151265. lajstromszámú szabadalom • Diffúziós szivattyú

151265 nagyvákuuma és ezért a hajtóanyag gázfelvétele csekélyebb. Ennek az elrendezésnek az a hátránya, hogy több szivattyúból áll ós nagy a helyigénye. 5 A találmány célja olyan diffúziós szivattyú kiképzése ultranagyvákuum-tartomány számára, amelynél nincs szükség járulékos berendezésre a hajtóanyaggőz tisztítására és a szokásos elővákuumszivattyúkon kívül nem igényel járu- 10 lékos szivattyút. A találmány értelmében a fenti célt azáltal érjük el, hogy célszerűen valamennyi fúvókafokozaton, de különösen az ultranagyvákuum- 15 tartományban levőkön a kondenzált hajtóanyag felfogására külön felfogó készülékeket és külön elpárologtató edényeket rendezünk el, amelyek a nagyobb nyomású tér felé gázmentesen le vannak zárva. Ezáltal elérjük, hogy minden 20 fúvókafokozatnak saját hajtóanyag-körfolyamata van. Az egyes fokozatok fúvókáiból kilépő gőzállapotú hajtóanyag ugyanennek a fúvóka- 25 fokozatnak terében kondenzálódik és nem kerül érintkezésbe a nagyobb nyomású következő fokozat terével és ami a legfontosabb, nem kerül érintkezésbe az elővákuummal, úgyhogy különösen a recipienshez legközelebb 30 fekvő fokozat hajtóanyaga messzemenően gázmentes, A találmány szerinti szivattyú tehát nem hasonlít azokra az ismert szivattyúkra, ame- 35 lyeknek minden fúvókafokozaton különálló elpárologtató edényük van, mert ezeknél a szivattyúknál az egész kondenzált hajtóanyag egyetlen edénybe folyik és eközben az elővákuummal érintkezik és csak ezután szivaty- 40 tyúzzák a hajtóanyagot az egyes elpárologtató edényekbe. A találmány tárgyát néhány kiviteli példán rajz alapján ismertetjük részletesebben. 45 Az 1. és 2. ábra a találmány szerinti szivattyú két különböző kiviteli alakját ábrázolja oldalnézetben és metszetben. Az 1. ábrán egy kétfokozatú higanygőzdiffuziós-szivattyú van ábrázolva. Ez áll 1 házból, amely alsó részén kettősfalú és ezáltal 2 hűtőköpenyt képez. Az 1 ház felső részét 3 hűtőcső és 4 fűtőcső veszi körül, úgyhogy az 1 ház ezen a részén szükség szerint hűthető vagy fűthető. A házon kiképzett 5 nyílás a recipiens csatlakoztatására szolgál, míg a 6 cső az elővákuumhoz való csatlakozást biztosítja. Az 1 házban két darab 7 és 8 fúvóka van elhelyezve, amelyek a 9 és 10 fúvókasapkákkal 11 és 12 gyűrűs fúvókákat alkotnak. A 11 gyűrűs fúvóka terét gyűrű alakú 13 teknő határolja a nagyobb nyomású terek felé. A 13, teknő közepén 13a nyílást hagy szabadon. Eb-50 55 60 \ 05 ben a 13 teknőben gyűlik össze az 1 ház falán kondenzálódott hajtóanyag, majd a 13 teknő belső pereme mentén elrendezett több 14 csövön keresztül 15 elpárologtató edénybe folyik vissza. Ezt a 15 elpárologtató edényt 16 villamos fűtéssel fűthető 17 fenéklap és 18 oldalfal képezi. Itt tehát a 15 elpárologtató edény a hozzárendelt fúvóka terében van elrendezve és a 14 csövek útján közlekedik a 13 teknő fölötti térrel, az elővákuum-tere felé azonban gázbiztosan le van zárva. A 11 gyűrűs fúvóka és a 13 teknő között 19 terelőlemez van elrendezve. A 12 gyűrűs fúvókához 20 elpárologtató edény tartozik, amely 21 villamos fűtéssel van ellátva. A 12 gyűrűs fúvókából kilépő hajtóanyaggőz nem jut az előbb említett 11 gyűrűs fúvóka terébe. A diffúziós szivattyú oly módon dolgozik, hogy all gyűrűs fúvókából kilépő hajtóanyaggőz a gázmolekulákat a • recipiensből elszívja. Ez a hajtóanyaggőz az 1 háznak 3 hűtőcsővel hűtött falán kondenzálódik. A kondenzátum a 13 teknőben gyűlik össze és a 14 csöveken keresztül a 15 elpárologtató edénybe folyik. A kondenzátum eközben nincs nagyobb nyomásnak kitéve, mint az első .fúvókafokozat legnagyobb nyomása. A gázmolekulák a 13a nyíláson keresztül a 12 fúvóka terébe jutnak. A 19 terelőlemez megakadályozza, hogy ezen a nyíláson keresztül a 11 gyűrűs fúvóka hajtóanyaggőze a következő fokozatba jusson. A 12 gyűrűs fúvóka hajtóanyaggőze 2 hűtőköpenyen kondenzálódik és a 20 elgőzölögtető edénybe csöpög. A besűrített gázt a 6 csövön keresztül szivattyúzzuk el az elővákuum felé. / A 2. ábra az előbbihez hasonlóan kiképzett diffúziós szivattyút ábrázol, amely az előzőkben ismertetettől abban különbözik, hogy a 15 és 20 elpárologtató edények egy síkban fekszenek és közös 22 fűtőtestük van. A többi számozás jelentése megegyezik az 1. ábra számozásával. Természetesen elképzelhető az is, hogy egy felfogó berendezés és egy elpárologtató edénv több fúvókához tartozzék. Szabadalmi igénypontok: 1. Diffúziós szivattyú, különösen ultranagyvákuum-tartomány céljára, azzal jellemezve, hogy célszerűen valamennyi fúvókafokozaton, de különösen az ultranagyvákuum-tartományban levőkön a kondenzált hajtóanyagot felvevő, különálló felfogó berendezései és különálló elpárologtató edényei vannak, amelyek a nagyobb nyomású terek felé gázmentesen le vannak zárva. 2. Az 1. igénypont szerinti diffúziós szivattyú kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy a fel-2