158726. lajstromszámú szabadalom • Eljárás félvezető elemek forrasztására hordozóhoz

MAGYAR NÉPKÖZTÁRSASÁG ORSZÁGOS TALÁLMÁNYI HIVATAL SZABADALMI LEÍRÁS SZOLGÁLATI TALÁLMÁNY Bejelentés napja: 1969. VI. 18. (MO—736) Közzététel napja: 1970. X. 24. Megjelent: 1971. XII. 15. 158726 Nemzetközi osztályozás: H 01 1 1/14 Feltalálók: Dr. Motál György fizikus, 50%, Gál Imre fizikus, 30%, Etele Imréné technikus, 20%, Budapest Tulajdonos: Egyesült Izzólámpa és Villamossági Rt., Budapest Eljárás félvezető elemek forrasztására hordozóhoz A találmány eljárás félvezető elemek — pl. diódák, monolitikus integrált áramkörök stb. — forrasztására hordozóhoz, pl. állványhoz, szerelőszalagra, oly ötvözet felhasználásával, ami eutdktikus arányú Au és Si mellett, titánt, 5 berilliumot, vagy krómot tartalmaz. A jelzett feladat megoldására általában ismert aijárásdknáíl eutekstikumos összetételű Au—Si bináris rendszert használnak. Az Au— io Si eutektikumnak ugyanis olvadási hőmérséklete — kíb. 370 C° -— kedvezően kis értékű. A forrasztás kivitelezése többféleképpen történhet — példaként — néhányat felsorolunk. 15 A forrasztási felületen előzetesen bearanyozott félvezető elem és ugyancsak aranyozott fém hordozó összeillesztésével és megfelelő hőkezeléssel. Tiszta felületű félvezető elem és aranyozott 20 hordozó közé elhelyezett aranylemezkónek együtt melegítésével. Tiszta felületű félvezető elem és aranyozott hordozó közé elhelyezatt arany-szilieium vagy arany^germániuna eutektiikus Ötvözetből készí- 25 tett lemezke együtt melegítésével. Tiszta felületű félvezeitő elem és megfelelő vastag arany bevonattal ellátott hordozó öszszeiUesztésével és együttes melegítésével. -O

o A felsoroltakon kívül még más kombinációk is lehetségeseik, .melyleknek azonban közös vonása az, hogy a félvezető elem forrasztási felülete, valamint a hordozó felülete közé olyan mennyiségű aranyat helyeznék el, mely a teljes felületre kiterjedő forrasztást biztosítani tudja, az ahhoz szükséges félvezető-arany eutektikum képződést lehetővé teszi, majd az összeillesztett rendszert az eutdktikus ötvözet olvadáspontjának megfelelő hőmérsékletre, vagy afölé melegítik. Ha a felfoirrasztáshoz aranylemezkét használnak, akikor a forrasztási felülettel azonos méretű, .2Q/i vagy annál vastagabb aranylemezke elegendő megbízható forrasztás készítéséhez. Ha közvetlenül a fémhordozó arany bevonatához forrasztanák, akkor jó forrasztás készítéséhez a bevonat vastagságának 3/J, vagy afelett kell lennie. A hordozó, melyre a félvezető elemeit forrasztják, lehet aranyozott felületű fém állvány, aranyozott fém szerelőszalag, vagy kerámia, illetve üvegihordozó fémezett, aranyozott forrasztási felülete. Az előzőekben leírt ós önmagukban ismert felforrasztási rendszereket az ugyancsak isimert és elterjedten alkalmazott automata felfoirrasztó gépekien vagy folyamatos üzemű, szalagos kályhákban lehet megvalósítani. Megjegyezzük, hogy két vagy három aüfcotós Au ötvözetekéit a technikában már felhasználtuk különféle célokra, sőt a félvezetőtechniká-158726