159761. lajstromszámú szabadalom • Eljárás vékonyréteg-áramkör előállítására
MAGTAB NÉPKÖZTÁRSASÁG ORSZÁGOS TALÁLJMANYl HIVATAL SZABADALMI LEÍRÁS Bejelentés napja: 1967. XI. 10. (KE—808) Német Demokratikus Köztársaság-beli elsőbbsége: 1966. XI. 24. (WP 21 c/121 070) Közzététel napja: 1971. VII. 02. Megjelent: 1972. X. 31. 159761 Nemzetközi osztályozás: H 05 k 3/06; H 05 k 3/00 •'«Jini Feltalálók: Dr. Gesemann Renate oki. vegyész, Püschel Hans oki. fizikus, Kappelt Reinhard oki. íizikus, Schneider Bernhard oki. fizikus, Hermsdorf, Német Demokratikus Köztársaság Tulajdonos: VEB Keramische Werke Hermsdorf cég, Hermsdorf/Thür., Német Demokratikus Köztársaság Eljárás vékonyréteg-áramkör előállítására A találmány tárgya eljárás vékonyrétegáramkör előállítására, melynél sík, szigetelő alapra (hordozótestre) vasból és nikkelből álló rétegeket mint vezetőpályákat és érintkezőfelületeket viszünk fel. 5 Kondenzátort tartalmazó vékonyréteg-áramkörökiben a kontaktusképzés egyszerűsítése és eljárási műveletek egyidejű megtakarítása céljából a vas-nikkelből álló vezetékpályákon és 10 érintkezőifelületeken kívül a kondenzátorok alap- és fedőelektródáját is felvisszük. A vizsgálatokból kiderült, 'hogy jóllehet, a vas-nikkel érintkezőfelületek merítéssel ónozhatok, azonban ez. a tulajdonság az SiOn - ill. TiOn- 15 dielektrikum reaktív felvitelekor a vas-nikkel alapelektródás képződő oxidhártya folytán elvész. Ez az oxidhártya megfelelő oldószerekkel eltávolítható ugyan, akkor azonban a dielektrikum tapadószilárdsága az SiO„ ill. TiOn meg 20 a vas-nikkel határán, valamint magának a vas-nikkel rétegnek a saját határán rosszabbodik. Ezenkívül a forrasztóíürdőbe és forrasztóvízbe váltakozva történő bemerítés következtében a határrétegbe ón hatol be, és fennáll az 25 alapelektróda átónozódásának veszélye. Egy további hátrány az, hogy a kondenzátorrétegek oxigénben 150—500° Ihőmérsékleten végzett temperálásánál a vas-mikkel rétegek csaknem teljesen átoxidálódnak. Ilyen rétegeket nem 30 lehet merítéssel ónozná. Az elektródák a nagy ellenállás folytán használhatatlanokká válnak. A kapacitás és a veszteségtényező frekvenciafüggősége a nagy soros ellenállás következtében különösen 105 Hertznél nagyobb frekvenciákon igen nagymértékű, miáltal a szóbanforgó eljárással előállított kondenzátoros vékonyréteg-áramkörök alkalmazása ezen a területen csak korlátoltan lehetséges. A találmány szerinti eljárás oélja az említett hátrányok kiküszöbölése. A feladat a kondenzátoros vékonyréteg-áramkörök előállítási eljárásának egyszerűbbé tétele. valamint az egyes áramköri elemek tökéletesítése. A találmány szerinti eljárás értelmében bizonyos fokig megváltozik az előállítási műveletek sorrendje és részben az egyes elektródák anyaga is. Eljárásunk szerint az érintkezők kialakítását, a dielektrikum reaktív felgőzölögtetését és a kondenzátorrétegek temperálását csekély számú művelettel végezzük el. Az eljárásnál, magában véve ismert módon az alapra mint sík szigetelő hordozótestre először alumínium vagy vas-nikkel alapelektródát viszünk fel, melyet részben —SiO„-ból vagy TiOn -ból álló — dielektrikummal vonunk be. Ezt a műveletet^ szükség esetén követheti egy 159761
