158142. lajstromszámú szabadalom • Másolókészülék, előnyösen félvezetőtárcsákra való másoláshoz

MAGYAR NÉPKÖZTÁRSASÁG ORSZÁGOS TALÁLMÁNYI HIVATAL SZABADALMI LEÍRÁS Bejelentés napja: 1969. I. 27. (MO—721) Német Demokratikus Köztársaság-beli elsőbbsége: 1968. III. 15. (WP 21 g/130 872) Közzététel napja: 1970. VII. 13. Megjelent: 1971. VI. 15. 158142 Nemzetközi osztályozás: G 03 f 7/16; H 01 1 7/50 /^aL^.bí^:í«ift^>, 3 . Sfe^r * / Feltaláló: Dipl.-Phys, Westphal Peter oki. fizikus, Dresden, Német Demokratikus Köztársaság Tulajdonos: Arbeitsstelle für Molekularelektronik, Dresden, Német Demokratikus Köztársaság Másolókészülék, előnyösen félvezetőtárcsákra való másoláshoz Félvezető szerkezeti elemek előállításánál a finom •geometriai diffúziós ablakokat a tárcsákon azáltal állítják elő, hogy azokat a sablonokról, ill. a mésolámintákról beigazító, és kontakt- 5 másoló eljárásban a fotólaikkal áthúzott tárcsákra viszik át ós ehhez csatlakozóan a mászkáló, illetve elfedőrétegat, pl. Si09-t, maratják. Ez eljárással szemben a legnagyobb követelményeket támasztják az esetleg 'már meglevő struiktúrák 10 hozzárendelése és az átvételi minőség tekintetében, így a liaikk4sépek elegyenlőtlensége «O/dn, a mértéktairtóssága jobb, mint +.l/t*m legyen. Hogy ezeket a követelményeiket megvalósítsák, mindenekelőtt jó kontaktus szükséges a kopíro- 15 zásnál a tárcsa és a sablon' között. Ehhez másolóberendezéseket használnak, amelyek lényegében egy isablontarto szerkezetből és egy függőlegesen mozgatható gömbös tányérral 20 ellátott nyomófejből állanak, amelyre a tárcsákat ráhelyezik. Ez a nyomófej általában a sablontartió szerkezet alatt manipuláló készüléken van megerősítve, amellyel az x-, y- és ip irányban mozgatható. Az erőt a tárcsának a sablonra 25 való rászorításához egy vagy több rugó segítségével, vagy nyomólevegővel állítják elő, amelyek a nyomófejet, ill. a bélyegzőt függőleges irányban mozgatják. A beszabályozás alatt a nyomófejet, ill. a bélyegzőt a rugóerő ellenében lefelé 30 nyomják, úgyhogy a tárcsa és a sablon egymáshoz lképest szabadon elmozgatható. A tárcsának a salbüomhoz képest való beszabályozása után a rányoimókészülék reteszélését megszüntetik és a tárcsát rugóerővel a sablonra préselik. Ezek a készülékek nem biztosítják a legfinomabb geometriák átviteliéhez, amelyek 1 ... 5 jum nagyságrendjében vannak, szükséges jó kontaktust, mindenekelőtt iákkor nem, ha a tárcsák nem kielégítően egyenesek, laposak, illetve sima síkok. A rányomóeirőt ugyanis nem lehet tetszésszeriint fokozni, .minthogy különben a sablonok túl erősen áthajtanak és alkalmasint szétrepednek. A tárcsa kijavítása, ill, kiegyenesítése a sablonnal párhuzamosian, ezért tökéletlen. A reteszelés oldásainál a beigaizítás után gyakran a tárcsa párhuzamosian eltolódik a sablonhoz képest, úgyhogy egy mégegyszeri beigaizítás válik szükségessé. A sablonok cserélése a rögzített tartószerkezet miatt, amelynek a rugónyomást fel kell vennie, hosszadalmas. Ezen tűknemően fennáll a veszély, hogy a sablonokat befeszítéskoir, ill. befogáskor elgörbítik. A találmány célja a technika isimért állásával kapcsolatos hiányok kiküszöbölése, valamint oly eszközök Mtrehozásía, (amelyek a mikroelektronika nagy követelményeinek a másolóeljárás minősége tekintetében megfelelnek. ' 158142