151266. lajstromszámú szabadalom • Molekuláris szivattyú
151266 3 állásszöge a keresztmetszetre merőleges tengelyre vonatkoztatva 0°-nál nagyobb, a vezetőlemezek magassága az elővákuum irányában csökken és a mozgó határoló felületeket tárcsák képezik, amelyek forgó tengelyre vannak erősítve. A vezetőlemezek állásszögétől függően a sík tárcsák előre megadott forgásirányánál radiális áramlási irányt biztosítanak kívülről befelé a rotortengely felé, illetőleg belülről kifelé. A spirális hornyú szivattyúkkal ellentétben a találmány szerinti szivattyú a gázokat a vezetőlemezek radiális elrendezése következtében az egész vezetőkoszorú kerülete mentén beszívja. Minthogy egy-egy vezetőlemez két oldalán közelítően azonos nyomások vannak, a forgó síklemezek viszonylag nagy távolságban lehetnek a vezetőlemezektől anélkül, hogy visszaáramlás válna lehetővé. Ennek következtében nagy üzembiztonságot érünk el. Minthogy ennél az építési módnál egy fokozatban is már nagy sűrítési viszonyt tudunk elérni, csekélyszámú fokozattal nagy vákuum biztosítható. A kevésszámú fokozatot tartalmazó elrendezés leegyszerűsíti a gyártást, mert nagyobb tűrések engedhetők meg. A találmány tárgyát kiviteli példákon, rajz alapján ismertetjük részletesebben. Az 1. ábra a találmány szerinti molekuláris szivattyú egy példakénti kivitelének hosszmetszete, a 2. és 3. ábra az 1. ábra szerinti szivattyú különböző alakú vezetőlemezeinek a szivattyú lapátkoszorúin való elrendezését mutatja, a 4. ábra egy további kiviteli alaknak hosszmetszete, míg az 5. ábra a 4. ábra szerinti szivattyú vezetőlemez elrendezését mutatja. Az 1. ábrán bemutatott szivattyúnál 1 házban 2 vezetőkoszorúk vannak beépítve, amelyeknek ív alakú 3 vezetőlemezei (2. ábra), vagy egyenes 4 vezetőlemezei (3. ábra) vannak. Elképzelhető az is, hogy a vezetőlemezek egyenes részdarabokból vannak összeállítva. Ennél a kiviteli példánál a 2 vezetőkoszorúk, amelyek gyűrűs tárcsákként vannak kiképezve, mindkét oldalukon vezetőlemezekkel vannak ellátva és ezen vezetőlemezeknek állásszöge az egyik oldalon ellentétes a másik oldalon levőkével. Ezáltal áramlási irányváltást érünk el. A vezetőkoszorúk között forognak a forgórész 5 tárcsái. Ezek egyszerű lemeztárcsák, úgyhogy a rotor elkészítése különösen könnyű. A rotortárcsák a vezetőlemezektől axiális irányban kb. 1 mm távolságban vannak. Ez a viszonylag nagy távolság nagy üzembiztonságot biztosít. A szivattyú oly módon működik, hogy a gázt a szivattyú közepén a teljes vezetőkoszorú ke-4 rület mentén szívja be és a tengely irányában sűríti. Á vezetőkoszorúk belső átmérője nagyobb, mint a tengely átmérője, úgyhogy a besűrített gáz a vezetőkoszorú másik oldalára 5 juthat. Ott belülről kifelé besűrűsödik és azután a ház és a rotortárcsa között levő szabad téren keresztül a következő vezetőkoszorúhoz áramlik. Egy-egy vezetőkoszorú, amelynek mindkét 10 oldalán vezetőlemezek vannak elhelyezve, egy nyomásfokozatpárt képez. Ilyen nyomásfokozatok sorbakapcsolíásával nagy sűrítési arányt érünk el. A 4. ábra szerinti kiviteli példában a 6 15 vezetőlemezek egy külső 7 gyűrűn vannak rögzítve, úgyhogy önmagában ismert módon a szélső csatornafalakat a forgó 8, 9 síklemezek képezik. Ebben az esetben minden második 9 síklemezben a rotortengely felé eső részen 20 áttörések vannak kiképezve, amelyek előzőleg radiális irányban kívülről befelé sűrűsödött gázt a következő fokozathoz átvezetik, ahol a 6 vezetőlemezek ellentétes állásszöge következtében a továbbiakban a gázáramlás kifelé tör-25 ténik. A gáz ezután ugyanúgy, mint az 1. ábra szerinti szivattyúnál, az 1 ház és a 8 rotortárcsa közötti téren át a következő fokozathoz áramlik. 30 Szabadalmi igénypontok: 1. Molekuláris szivattyú, amelynél a sűrítés radiális irányban történik, azzal jellemezve, hogy vezetőlemezek, amelyek a házba szilárdan 35 beépített vezetőkoszorúkban vannak elrendezve, egy vagy két mozgatott határoló felülettel együtt sűrítőteret képeznek, amelynek szívó kereszmetszetét a lapátkoszorú kerületének és a vezetőlemezek magasságának szorzata képezi 40 és a vezetőlemezek állásszöge a keresztmetszetre merőleges tengelyhez viszonyítva 06 -nál nagyobb, a vezetőlemezek magassága az elővákuum irányában csökken és a mozgatható határoló felületeket tárcsák képezik, amelyek 45 forgó tengelyre vannak erősítve. 2. Az 1. igénypont szerinti molekuláris szivattyú kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy a vezetőlemezek ív alakúak, vagy egyenesek, illetőleg egyenes részdarabokból állnak. 50 3. Az 1. vagy 2. igénypont szerinti molekuláris szivattyú kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy a vezetőkoszorúk gyűrű alakú tárcsákból állanak, amelyek mindkét oldalukon vezetőlemezekkel vannak ellátva és a tárcsák egyik 55 oldalán elhelyezett vezetőlemezek állásszöge a másik oldalon levő lemezek állásszögével ellentétes irányú. 2 db rajz A kiadásért felel: a Közgazdasági és Jogi Könyvkiadó igazgatója. 6427a- Zrínyi (T) Nyomda, Budapest, V., Balassi Bálint utca 21—23? •J,
