismert olyan rétegvastagságot mérő 5 eszközökben, amelyek a szórt beta-sugárzást hasznosították, a vizsgálandó test, az izotóp-béta-sugárforrás és a detektor elrendezésének geometriáját szimmetrikusan alakították ki. Ez a kialakítás azonban megkívánta, hogy a detek- 10 tor szerkezete henger alakú legyen, a homlokfelületen alkalmazott, csülámgyűrűvel és az izotópsugár-forrás behelyezéséhez való fémtokkal ellátott szájnyílással. A vizsgálandó testnek a detektor szájnyílása 15 felett központosán elrendezett tengelye mentén az izotóp-sugárforrást ugrásszerűen mozgatták. Az izotóp-sugárforrásnak központos behelyezése a detektor belsejébe bizonyos követelményeket támasztott; a detektornak tekintélyes mé- 20 retű aktív belső tere kellett, hogy legyen, ezenfelül pedig, a mérés érzékenységének fokozása céljából, gyakran több, egymással párhuzamosan kapcsolt detektort kellett behelyezni, ami viszont azzal a következménnyel járt, hogy a 25 hasznos sugár és a háttérsugárzás viszonyszáma előnytelenül alakult. A találmány szerinti megoldásnak az a feladata, hogy az izotópos mérőkészülék használata alkalmával csökkentse a mérési hibát, külö- 30 nősen a kb. 0,5 /ura. körüli kis vastagságok esetében, annak révén, hogy új mérési geometriát létesít, vagyis a vizsgálandó test, a sugárforrás és a detektor egymáshoz viszonyított egyszerű geometriai elrendezését. Ezt a célt azzal éri el, hogy a vizsgálandó test felületére merőlegesen álló mérőfej-hossztengelyhez viszonyítottan aszimmetrikusan helyezi el az izotóp-sugárforrást és a detektort, mimellett a sugárforrás és a detektor tengelyének egymáshoz viszonyított hajlásszöge állandó marad, azonban a 30°—60° határok között bármely értéket felvehet, ezzel egyidejűleg pedig a sugárforrás tengelyének a mérőfej szimmetriatengelyével képezett 0°—25° közötti szöge állandó, továbbá azzal, hogy a sugárforrásnak olyan tengelyirányú előtolást ad, amellyel a forrásnak a vizsgálandó testhez viszonyított helyzetét folyamatosan szabályozza. A találmány szerinti megoldás példaképpeni alakját a rajz ;atja be, ahol az 1. ábra a rétegvastagság-mérések viszonylagos hibáinak az összehasonlító diagramja, az izotóp-sugárforrás és a detektor szimmetrikus („A" görbe), valamint aszimmetrikus („B" görbe) elrendezése esetén; a 2. ábra olyan görbepár, amely szemlélteti, hogy milyen módon függ a mérési hiba a különböző rétegvastagságok esetén a szimmetriatengely hajlásszögétől, pl. ha a Cd réteg 55 fim. és a Fe réteg 1,5 jum. A 3. ábra az izotó-161324