159540. lajstromszámú szabadalom • Eljárás planar technológiával készülő félvezető termékek stabilitásának fokozására

5 159540 felületén a réteggel azonos típusú, de növelt koncentrációjú réteget, célszerűen N+

típusú réteget hoznak létre. 4. Az 1. igénypont szerinti eljárás foganato-A kiadásért felel: a Közgazdasági és Jogi Könyvkiadó igazgatója. 7207434. Zrínyi (T) Nyomda, Budapest V., Balassi Bálint utca 21—23. 3 sítási módja azzal jellemezve, hogy a szilícium lapka hátoldalát kémiai polírozással, célszerűen struktúra előhívó polírozással a planár oldalnál nagyobb fajlagos felületűvé alakítjuk.