158606. lajstromszámú szabadalom • Eljárás elektromos mikrotechnológiák szerelési műveleteinek tökéletesítésére
MAGYAR NÉPKÖZTÁRSASÁG ORSZÁGOS TALÁLMÁNYI HIVATAL SZABADALMI LEÍRÁS SZOLGALATI TALÁLMÁNY Bejelentés napja: 1969. III. 06. (PA—997) Közzététel napja: 1970. IX. 28. Megjelent: 1971. X. 20. 158606 Nemzetközi osztályozás: H 01 1 7/60 Feltalálók: Paróczi Gyula fizikus, Horváth Gábor oki. gépészmérnök, Mann Viktor oki. elektrotechnikus, Budapest Tulajdonos: Egyesült Izzólámpa és Villamossági RT., Budapest Eljárás elektromos mikrotechnológiák szerelési műveleteinek tökéletesítésére 1 A találmány félvezető eszközök, vékonyréteg-áramkörök és egyéb nagyfrekvenciás mikroáramkörök szerelésére vonatkozik. A szerelés lényege a mikroelemek galvanikus összekötése a kivezető elemekkel. A vékony huzalokkal tör- 5 ténő összekötés kontaktálási módszere az ún. termokompresszió. Az összekötés első fázisa: a termokompresszió a félvezető vagy más mikroelemre. Ezen kötés 10 minősége határozza meg alapvetően a szerelés jóságát. A kötés minősége függ a huzal alakjától és szilárdsági jellemzőitől, amik a műveletet megelőző huzalelvágás eredményei. Az összekötés második fázisa: a huzal rögzítése 15 termökompresszióval a nagyobb méretű kivezető elemre. Az összekötés harmadik fázisa: a bekötött huzalrész elválasztása a folyamatosan adagolt huzaltól Találmányunk új eljárás a harmadik fázis- 20 nak jelölt művelet elvégzésére. Találmányunk részletes kifejtése előtt a jelenleg használatos eljárásokat röviden ismertetjük. Az eddig alkalmazott eljárások: a szakításos módszer, a lángelvágásos módszer és a vágó- 25 szerszámmal történő elvágás. A szakításos módszer a huzalt valamilyen szerszámmal megfogja, és a termokompressziós fej megrántásával a huzalt elszakítja. Az eljárás hibája, hogy a szakítás helye változik, a huzal 3 Q elvékonyodik, és másodlagos elvágásra van szükség. Az eljárás további hibája, hogy a huzal a hidegalakítás (nyújtás) mértékétől függően megkeményedik és ez érzékenyen befolyásolja a következő termokompressziót. A lángelvágásos módszer hidrogén, oxigén gázelegyből képzett lángot használ a huzal olvasztással történő elválasztására. Az olvadt huzal végét a felületi feszültség gömbbé alakítja. A gömb átmérője az alkalmazott huzal átmérőjének kb. kétszerese. Ebből a tényből adódik, hogy az alkalmazható huzal méretek mellett 40 mikron átmérőjű huzalnak megfelelő felületnél kisebb termokomprimálandó felületre ez az eljárás nem használható. A vágószerszámmal történő elvágási módszerek két csoportja ismert. A vágószerszám a termokompresszió közelében vág. Ezeknél a módszereknél a huzal vége megsérül és másodlagos levágás szükséges. Ezen eljárások egy második csoportja vezérelt pályájú ollót alkalmaz, ez azonban nem fér a termokomprimált hely közelébe. Így jelentős huzalfelhasználást eredményez. Ezen teljesség nélkül vázolt hibák és technológiai nehézségek áthidalására törekedtünk találmányunk kidolgozásánál. Találmányunk eljárás elektromos mikrotechnológiák szerelési műveleteinek tökéletesítésére félvezető észközök, vékonyréteg áramkörök és 158606
