152113. lajstromszámú szabadalom • Eljárás és készülék felületi minőség mérésére mikrohullámmal
MAGYAR NÉPKÖZTÁRSASÁG ORSZÁGOS TALÁLMÁNYI HIVATAL SZABADALMI LEÍRÁS SZOLGÁLATI TALÁLMÁNY Bejelentés napja: 1963. VIII. 16. (TA—781) Közzététel napja: 1964. XII. 23. Megjelent: 1965. XII. 01. 152113 Szabadalmi osztály: 42 b 9—13; 21 a4 64—77 Nemzetközi osztály: G 01 b Decimái osztályozás: Feltalálók: Dr. Almássy György tudományos osztályvezető, Dr. Matók Györgyné tudományos osztályvezető, Budapest Tulajdonos: Távközlési Kutató Intézet, Budapest Eljárás és készülék felületi minőség mérésére mikrohullámmal A mikrohullámok technikájában alkalmazott készülékek felületének minősége lényegesen befolyásolja azok elektromos tulajdonságait. A megfelelő technológiai eljárások kidolgozásakor tehát kísérlet sorozatokat kell végrehajtani, hogy a legkedvezőbb eljárást megtalálják. A kísérleteket lehetőleg olcsón előállítható próbadarabokon kell végezni, amelyeket úgy kell kialakítani, hogy a mérés közben fellépő járulékos hatások — pl. érintkezési ellenállások — minél kisebb mértékben befolyásolják a mérési eredményt. ! } ] * A gyakorlatban * több megoldás ismeretes, amely a prób'adarabot valamely üregrezonátor egyik elemeként alakítja ki. Például koaxiális üregrezonátor belső vezetőjét képezi ki próbadarabnak, vagy TE« in móddal működő üregrezonátor fedőlapját. Az ismert megoldásoknak közös hátránya, hogy mivel a próbadarab az üregkondenzátornak csupán egy része, a benne keletkező veszteségek csak kis mértékben befolyásolják az üregrezonátor jósági tényezőjét. A teljes üregrezonátort kiképezni rendkívül költséges lenne és ez az út sok esetben nem is volna járható, mivel a különböző felületeket, különböző technológiával kell megmunkálni. A találmány szerinti eljárás a próbadarabban fellépő faláramok növelésével . oly módon módon módosítja az üregben kialakult teret, hogy 10 20 25 30 az üregrezonátor veszteségeinek jelentős része a próbadarabban keletkezzék. A próbadarab felületi minőségének a változása tehát lényegesen befolyásolja az üvegrezonátor jósági tényezőjét, amelyet mérve következtetünk a próbadarab minőségére. A próbadarabban fellépő faláramokat azáltal növeljük, hogy a próbadarab felületével érintkező dielektrikumot helyezünk el az üvegrezonátorban. A dielektrikum hatására a tér koncentrálódik. A viszonyokat legegyszerűbb koaxiális üvegrezonátoron tanulmányozni. Amint az 1. ábra mutatja a koaxiális üregrezonátort 4YV hosszúságban a 2. dielektrikummal töltjük ki. Á0 az üregrezonátor rezonáns hullámhossza. Az 1. ábrán látható esetben a dielektrikum határfelületén feszültség maximum alakul ki. A próbadarab az üregrezonátor 1. fenéklapja, amelyben amint az 1. ábráról leolvasható V £r-szer akkora áram folyik mint a másik —3— fenéklapban. Mivel a veszteségek a falban folyó áram négyzetével arányosak, tehát az 1. fenék lapban fellépő veszteség az üregrezonátor teljes veszteségének nagyobb részét teszi ki, ha 1. ábrán látható módon részlegesen dielektrikummal, töltjük ki. (Ha a dielektrikum veszteség-152113
