159482. lajstromszámú szabadalom • Eljárás rétegek eltávolítására laser-sugarak alkalmazásával
1594&2 3 4 nie, melynek értékét az n-d = 1/4 egyenlet határozza meg. Az egyenletben n a visszaverődést csökkentő bevonatként szolgáló fedőrétegnek az alkalmazott fény-sugárzás hullámhoszszához tartozó törési mutatója. Ez az eljárási művelet az optikai lencsék fényvisszaverődésének csökkentését célzó eljárásnak felel meg. A visszaverődést csökkentő réteg vastagsága a legvékonyabb réteg vastagságának páratlan számú többszörösét teheti ki. így olyan viszkózus lakkok is alkalmazhatók, amelyeknél néhány /J. vastagságban történő felvitele nehézséget okoz. A visszaverődést csökkentő hatást minden esetben elérjük, Amennyiben az előnyös fenolgyanta-észterimid-lakkot alkalmazzuk, úgy azt körülbelül d = 2 [i vastagságban visszük fel az adott felületre. Energiaforrásként előnyösen C02 gázlasert alkalmazunk. Ellenállások előállításánál a találmány szerinti eljárás különösen kedvező eredményeket mutat, amennyiben az ellenállási, valamint fedőréteg alapanyagának lasersugárral leolvasztott részeit intenzív sűrített levegő-áram segítségével távolítjuk el. Ezáltal visszamaradt szennyeződéstől mentes és denmedési repedés nélküli csigahorony képződik. Egyidejűleg az alapanyag is lehűl, ami különösen az ellenállás előnyös tulajdonságainak kialakítását a hőmérsékleti együttható, a terhelhetőség, az áramzaj és a tűrés vonatkozásában foiztosítjia. Amennyiben a leolvasztott részeket nem távolítanánk el, úgy a sugárzás hatására elpárologtatott, elektromosan vezető réteg egyes részei a felolvasztott alapanyag felületén feloldódnának. Lehűtésnél ez a szennyezett alapanyag a sugárzási tartományon belül egy meg nem határozott ellenállást képez, ami emelkedő áramzajhoz és értékeltérésekhez vezet. Különösen előnyösen alkalmazható a találmány szerinti eljárás akkor, ha a sűrített levegő-áramot pontosan a gyűjtőpontra irányítjuk oly módon, hogy a sűrített levegő-áram iránya a laser sugár irányával 70° és 80° közötti szöget zár be és a sűrített levegő-áram, valamint a csigahorony azonos sík'ban fekszik. A találmány szerinti eljárást és az eljárással előállított ellenállást a csatolt rajz kapcsán ismertetjük részletesebben. Hengeres, kerámiából készült 1 hordozótestre 2 szénréteget és arra 3 lakkréteget viszünk fel. A lakkréteg egyébként az előzőekben ismertetett követelményeknek megfelel. A laserből kibocsátott párhuzamos 6 fénynyalábot 7 optika segítségével a 2 ellenállási rétegen 8 gyújtópontban egyesítjük oly módon, hogy az ellenállás egyidejű forgatása és eltolása során a rétegbe 9 csigahornyot égetünk be. Az 1 hordozótest alapanyagának a 8 gyújtópontban szétolvadt részecskéit a 10 fúvókából kilépő intenzív 12 sűrített levegő-áram segítségével a 8 égési szakaszból fúvással eltávolítjuk. A találmány szerinti, rétegek eltávolítására alkalmas eljárás természetesen nemcsak ellenállások előállításánál használható, hanem kondenzátorok és vékony rétegekből álló áramkörök előállításához is. A fám- és szénrétegek mellett a találmány szerinti eljárással megmunkálhatok fémoxid és fémkerámiai rétegek is ugyanúgy, mint pl. vékony és áttetsző nem-fém rétegek, így szigetelőrétegek is. Szabadalmi igénypontok: 1. Eljárás rétegek, különösen szigetelő hordozótestre felvitt ellenállási rétegek eltávolítására, nyalábolt fényenergia, előnyösen laser sugagarák alkalmazásával, azzal jellemezve, hogy az eltávolítandó rétegre az alkalmazott fénysugárzással szemben visszaverődést csökkentő rétegként ható fedőréteget viszünk fel. ;2. Az 1. igénypont szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy fedőrétegként fenolgyantaészterimidlakkot használunk. 3. Az 1. igénypont szerinti eljárás foganat osítási módja, azzal jellemezve, hogy fedőrétegként szilárd fluorszénhidrogénből álló réteget használunk. 4. A 3. igénypont szerinti eljárás foganatosítása módja, azzal jellemezve, hogy fedőrétegként politetraífluoretilént viszünk fel. 5. Az 1—4. igénypontok bármelyike szerinti eljárás foganatosítása módja, azzal jellemezve, hogy a fedőrétieget az n-d = 1/4 egyenlet által meghatározott d vastagságban visszük fel, mely képletben n a fedőrétegnek az alkalmazott fénysugárzás 1 hullámhosszához tartozó törési mutatója. 6. Az 5. igénypont szerinti eljárás foganatosítás! módi a, azzal jellemezve, hogy a fedőréteget az n • d = 1/4 egyenlet által meghatározott legkisebb vastagság páratlan számú többszörösének megfelelő vastagságban visszük fel. 7. A 2. és 5. igényipont szerinti eljárás foganatosítása módja, azzal jellemezve, hogy a fedőréteget d = 2 fi vastagságban visszük fel. 8. Az 1—7. igénypontok bármelyike szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy C02 gáz lasert alkalmazunk. 9. Az 1—8. igénypontok bármelyike szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy az alapanyagnak, valamint az ellenállási-és fedőrétegnek fényenergia nyaláb által meg-10 15 20 25 30 35 40 45 50 55 60 2
