159811. lajstromszámú szabadalom • Eljárás rétegek eltávolítására fénysugár alkalmazásával

3 159811 4 szátoan egyforma széles legyen, a széleken ne jelentkezzenek berepedések, és azok ne legyenek szétkenődve vagy elszenesedve. A helybemmaradó réteg ne nyíljon szét és egyéb elváltozást se mutasson, ne legyen azon mechanikus sérülés vagy fizikai-kémiai elváltozás. A fenti célkitűzést a találmány szerint oly módon érjük el, hogy az eltávolítandó rétegre fedőréteget viszünk fel, amely védő- és impregnálórétegként szolgál és amelynek az alkalmazott fénysugárzással szemben magas abszorpció képessége van. Ezzel az eljárással biztosítjuk, hogy elsősorban a fedőréteg és a közvetlenül alatta elhelyezkedő eltávolítandó réteg, pl. az ellenállásréteg melegszik fel, ezáltal az eltávolítandó réteg hordozótestének felmelegedése csökken. Ezenfelül az ellenállás réteget mechanikai és kémiai hatásokkal szemben védjük, és így annak villamos tulajdonságait javítjuk és stabilizáljuk. A találmány szerinti eljárásban fedőrétegként olyan bevonatot alkalmazunk, amely a következő tulajdonságokkal rendelkezik. A fénynyaláb hatására történő elégésnél vagy párolgásnál gyakorlatilag szénzárványt nem létesít, az eltávolítandó rétegből elgőzölgő szénvagy fémrészecskéket izolálja, továbbá szilárd állapotban igen nagy ellenállású és magas átütési szilárdságú, lehűlésnél a széleken felhólyagzott peremek nem keletkeznek, amelyek a réteg szélén repedésekhez vezethetnének. ^Ezeknek a követelményeknek a fenol, alkid, szilikon, észterimid és poliimid gyantarétegek felelnek meg. Különösképpen ' célszerű fenolgyanta-észterimid fedőréteg használata, mivel ezt a fedőréteget a besugárzási művelet befejeztével nem kell a megmunkált rétegről leoldani. Ez az anyag a fentiékben felsorolt követelményeknek kifogástalanul rnegfelel. Előnyösen olyan fedőréteget is használhatunk, amelynek abszorpciója pigment hozzáadásával az alkalmazott fény hullámhosszára beállítható. Ilyen módon lehetséges a fedőréteg abszorpciós fokát változtatni. Pigmentként a sugárzás hullámhosszát figyelemfoevéve pl. báriumszulfát alkalmazható. A találmány szerint a fedőréteghez olyan anyagok is keverhetők, amelyek a fényenergia besugárzására ismét szabaddá válnak és az eltávolítandó réteggel reakcióba lépnek. Ennek az adalékanyagnak a megválasztása az alapréteghez igazodik. Példaképpen szénirétegeknél oxigént lehasító adalékanyagot alkalmazunk, ugyanígy fémrétegeknél is. Adott körülmények között előnyös olyan fedőrétegeket választani, amelyek a sugárzás befejeztével ismét eltávolíthatók pl. oldás vagy leolvasztás útján. Ez különösen akkor fontos, ha a helyibenmaradó rétegeket tovább kívánjuk megmunkálni, vagy ha a fedőréteg a készterméken zavarólag hat. A találmány szerinti eljáráshoz különösen CO2 lézer alkalmas sugárforrásként. Ennek a lézer típusnak nagy teljesítménye a találmány szerinti fedőréteg hatására a megmunkálási időt megrövidíti, pl. a hengeres ellenállások elkészítésénél az eredeti megmunkálási idő felére 5 vagy negyedére csökkenthető, ami a villamos rétegellenállások gyártásának már elért magas műszaki szintjét tekintve, igen jelentős műszaki töibfolethatásit jelent. A találmány szeriinti eljárást és az eljárás-10 sal előállított ellenállást a csatolt rajz kapcsán ismertetjük. Hengeres, kerámiából készült 1 hordozótestre 2 ellenállásréteget, pl. szénréteget viszünk fel. A 4 sapkáknak az 5 csatlakozóvezetékekkel együtt történt behelyezése után a szaibadon levő 2 ellenállásréteget 3 fedőréteggel borítjuk be. Fényforrásból, célszerűen lézerből kibocsátott párhuzamos 6 fénynyalábot 7 optika segítségével a 2 ellenállásrétegen 8 gyújtópontban egyesítjük. Az ellenállás egyidejű forgatása és oldalirányú eltolása folytan, amint azt a rajzon nyilak jelzik, csigahornyot égetünk be a 2 ellenállásrétegbe és a 3 fedőrétegbe. A találmány szerinti rétegek eltávolítására alkalmas eljárás természetesen nem csak ellen-25 állások előállításánál használható, hanem alkalmazható pl. kondenzátorok és egyéb, vékony rétegekből álló áramkörök előállításánál is. A fém- és szénrétegek mellett a találmány szerinti eljárással megmunkálhatok fémoxid és 30 fémkerámiai (fémmáz) rétegek is, valamint pl. vékony és áttetsző nem-fém rétegek, így szigetelőrétegek is. 35 Szabadalmi igénypontok: 1. Eljárás rétegek, különösen szigetelő hordozótestekre felvitt eilenállásrétegek eltávolítására fénysugár, előnyösen lézer sugár alkaí-40 mázasával, azzal jellemezve, hogy a sugárkezelés előtt az eltávolítandó rétegre az alkalmazott fénysugárzással szemben az eltávolítandó rétegnél nagyobb abszorpció képességgel rendelkező fedőréteget viszünk fel. (Eis.: 1968. 45 XI. 29.) 2. Az 1. igénypont szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy fedőrétegként az abszorpció képességet az alkalmazott fénysugárzás hullámhosszán növelő pigment 50 anyagot tartalmazó réteget használunk. (Eis.: 1968. XI. 29.) 3. A 2. igénypont szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy pigment anyagként báriumszulfátot tartalmazó fedőré-55 teget használunk. (Eis.: 1968. XI. 29.) 4. Az 1—3. igénypontok bármelyike szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy olyan fedőréteget viszünk fel, amely az eltávolítandó réteggel besugárzáskor reagáló 60 anyagokat tartalmaz. (Eis.: 1968. XI. 29.) 5. Az 1—4. igénypontok bármelyike szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy a fedőréteget a besugárzási művelet utón e5 eltávolítjuk. (Eis,: 1968. XI. 29.) .2