159833. lajstromszámú szabadalom • Eljárás nemesfém-redukáló mintázat előállítására

9 A találmány tárgyának további részleteit és előnyeit az alábbiakban részletes leírás kapcsán, rajzok alapján ismertetjük. Az 1. ábrán általános folyamatábrát mutat, amely lépésenként jelzi a találmány szerinti új és javított eljárást, amellyel nemesfém-redukáló mintázatot lehet előállítani, és tartalmazza a választható lépéseket nemesfém mintázat és rajta árammentesen felvitt fémmintázat előállítására, ahol a fémmintázatot az előbbi mintázatra redukáljuk. A 2. ábra az 1. ábra szerinti eljárás megvalósítására szolgáló berendezés oldalnézetét mutatja. A 3. ábra a 2. ábra szerinti berendezés egy részének perspektivikus nézete, amely az aktinikus sugárzó forrást mutatja, amelynek segítségével az 1. ábra szerinti eljárásnak alapján nemesfém redukáló mintázat kialakítása történik. A 4. ábra a 3. ábra szerinti berendezés kiviteli alakjának vázlatát szemlélteti. Az 5. ábra az 1. ábra szerinti eljárással készíthető néhány különböző terméket mutat perspektivikusan. Elöljáróban néhány a későbbiekben használt kifejezés definícióját ismertetjük. A „negatív" vagy „negatív maszk" kifejezések olyan maszkolási eljárásra utalnak, amelynél át nem látszó mintázatot előállító maszkot használunk és maga a maszk nem átlátszatlan. Ez azt jelenti, hogy a maszk szilárd része a mintázat negatívját képviseli (vagyis nem felel meg a mintázatnak). A „pozitív" vagy „pozitív maszk" kifejezések olyan maszkolási eljárásra utalnak, amelynél átlátszatlan maszkot használnak átlátszatlan mintázat előállítására. Ez azt jelenti, hogy a maszk szilárd része a mintázat pozitívját képviseli (vagyis: a mintázat pozitívjának felel meg). A „katalizátor" olyan szubsztanciára vagy anyagra utal, amely indítja vagy gyorsítja a kémiai reakciót, de maga kémiailag változatlan marad, vagy legalábbis maradandóan nem változik meg a reakció végén. A jelen leírásban a „promotor" kifejezés olyan anyagra utal, amely különbözik a „katalizátor"-tól és elősegíti vagy gyorsítja a kémiai reakciót. A promotor abban különbözik a katalizátortól, hogy a promotor kémiai változáson megy át, miközben feladatát betölti. A „fotopromotor" kifejezés, amelyet az előzőkben már használtunk, olyan anyagokat jelöl, amelyek, miután megfelelő sugárzás hatásának voltak kitéve, vagy (a) disszipálják a bennük már korábban meglevő kémiai energiát, vagy pedig (b) bennük korábban nem levő kémiai energiát tárolnak. Ha ezek az anyagok tartalmaznak vagy tároltak kémiai energiát, olyan módon tudnak hatni, mint a promotorok, amely kifejezést az előzőkben már definiáltuk. A disszipálás vagy tárolás lehet primer reakció, amelyet a sugárzás okoz, vagy pedig 10 szekunder -reakció, amelyet közelebbről meg nem határozott primer reakció hoz létre. A kémiai energia disszipálása tipikusan abban nyilvánul meg, hogy a fémsó (vagy fémion) oxidá-5 ciós állapota vagy száma kémiailag aktív kis számról kevésbé aktív nagyobb számmá alakul át. A kémiai energia tárolása ezzel ellentétes folyamatban nyilvánul meg. Különösen, ez első (a) típusú fotopromotor 10 nem képes arra, hogy promotorként hasson, azokon a helyeken, amelyeken az ilyen fotopromotort sugárzás hatásának tesznek ki. Az ilyen első típusú fotopromotor benne rejlőén azokon a helyeken tud promotorként hatni, 15 amelyeken ezt nem tesszük ki sugárzás hatásának. A második (b) típusú fotopromotor akkor és csak azon helyeken tud promotorként hatni, ahol sugárzás hatásának van kitéve. Ezen második típusú fotopromotor benne rej-20 lően képtelen promotorként hatni azokon a helyeken, amelyeken nem érte sugárzás. A „nemesfém" kifejezés a platina csoportba tartozó fémeket (iridium, ozmium, palládium, platina, ródium és ruténium), valamint az 25 aranyat és ezüstöt foglalja magába. Az „adszorpció"-t a szilárd testek olyan felületi jelenségeként definiáljuk, amely abban nyilvánul meg, hogy valamely folyadék rendkívül vékony molekuláris réteget alkot adhézió 0 útján a szilárd testen. Az adszorpció olyan fizikai vagy kémiai erők hatására jöhet létre, amely erők a folyadék molekular és a szilárd test felülete között lép fel. Az „aktinikus sugárzás" ebben a leírásban olyan ultraibolya sugárzás, amely mélyen bent van az ultraibolya spektrumban. Az ilyen sugárzásnak rövid a hullámhossza, amely kisebb mint 3000 Ám és közelítően az 1800—2700 A tartományon belül van. A szubsztrátum anyagok bő változata alkalmas a tanulmánnyal kapcsolatban való alkalmazásra. Villamosan nem vezető poliamid filmek, részlegesen polimerizált szilikon gyanta filmek. „B állapotú" epoxi filmek, vagy ki nem égetett kerámia anyagok előnyösek a találmány szerinti eljárásnál villamos nyomtatott áramköri mintázat előállítására. Mindamellett más típusú szubsztrátum anyagok is használhatók, mint például poliamidok, papírszöyetek, üvegrostok, más műanyagok, üveg és kiégetett kerámiák. Visszatérve ezek után az 1. ábrára, a találmány szerinti eljárás kezdő lépéseként a 2—5. ábrákon mutatott 11 szubsztrátum egyik felületét 12 tisztításnak vetjük alá, és ezzel a szubsztrátum felületét friss állapotba hozzuk. A friss felület olyan felület, amelyet ha oldatba merítünk, azon az oldat vékony rétegben megtapad. Az ilyen tapadást okozhatja azon jelen-60 ségek bármelyike vagy kombinációja, amelyek adszorpció, fizikai adszorpció, kémiai adszorpció, nedvesítés vagy abszorpció néven ismeretesek. Mindegyik esetben a felületnek képes-65 nek kell lennie arra, hogy az oldat vékony 5