158528. lajstromszámú szabadalom • Eljárás monolitikus félvezető eszközök előállítására

158528 Nemzetközi osztályozás: H 01 1 19/00 FIG.I 22 FIG. 2 FIG. 4 mMMmmm N+43 FIG545

44 43 FIG. 6 S3 4.4 FIG. 7