152946. lajstromszámú szabadalom • Eljárás n típusú félvezető kristályszeletek getterezésére
152946 indiumot sósavas oldással eltávolítjuk. A szeleteket a továbbiakban ugyanúgy kezeljük, mint az ólommal getterezettet. Az így getterezett szeletet megvizsgálva, az minden esetben n típusú és az eredeti ellen- 5 állás visszaáll. Ez azért érdekes eredmény, mert az indium p típusú szennyezőanyagként ismeretes, így önmagában a germániumot p típusúvá tenné. 700 C°-on azonban az indium diffúziósebessége még 10 csekély, így csak a felületi réteg válik indiumtól p típusúvá, amely amúgy is eltávolításra kerül, a szelet belsejében azonban a réz eltávozása következtében visszaáll az eredeti ellenállás, 15 Példa: A germániumszeleteket diffundáltatott oldalával lefelé szűrőpapírlapra helyezzük a párologtatóban. Ettől kb. 100 mm magasságban helyezzük a párologtató forrást, (Mo huzalból tekert kúp alakú spirál), melybe 300 mg 20 indiumot mérünk. Leszíváshoz alkalmazhatunk pl. Tungsram gyártmányú 2 m3 -es rotációs és 100 l-es olaj diffúziós szivattyút. 5-10~5 Hgmm vákuum elérése után megtörténhet a párologtatás. A hőkezelés történhet egyszerű hidrogén- 25 öblítésű csőkályhában, vagy szalagrendszerű folyamatos kályhában 700 C°-on, 15 percig. A szeleteket a kályhából kivéve cc. sósavban az indiumot lemarjuk. Összefoglalva a találmány szerinti eljárás 30 előnyeit, a régebben alkalmazott módszerrel szemben. 1. A módszer lényegesen egyszerűbb és gyorsabb, üzemi szintű eljárás, míg a másik inkább laboratóriumi jellegű. A régi eljárással 12 szelet kigetterezése kb. 6 órát vett igénybe, míg az általunk kidolgozott módszerrel kb. 2 óra alatt 100 szelet is kigetterezhető. A berendezés üzembiztosan kivitelezhető, a régi módszernél gyakori volt az üzemzavar. 2. Jelentős importanyag megtakarítással jár (500 000 db indított tranzisztorhoz szükséges mennyiség. Jelenlegi módszer szerint ólom: 10 kg, új módszer szerint indium: 0,005 kg). 3. A módszer biztos, jól reprodukálható eredményt ad. 4. További előnye, hogy az indium, a germániumot meg nem támadó savakban, pl. sósav, oldódik, így könnyen eltávolítható. Szabadalmi igénypont: Eljárás félvezető anyag — főleg germániumnál — a hőkezelés közbeli típusváltás kiküszöbölésére „getterezésére" azzal jellemezve, hogy a félvezető, főleg germániumszeletekre a diffúzió után vákuumpárologtatással indiumréteget viszünk fel célszerűen 1—3 ^ vastagságban, hidrogén vagy egyéb védőgázos kályhában 650—750 C° közötti hőfokon legalább 10 percig hőkezeljük, az indiumréteget sósavas vagy más, a germániumot nem támadó, de az indiumot oldó vegyi anyaggal eltávolítjuk, majd a szokásos módon kezeljük tovább. A kiadásért. felel: a Közgazdasági és Jogi Könyvkiadó igazgatója. 8608138. Zrínyi (T) Nyomda,- Budapest V., Balassi Bálint utca 21—23. 2
