151265. lajstromszámú szabadalom • Diffúziós szivattyú
MAGYAR N »PKÖZTÁHSA8AG ORSZÁGOS TALÁLMÁNYI HIVATAL SZABADALMI LEÍRÁS Bejelentés napja: 1962. V. 26. Közzététel napja: 1963. IX. 23. Megjelent: 1965. V. 01. (DE—411) 151265 Szabadalmi osztály: 27 d Nemzetközi osztály: F 04 f Decimái osztályozás: Feltalálók: Bollinger Helmut mérnök, Neuenhagen b. Berlin, Blank Henning oki. fizikus, Berldn-Oherschöneweide, Lauerwald Werner oki. mérnök, Berlin-Baumsehulenweg, Német Demokratikus. Köztársaság Tulajdonos: Deutsche Akademie der Wissenschaften zu Berlin, Berlin-Adlershof, Német Demokratikus Köztársaság Diffúziós szivattyú A találmány tárgya diffúziós szivattyú, ame^y különösen az ultra-nagyvákuumú tartomány céljára szolgál. Ismeretes, hogy a diffúziós szivattyúk végvákuuma szempontjából egyéb tényezők mellett a kondenzált hajtóanyag-gőznek az elővákuummal való érintkezése is fontos. Az ismert diffúziós szivattyúknál ugyanis a kondenzált hajtóanyag néhány másodpercig az elővákuum-térben marad, mielőtt a készlettartályba, illetőleg az elgőzölögtetőbe jut. Ezen idő alatt a hajtóanyag gázokat vesz fel, amelyek azután a hajtóanyag-gőzzel együtt ismét a nagyvákuumtérbe jutnak. Minthogy pedig a hajtóanyag-gőzsugár a diffúziós szivattyúknál csak addig fejt ki szívóhatást, amíg az elszívandó gázok és a hajtósugárban tartalmazott gázok kpzött parciális nyomáskülönbség áll fenn, ezért a végvákuumot — minden egyéb befolyásoló tényező kiküszöbölése után — a hajtóanyag-gőzsugárban levő gázok parciális nyomása korlátozza. Nem lehet kisebb nyomást elérni, mint amekkora a hajtóanyag gőzsugarában jelenlevő gázok parciális nyomása. Ha ezért egy diffúziós szivattyúval ultranagyvákuumot kívánnak elérni, a hajtóanyaggőzsugárnak lehetőleg gázmentesnek kell lennie, azaz az elővákuummal való érintkezéskor felvett gázoknak sem szabad a hajtóanyaggőzsugarába jutniok. 10 15 20 25 30 Ismeretesek olyan diffúziós szivattyúk, amelyeknél a hajtóanyagot kondenzálás, valamint az elővákuummal való érintkezés után tisztítják. A tisztítás az elővákuum és az elgőzölögtető között történik, ún. rektifikáló oszlopban. Itt a csepp alakban kondenzált hajtóanyag érintkezésbe jut az elgőzölögtetőből felszálló hajtóanyag-gőzzel és eközben a cseppecskék részben elpárolognak. Az ekkor szabaddá váló gáz az elővákuum irányában áramlik. A rektifikáló oszlopban alkalmazott gázkisüléssel higany hajtóanyag esetén a kondenzálható gázokat (például vízgőzt, szénhidrogéneket) nemkondenzálható gázokká (H2 , 0 2 , C0 2 ) lehet szétbontani és ezáltal gyorsan el lehet szivatytyúzni. Ilyen elrendezéssel kisebb nyomásokat lehet elérni, mint az ismert diffúziós szivattyúkkal. Ez az elrendezés azonban csak üvegszivattyúk esetében alkalmazható, minthogy a gázkisüléshez fémszivattyúknál nagy ráfordítás volna szükséges. Ezenkívül a rektifikáló oszlop járulékos alkatrészt képez. Ismeretes továbbá olyan módszer is, amelynél ultranagyvákuum előállítására több diffúziós szivattyút kapcsolnak egymás után. Ennél az elrendezésnél a végvákuum a recipiienshez csatlakozó diffúziós szivattyú hajtóanyagának gáztartalmátóli függ. Ennek a diffúziós szivatytyúnak elővákuuma a következő szivattyúnak 151265
