159833. lajstromszámú szabadalom • Eljárás nemesfém-redukáló mintázat előállítására
15 159*833 16 nek, amelyet integrált félvezető eszközök gyártásában használnak. Ilyen módon a találmány szerinti eljárás eredménye egy fémtermék lehet, amelyet galvanikus formázással alakítunk ki azáltal, hogy a 11 szubsztrátumot időszakos hordozóként használjuk. Nyilvánvaló, hogy megfelelő vastagságú eszközöket állíthatunk elő azáltal, hogy hosszabbítjuk azt az időt, amelyet az árammentesen plattírozott mintázat a galvanizáló 22 fürdőben tölt. Ha olyan 11 szubsztrátumot használunk, amely valamelyik előnyös anyagból készül, a találmány szerinti eljárás eredménye lehet olyan fémmintázat előállítása, amely tartósan helyezkedik el egy szubsztrátumon, mint például nyomtatott áramkör mintázata. Ebben az esetben kívánatos lehet, hogy a kötésszilárdságot megjavítsuk a fémmintázat és a szubsztrátum között, amint ezt 29 hivatkozási számmal jeleztük. A kötésszilárdság növelése azáltal érhető el, hogy befejezzük a szilikon gyanta polimerizációját, vagy az epoxi film kezelését, vagy kiégetjük a kerámiát, attól függően, hogy milyen fajta szubsztrátumot használtunk, és ez 0,89— 2,68 kg/lineáris cm kötésszilárdságot jelent. Ha poliamid filmet használunk, a kötés szilárdságának növelése abból áll, hogy a szubsztrátumot és a fémmintázatot olyan környezetben hevítjük, amely a mintázat féméinek oxidálására vezet és a poliamid üzemi hőmérséklete alatti hőmérsékleten van. Az ilyen hevítésnél azt találtuk, hogy ez megnöveli a fémoxid-réteget a fémmintázaton és a mintázat és a poliamid között levő felületen. Az oxid növekedése ilyen módon az oxidot a poliamidba hajtja és megnöveli a mintázat-poliamid kötés szilárdságát kb. 2,68 kg/lineáris cm értékig. Az ilyen oxid növelés bekövetkezhet a poliamidoknak az oxidálást alakító vezető atmoszférával szemben meglevő permeabilitása következtében. Ezen találmány szerinti eljárásban alkalmazott 17 aktinikus sugárzás hullámhossz tartománya megmagyarázza, hogy miért maradt felfedezetlenül ez az eljárás több mint 145 éven keresztül. Az ultraibolya spektrumban mélyen elhelyezkedő és az 1800-tól 2700 A-ig terjedő hullámhossz-tartományba eső aktinikus sugárzást nemcsak hogy ritkán használják a kutatásban és a szokványos ipari eljárásoknál, de a levegő is oly nagymértékben csillapítja, hogy az általában nincs is jelen normális feltételek mellett. A levegőtől eltérő közegek, mint például a közönséges üveg, az áttetsző, vagy átlátszó műanyagok, a vékony folyadékrétegek ugyancsak csillapítják az ilyen sugárzást. Tényként állapítható meg, hogy csak bizonyos anyagokat találtak, mint amilyen a kvarc, a kvarccal kapcsolatos üvegek és a boroszilikátok, amelyek hatásosan áteresztik lényeges csillapítás nélkül a találmány tárgyánál használt aktinikus sugárzást. Ezen jellemzőt használjuk fel az alábbiak szerint. A következőkben részletesen ismertetjük a pozitív fotopromotor oldatokat és a negatív fotopromotor oldatokat. Több negatív fotopromotort [(b) típusú] fedeztünk fel, amelyek hatásos módon szelektíven redukálják a nemesfémeket azután, hogy szelektíven 17 aktinikus sugárzás hatásának tettük ki őket. Ezen oldatok közül hat a következő: vas(III)-oxalát, vas(III)-citrát, vas(III)-tartarát, higany(II)-oxalát, higany(II)-citrát és higany(II)-tartarát. Az első három fotopromotor oldat bármelyikében a vas(III)-ion vagy só a következő módon alakul ki: Fe+3 vagy Fe+++, míg a higany (II) a következő módon alakul: Hg+2 vagy Hg++. Ha a fotopromotorokat aktinikus sugárzásnak tesszük ki, a vas(III)-ionok az alábbi módon megváltoznak vas(II)-ionná: Fe+2 vagy Fe++; a higany(II)-ionok ugyanakkor a sugárzás következtében Hg+ azaz higany(I)-ionokká változnak. Mindkét kisebb oxidációs állapotú és kémiailag aktívabb ion, a vas (II), azaz Fe++ ion és a higany(I), azaz Hg+ ion, redukálni tudja a nemesfémeket. Az aktinikus besugárzott vas(Ill)-ion reakciója olyankor, ha palládiumkloridos nemesfém érzékenyítő 19 oldatot használunk, a következő: h v Fe+++——• Fe++ Fe++ + Pd++ *Pd° + Fe+++, A higany(II)-ion reakciója, ha ugyanezt az érzékenyítőt használjuk, a következő lesz: h'' Hg++—-Hg+ Hg+ + Pd++ • Pd° + Hg++. Mindkét esetben hv az energia kvantum, amelyet az aktinikus 17 sugárzás hordoz és a magasabb oxidációs állapotban levő fotopromotor sóra alkalmaz, hogy ezt a sót kémiailag aktívabbá tegye. A vas(III) és higany(II)-ionok reakciója, amelyek nem voltak kitéve az aktinikus sugárzás hatásának, a következő lesz: Fe+++ + Pd++ x Nincs reakció és Hg++ -(- Pd+ '•- x • Nincs reakció. 10 J5 20 25 :s0 35 40 45 50 55 60 8
