154850. lajstromszámú szabadalom • Eljárás és berendezés félvezető eszközök felületi elektromos folyamatainak és belső szerkezeti hibáinak vizsgálatára

154850 Szabadalmi osztály: 42 1 1—3 Nemzetközi osztály: H Oil 1 tábro. 2. ábra. 3. ábra.