153100. lajstromszámú szabadalom • Magsugárzás mérésére alkalmas felületi akadályozóréteges (barriere) detektor szilíciumból és eljárás annak előállítására
: dottuk meg, hogy olyan félvezetőtestet alkalmaztunk, amelynek anyaga p-vezető szilícium és a szilíciumtest és az érintkező testek közötti szabad felület a felületi akadályozóréteg stabilizálására amintartalmú anyaggal van bevonva. 5 A találmány egyik előnyös kiviteli alakja szerint a felületi akadályozóréteges' detektor a félvezető test és az érintkezőtest közötti illesztési helyén a ragasztófelületet áthidaló, az elektromos érintkezés kialakítására' szolgáló 10 aranyréteggel van bevonva. A találmány szerinti akadályozóréteges detektor előállítására való eljárás azzal jellemezhető, hogy a felületi akadályozóréteg stabilizálását úgy- végezzük el, miszerint az önmagában is- 15 mert módorr körgyűrűszerűen kialakított érintkezőtesteket amintartalmú keményítőt tartalmiazó epoxigyantával felragasztjuk és/vagy az illesztési helyre amintartalmú anyagot cseppentünk fel. Ezt célszerűen úgy kivitelezzük, hogy 20 az amintartalmú anyagot a félvezető test felületi akadályozórétege és az. érintkezőtest közötti illesztési hely szabad ragasztófelületére cseppentjük fel. Az aranyréteget, a találmány szerint, ->az amintartalmú anyaggal való kezelést 25 követően, a félvezető test felületén fellépő elszíneződés után hordjuk fel. A találmány előnye abban van, hogy p-ve- , zető szilíciumból olyan detektorok állíthatók elő, amelyek magas zárófeszültséggel (400 30 Voltig) vehetők igénybe. Az áttöltés kiküszöbölésével ugyanazon kiindulóanyagnál nagyobb akadályozórétegmélységeket lehet elérni. így pl. "5 kOhm.cm spejcifikus ellenállású p-vezető szilíciumból álló anyag alkalmazása' esetén 400— 35 500 f^m akadályozóréteg-mélységek alakíthatók ' ki. A hordozóélettartam és a félvezető test homogenitása emellett változatlan marad. Az ismert eljárással, vagyis a doppingolással csak akkor lehet a találmány szerinti elj árassal meg- 40 közelítő eredményre jutni, ha kiindulóanyagként 50 kOhm.cm specifikus . ellenállású anyagot választanak, mimellett megjegyezzük azt, hogy az ehhez szükséges munkaráfordítás sokkal nagyobbj mint a találmány szerinti felületi 45 ákadályozóréteges detektorok előállítása esetében. A találmány szerinti detektorok kis részecskesűrűséggel való üzemszerű felhasználás esetén sem öregszenek és vákuumban sem változtatják meg tulajdonságaikat. Az alábbi ki- go viteli példa kapcsán a találmány részleteit közelebbről szemléltetjük: 10 kOhm.cm specifikus ellenállású p-vezető szilíciumot 12 mm átmérőjű és 0,5 mm vastag 7 I 'V A kiadásért felel: a Közgazdasági 6608564. Zrínyi (T) Nyomda, Budape tárcsákká vágjuk fel, majd felületüket önmagában ismert módon tükrösítéssel („léppolással") és / maratással kezeljük. A félvezetőtest amintartalmú anyaggal való kezelését úgy végezzük, hogy a;körgyűrűszerű érintkezőtesteiket vagy valamely amintartalmú keményítőt tartalmazó epoxigyantával ragasztjuk fel, vagy nem amintartalmú ragasztóanyag, pl. szilikongyanta felhasználása esetén a félvezetőtest és az érintkezőtest közötti ragasztófelületre, a ragasztás után amintartalmú anyagot, pl. dietiléntriamint cseppentünk fel. A felhasználandó; amintartalmú anyag mennyisége a felhasznált részecske geometriai kialakításától függ. A kezelésre mindenfajta amin felhasználható. A kezelés után a tárcsákat pár óra hosszat vagy pár napon keresztül levegőn tároljuk, amíg a félvezetőtest elszíneződése észrevehetővé válik, végül pedig a félvezetőtest elejét j» hátoldalát aranygőzzel kezeljük. Az aranygőlös kezeléssel felvitt rétegvastagság kb. 0,2 mgjpm2 legyen. Az így készített felületi akadályozóféteges detektorokat ismert módon érintkezőcsúcsokkal szereljük fel és tokba sáereljük be. Szabadalmi igénypontok: 1- Magsugárzás mérésére '. alkalmas felületi ákadályozóréteges, detektor, amely félvezetőtestre felragasztott érintkezőtesteket tartalmaz, azzal jellemezve, hogy a félvezetőtest anyaga p-vezető szilícium, amelynek a szilíciumtest és az érintkezőtest közötti szabad felülete, ámintartalmú anyaggal van bevonva. 2. Az 1. igénypont szerinti felületi akadályozóréteges detektor kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy a félvezető test és az érintkező test közötti illesztési helyen, a ragasztófelület áthidaló aranyréteggel van bevonva. 3. Eljárás az 1. és 2. igénypont szerinti felületi akadályozóréteges detektor előállítására, azzal jellemezve, hogy az ismert módon kör gyűrűszerűén kialakított érintkezőtestéket amintartalmú keményítőt tartalmiazó epoxigyantával felragasztjuk és/vagy az amintartalmú anyagot a félvezetőtest akadályozórétege és az .érintkezőtest közötti illesztési helyen szabadon fekvő ragasztási felületre cseppentjük fel. 4. A 3. igénypont szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal, jellemezve, hogy az -amines kezelést követően, a félvezetőtest felületének elszíneződése után az illesztési helyet aranygőzzel kezeljük. és Jogi Könyvkiadó igazgatója st V.. Balassi Bálint utca 21—23. 2 1
