157165. lajstromszámú szabadalom • Mérőcső redukált elektron desszorbciójú ionizációs manométer részére
MAGYAK NÉPKÖZTÁRSASÁG ORSZÁGOS TALÁLMÁNYI HIVATAL SZABADALMI LEÍRÁS "wur1 '-- ii nM—rrnwiiiiiwrininiwi—iiwiiiiiww——•—•!••• •!••• —ÍIIWIMIIIIIWII n wmiwi—i Bejelentés napja: 1967. XII. 21. (PO—410) Lengyelországi elsőbbsége: 1966. XII. 23. (P. 118 133) Közzététel napja: 1969. IX. 22. Megjelent: 1970. IX. 15. 157165 Nemzetközi osztályozás: G 01 1 Feltaláló: Dir. Groszkowski Jánusz professzor, Warszawa, Lengyelország Tulajdonos: Politechnika Wanszavszka Warszawa, Lengyelország Mérőcső redukált efektrondesszorbciójú ionizációs manometer részére Az ionizációs manométerekhez használt ismert mérőcsövekben, amelyek ionáramok miérésére szolgálnak, a nagy vákuumban elektron-desszorbeiós jelenség lép fel. Ez a jelenség abban áll, hogy az elektronáriam, amelynek az a feladata, bogy a mérőcsőban levő gázokat, amint azok az anódra érkeznek ionizálja, valamint, azon gázokat ionizálja^ amelyek mint adszorbeált gázok az anód felületén helyezkednek el. Az eközben keletkező ionokat azokkal az ionokkal együtt, amelyek a cső belsejében keletkeztek, ionáramkőllektor gyűjti. Mivel a felületi gázok, vákuum körülmények között rendellenesen viselkednek, mérési hibák adódnak. Ezek a hibák a nyomás csökkenésével nőnek, mert a csőtérben keletkező ionáramok a felületen levő ion áramoknál gyorsabban csökkennek. A találmány célja, az, hogy ezt a káros jelenséget .' kiküszöböljük. A találmány szerinti redulált elektron^adszorbaiójú, ionizációs manométernél két egyenlőtlen (a katódhoz képest pozitív) potenciálú anódot alkalmazunk. Az anódok koncentrikus hengeres kalitka alakúak. Az anódon kívül elhelyezett katód által emittál elektronok a kalitka belsejébe kerülnek, ahol azok a gázt ionizálják, és a keletkező ionokat a megfelelő potenciálon levő kollektor gyűjti össze. 10 15 20 25 Azon okból, hogy azok a becsapódó elektronok, amelyek az anódrudak felületén ionokat hoznak létre ne juthassanak a kollektorra, a belső anód kisebb potenciálú, mint a külső anód, ezáltal az ionok külső kalitka rúdjainak felületéről a belső kalitka rúdjai felé irányulnak, miáltal ezeknek az ionoknak árama a kollektor irányában jelentősen csökken. Az ionizáció, amely a belső kalitka rúdjai irányában jön létre sokkal gyengébb, mert ehhez a kalitkához áramló elektronáram sokkal gyengébb, mint a külső kalitkát követően folyó elektronáram, mert az utóbb említett kalitka potenciája nagyobb. A távolság, az elektiroraipálya á rúd vastagsági méreteinek alkalmas megválasztásával, valamint a potenciál célszerű megválasztásával elérhető, hogy a felületi ionizáció útján keletkező a kollektorhoz jutó ionok száma csökkenthető legyen, azokkal az ionizációs mérőcsövekkel szemben, ahol az alkalmazott egyetlen anód következtében sokklal nagyobb számú felületi ion keletkezik. A találmány példakénti kiviteli alakját rajz alapján ismertetjük részletesiebben. A rajzon az 1. ábra a találmány szerinti csövet ábrázolja 20 a hosszanti tengely szerint vett metszetben, a 157165
