155688. lajstromszámú szabadalom • Eljárás és berendezés anyagok vastagsági egyenetlenségeinek kimutatására
7 155688 3 gárcsőben a 32 impulzusgenerátor által gerjesztett sugármoduláló impulzusokkal modulálható, szinkronizálva a vezérlő elektródokra adott váltakozó áramú feszültséggel, amikor is a moduláció fázisa olyan, hogy ha a 11 réteg egyenletes, akkor az elektronsugár intenzitása nő, amikor a váltakozó sugáreltérítő feszültség, ha van ilyen, nullán halad át. A katódsugárcső ernyőjén megjelenő kép folytonosan rögzíthető olyan fényérzékeny filmen, amely az elektronsugár eltérítésének irányára merőlegesen mozog; "így folytonosan regisztrálhatjuk a 11 réteg egyenletességét. A 26 katódsugárcső ernyője „nézhető" egy ismert rendszerű 27 fotoelektromos érzékelő szervvel. Alkalmas ernyőkeretezéssel elérhető például, hogy a 27 fotoelektromos érzékelő szerv csak akkor „lát" egy fényes nyomot vagy foltot, amikor az előre meghatározott mértékben el van térítve. A 27 szerv beiktatható egy jelfogó áramkörbe, úgyhogy amikor a megállapítottnál erősebb eltérést érzékel, egy jelfogó figyelmeztető jelzést ad. Fordítva természetesen az is megvalósítható, hogy a 27 fotoelektromos érzékelő szerv az eltéri tétlen nyomvonalat vagy foltot „nézi", ha ez a vonal vagy folt az előre meghatározottnál nagyobb eltérítés miatt elhagyja a 27 szerv látómezejét, akkor a 27 fotoelektromos érzékelő szerv által kapott folytonos jel megszűnik. Ez a megszakadás figyelmeztető jelzést adó szervet hozhat működésbe. Végül az is beállítható, hogy a 26 katódsugárcső elektronsugara csak akkor éri a fluoreszkáló ernyőt, ha egy előre meghatározott mértéknél jobban van eltérítve. Célszerű gondoskodni annak a megakadályozásáról vagy korlátozásáról, hogy a 10 film hamis mozgásai, például a rezgése káros hatást gyakoroljon, változásokat okozva az elektródok és a 11 réteg elektromos csatolásában. Az 1. ábrán bemutatott elektródcsoport kapcsolása a 4. ábrán látható. A vezérlő elektród csatoló kapacitásai (CA és C B ) elektromosan sorba vannak kapcsolva az A—P és B—P helyek közötti RAP , ill. RBP rétegellenállásokka 1 . A 14 indikátorelektródnál a CP csatoló kapacitáson át felvett V P potenciált CA -nak vagy C B -nek a hamis változásai modifikálják, ami a potenciálgradiens változása által keltett bármilyen jelre szuperponálódó zajjeleket indukál. A filmrezgés okozta zaj csökkentésének egyik módja a 3. ábrán vázolt kettő vezérlő elektródok alkalmazása. Minden 20 vezérlő elektród elektromosan össze van kapcsolva egy megfelelő 20' segéd-vezérlőelektróddal a 10 film másik oldalán. A 10 filmnek a vastagsága irányában végzett rezgése csak kevéssé változtatja meg a csatoló kapacitásokat a kettős 20—20' vezérlő elektród között. Ily módon a zaj kb. 1 mm amplitúdójú rezgések esetében mintegy tizedére csökkenthető. Egy másik, illetve további módszer a zaj csökkentésére a fázisra érzékeny érzékelés alkalmazása a 23 és 24 detektorokkal kapcsolatban. Áz ilyen fázisra érzékeny érzékelés egyik módja szerint a 25 erősítőt, 26 katódsugárcsövet és 32 impulzusgenerátort alkalmazzuk <3. ábra). A CA és CB csatoló kapacitások változása (vagyis a zaj) okozta potenciálingadozások fázisa 90°-kai 5 el van tolódva az Rx, és RBP rétegellenállások vastagságingadozás okozta változásai által kiváltott ingadozások fázisához képest, ennélfogva az utóbbi ingadozások jobban észlelhetők és erősíthetők az előbbiekhez képest ismert fázisész -10 lelési technikával. A 18 mozgatható elektródrendszer ide-oda mozgása „élhatást" vált ki a rendszer legkülső vezérlő elektródjai tekintetében. E hatás kiküszöbölésére a 18 rendszer mindkét végén 28 pót-15 elektródokkal zárható le. Ezek földelve lehetnek az L induktancián át (a rajzon nincs feltüntetve). Az L induktanciát úgy választjuk ki, hogy a 28 pótelektród a CE csatoló kapacitással együtt soros rezgőkört alkot a váltakozó frekvenciánál. 20 Ennek az a következménye, hogy a közvetlenül a 28 pótelektród alatti 11 réteg teljesen földpotenciálon van, úgyhogy a 20 külső gerjesztő elektródokat nem érintik a 11 réteg relatív helyzetében a 18 elektrödrendszer ide-oda mozgása okozta 25 változások. A fent leírt élhatást kompenzáló módszernek két hátránya van: (1) az L induktancia optimális értéke kritikus, és 30 (2) kis változások a CE csatoló kapacitásban megzavarják a rezonanciapontot s ennélfogva a kompenzáló hatást. Az élhatás kompenzálásának másik módja szerint mérjük all réteg potenciálját a 28 pótelekt-35 ródoknál a 29 segéd-indikátorelektrodok segítségével. Ezt a potenciált a 30 és 31 feszültségerősítőkben történt erősítés és fázisváltás után ráadjuk a 28 pótelektródokra. Az így kialakult zárt áramkörű rendszer a földpotenciálhoz igen 40 közeli értéken tartja a rétegnek a 28 pótelektródokkal szemben lévő részét. Szabadalmi igénypontok 45 1. Berendezés lemez alakú anyagok vastagsági egyenetlenségeinek észlelésére azzal jellemezve, hogy egy két egymástól térközzel elválasztott egységből álló vezérlő elektródpárból (12, 13, 20), a 50 vizsgált anyagot (11) a vezérlő elektródpár közelében tartó szerkezetből, a vezérlő elektródokkal (12, 13, 20) összekötött váltakozó áramú potenciálforrásból (22) és az anyagnak (11) a vezérlő elektródokkal szomszédos, egymástól térközzel 55 elválasztott helyei (A, B) közötti közbülső helyen (P) elhelyezkedő indikátorelektródokból (14, 21) áll. 2. Az 1. igénypont szerinti berendezés kiviteli alakja azzal jellemezve, hogy a vezérlő elektródok 60 (12, 13, 20) és az indikátorelektród (14, 21) rögzítve vannak egymáshoz képest. 3. Az 1. vagy 2. igénypont szerinti berendezés kiviteli alakja azzal jellemezve, hogy a közbülső hely (D) félúton van a két hely (A és B) között. 65 4. Az 1—3. igénypontok bármelyike szerinti 4
