159833. lajstromszámú szabadalom • Eljárás nemesfém-redukáló mintázat előállítására
159833 29 30 képélessége, amely kb. 1—2 M volt mind a mintázat vastagságánál, mind pedig az elválasztásoknál biztosítva volt. Az egyetlen tényező, amely lényegesen befolyásolja az ilyen értékek biztosítását, úgy látszik az a pontosság, amellyel a maszkoló 103 mintázatot fel lehet helyezni a 101 vagy 104 hengerre. A fenti példa kapcsán a 2. és 3. ábra szerinti készüléket használtuk. A 49 forrás folyamatosan volt gerjesztve, úgyhogy a 72 és 74 mintázatokat a poliamid 11 szubsztrátumnak csak egyik nagyobb felületén állítottuk elő. (2) Az (1) példát megismételtük oly módon, hogy csak poliamid filmeket használtunk, és a kezdeti tisztító lépés előtt a 11 szubsztrátumon átmenő lyukakat állítottunk elő. A lyukaikat a szubsztrátum olyan részein belül készítettük, amelyeken végül a 72 és 74 mintázatoknak kellett lenniük. A végtermék az 5c és 5d ábrákon szemléltetett olyan nyomtatott áramkör volt, amely a 11 szubsztrátumból és 113 lyukakat tartalmazó 74 mintázatból készült és a lyukakon belül is fém bevonata volt. A 113 lyukakban levő fém bevonat a 74 mintázattal folyamatos Volt. Más szavakkal a találmány szerinti eljárás eredményesen volt használható olyan nyomtatott áramkörök előállítására, amelyben átmenő plattirozott lyukak vannak. (3) Az (1) és (2) példákat megismételtük úgy, hogy a 49 forrást nem gerjesztettük. A 11 szubsztrátum egyik oldalán 72 és 74 fémmintázatot állítottunk elő, másik oldalán pedig fémbevonatot vagy alapsíkot, amely teljes egészében letakarta azt, mind átmenő plattirozott 113 lyukakkal (a II példánál) és ilyen lyukak nélkül (mint az I példánál). Amikor átmenő lyukakat állítottunk elő, ezeknek falán a ráplattirozott fém folyamatos volt a 72 és 74 fémmintázatokkal, valamint az alapsíkkal. (4) A 11 szubsztrátum „B állapotú" epoxi szalag volt; példánkban 20 x 10-3 cm vastagságút használtunk. A „B állapotú" kifejezés azt jelenti hogy az epoxi nem volt teljes egészében kikezelve. A teljes kikezelést melegítéssel végeztük. Egy példakénti anyag a Fibermat 5, amelyet 3M Company készít. A következő táblázat mutatja azt a módot, ahogy a találmány szerinti eljárást erre a szubsztrátumra alkalmaztuk. Anyag Idő Ph Egyéb 12 tisztító NaQH 1 perc vagy v. több Alconox 1 perc vagy v. több előmele- elégséges legítés ahhoz, hogy frissé tegye 10 15 20 25 30 35 40 45 50 55 60 65 Anyag Idő Ph Egyéb 13 vizes ionmen- 1-4 perc öblítés tes H2 0 14 foto- 0,3 M SnCLj 1-4 perc 1 szonikus promoter gerjesztés 0,3 M PbCl2 1-4 perc 1 és hő elősegíthetik 0,3 M TiCl2 1-4 perc 1 a fotopromociót 16 vizes ionmen- 1-2 perc öblítés tes Hs O 15 szárítás 1/4 perc 17 aktinikus 30-250 miisugárzás liwatt-sec/cm2 2537 A 19 érzékenyítő 20 árammentes plattirozó fürdő 21 vizes öblítés 22 galvanizáló fürdő 23 vizes öblítés 24 szárítás Mintázat eltávolítás lásd (1) példát lásd (1) példát lásd (1) példát lásd (1) példát lásd (1) példát lásd (1) példát használható Kötés erősítés 163 °C 1 óra A NaOH vagy ALCONOX 12 tisztító a 11 szubsztrátumot frissé tette, úgy hogy a 14 fotoproimotor adszorbeálódott rajta. Az előmelegítés szintén frissé tette a szubsztrátumot valamilyen bizonytalan mechanizmus útján, amely lehetséges, hogy olajnak vagy más anyagoknak elgőzölögtetése vagy elpárologtatása, amelyek megakadályozzák az adszorpciót. Ezután az eljárást úgy végezzük el, ahogy azt az 1., 2. és 3. ábrákkal kapcsolatban ismertettük és az (1)—(3) példáknál leírtuk. A 14 fotopromotor moláris koncentrációja és savassága némileg megnövekedett az (1) példában levő értékek általános tartománya fölé, mert kissé nehezebb volt a megfelelő fémionnak adszorpcióját biztosítani a fotopromotorból a szubsztrátum felületére. A 72 és 74 fémmintázatot állítottuk előr amelynek képessége 1—2 /« volt. Ezeket a mintázatokat fel lehetett használni galvanizálással formált termékek vagy nyomtatott áramkörök céljára, miután a kötést megjavítottuk. Az utóbbi esetben a 29 kötés megszilárdítását azáltal értük el, hogy teljesen elvégeztük a „B állapotú" epoxi kikezelését hő útján kb. 15
