151414. lajstromszámú szabadalom • Eljárás félvezető kristályok vákuumban való zónatisztításánál, továbbá lebegőzónás, valamint tégelyes előállításánál az olvadt zóna vizuális megfigyelésére, valamint az eljárás foganatosítására szolgáló berendezés

151414 Szabadalmi osztály: 12 c Nemzetközi osztály: B 01 d f. dóra