159444. lajstromszámú szabadalom • Eljárás vékonyréteg-áramkör előállítására
159444 9 verzeteire, 10) forrasszal nem nedvesíthető nikkel-króm rétegeket (15) viszünk fel. 9. A 2—8. igénypontok bármelyike szerinti eljárás foganatosítási módja, kondenzátort is tartalmazó vékonyréteg áramkör előállítására, melynél a vezetékpályákat (2 és 3), az érintkezőfelületeket (4—7), az alapelektródákat (8)," a dielektrikumokat (9), és a fed(elektródákat (10), képező rétegek felvitele után az ellenállásréteg képzésére nikkel-króm ötvözetű réteget viszünk fel, azzal jellemezve, hogy a felvitelt maszk alkalmazása mellett rágőzölögtetéssel vé-10 10 gezzük, oly módon, hogy a felvitel után a fedőelektródát (10) is nikkel-króm ötvözetű réteggel (15) fedjük be. 10. A 2—9. igénypontok bármelyike szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy a temperáló műveletet vákuumos műveletek utolsó lépéseként végezzük. 11. A 2—9. igénypontok bármelyike szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy a temperáló műveletet az utolsó vákuumos művelet után végezzük. 1 rajz, 3 ábra A kiadásért felel: a Közgazdasági és Jogi Könyvkiadó igazgatója. 7207422. Zrínyi (T) Nyomda, Budapest V., Balassi Bálint utca 21—23.