159499. lajstromszámú szabadalom • Eljárás epitaxiális filmek növesztésére

7 159499 8 3. Az 1. vagy 2. igénypont szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy alapoldatként gaUium-alumíniumfoszfidot, gallium-alumíniumarzenidet, alumíniumarzenidet vagy alumíniumfoszfidot alkalmazunk. 4. Az 1. igénypont szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy alapoldatként gaMum-alumíniumarzenidet és 0,2—15 atomszázalék alumíniumot tartalmazó oldatot használunk. 5. A 4. igénypont szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy tellurt tartalmazó alapoldatot használunk. 6. Az 1. igénypont szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy alapoldatként gallium- alumíniumfoszfidot és 0,2—4 10 15 atomszázalék alumíniumot tartalmazó oldatot használunk. 7. Az 1. vagy 2. igénypont szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy az alapoldatot egy furatban helyezzük el. 8. Az 1. igénypont szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy két fajta, p-típusú ill. n-típusú vezetőképességet biztosító alapoldatot használunk, a szuhsztrátum-4iordozót egyik iránybán mozgatva a szennyeződéseket eltávolítjuk és a szubsztrátumot az egyik alapoldattal érintkeztetjük, majd a hordozót a film növesztése után ellentétes irányban mozgatva eltávolítjuk a szennyeződéseket és a szubsztrátumot a másik alapoldattal érintkeztetjük. 1 rajz A kiadásért felel: a Közgazdasági és Jogi Könyvkiadó igazgatója. 7207427. Zrínyi (T) Nyomda, Budapest V., Balassi Bálint utca 21—23. 4