151143. lajstromszámú szabadalom • Eljárás szilicium P-N átmenet előállítására
151143 6 ság az átmenet teljes letokozásáig megőrizhető. Az előbbiek szerint elkészült armírozott p—n átmenetet védőréteggel látjuk el. A védőrétegr gel való burkolás történhet az átmenetnek a bázistönkre való leforrasztása előtt vagy azt követően. Erre a célra 1—5% bórtartalmú, magas hőállóságú szilikonzsír valamely oldószeres (célszerűen benzol vagy toluol) oldatát használjuk. Fenti oldattal a p—n átmenetet vékonyan bekenjük, majd az egészet vákuumba téve az oldószert eltávolítjuk. Ezzel elérjük, hogy a védőréteg tökéletesen tapad a felületre, ugyanakkor gázt csak csekély mértékben tartalmz. Ezután az együttest 2—8 órán át védőgázban vagy vákuumban 120—100 C°on tartjuk. A fenti hőkezelés a tokozott diódánál szabad levegőn is elvégezhető. Ezzel az ellenőrző mérések szerint a felületi viszonyok megfelelően stabilizálódnak a legnagyobb zárófeszültségek tartományában is, A 7. ábrán látható a leírt technológiával készült példaképpeni 150 A-es sziliciumdicda, 130 C° p—n átmenet hőmérsékleten felvett Un >. = f(Iny) nyitóirányú karakterisztikája A-ben illetőleg V-ban kalibrálva, valamint ugyancsak 130 C° p—n átmenet hőmérsékleten felvett íz = f (Uz) záróirányú karakterisztika V-ban, illetőleg mA-ben kalibrálva. A technológiával készült diódák stabilak és például 150 C° p—n átmenet hőmérsékletig üzemeltethetők. Szabadalmi igénypontok: 1. Eljárás sziliciumdióda „p—n" átmenet létrehozására, azzal jellemezve, hogy kémiailag maratott „n"-típusú sziliciumlemezre (1) a „p—n'' átmenet létrehozása céljából ugyancsak maratott alumíniumlemezt (2) vagy alumíniumötvözet lemezt helyezünk, amelyre — belső felületén célszerűen előnedvesített (pl. arannyal előnedvesített) —• .molibdénpoharat (3) teszünk, és az így összeállított rendszert ötvözéssel egységgé alakítjuk, ezt követően e rendszert a sziliciumlemez és a — célszerűen legalább a két illeszkedő felületén előnedvesített (pl. arannyal előnedvesített) — molibdénlemez (7) vagy szintereit lemez közé helyezett „n"-típusú ötvözőanyaggal rendelkező forraszlemez (8) 10 15 20 25 30 35 40 45 közbeiktatásával a molibdénlemezzel (7) vagy szintereit lemezzel keményforrasztással alakítjuk egységgé. 2. Az 1. igénypont szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy a „p—n" átmenetet alkotó sziliciumlemez (1) és alumíniumlemez (2) vagy alumíniumötvözet lemez külső felületét az egységgé alakítás után „p"típusú anyagot tartalmazó — célszerűen 1—5% bórt tartalmazó — szilikonzsírral, célszerűen védőgáz közegben vonjuk be. 3. Az 1. »vagy 2. igénypontok szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy a „p"-típusú anyagot tartalmazó szilikonzsírral történő bevonást a szilikonzsír oldatából végezzük, vákuum alkalmazásával, majd a fentiek szerint bevont „p—n" átmenet felületét hőkezeléssel stabilizáljuk. 4. Az 1. igénypont szerinti eljárás foganatosítási .módja, azzal jellemezve, hogy az „n"típusú sziliciumlemezből (1), alumíniumlemezből (2) vagy alumíniumötvözet lemezből és molibdénpohárból (3) összeállított rendszernek az ötvözés utáni kiegészítését a molibdénlemezzel (7) vagy szintereit lemezzel és az „n"-típusú ötvözőanyaggal rendelkező forraszlemezzel (8) védőgáz közegben végezzük. 5. Az 1—3. igénypontok bármelyike szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy a sziliciumlemez (1) maratásához 300 cm3 koncentrált salétromsav, 150—240 cm3 koncentrált hidrogénfluorid és 1—5 cm3 nátriumjodid 1—5%-os desztilláltvizes oldata összetételű oldatot alkalmazunk, valamint a maratási idő diódatípustól függően 5—120 sec, továbbá azzal jellemezve, hogy a maratószerben akcelerátorként nátriumjodidot használunk. 6. Az 1—3. igénypontok bármelyike szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy az alumíniumlemez (2) vagy alumíniumötvözet lemez maratásához 50 cm3 koncentrált salétromsav, 20—40 cm3 koncentrált sósav, 10—30 cm3 koncentrált hidrogénfluorid és 100 cm3 desztilláltvíz összetételű oldatot alkalmazunk, továbbá azzal jellemezve, hogy az alumíniumlemez, vagy alumíniumötvözet lemez maratásához platina-befogót (a), vagy króm-, molibdén-, wolfram-, arany-, tellur-befogót használunk. 7 db rajz Figyelembe vett nyomtatványok: 1064 641 lajstromszámú NSZK-beli és a 23 218 lajstromszámú NDK-beli szabadalmi leírások. A kiadásért felel: a Közgazdasági és Jogi Könyvkiadó igazgatója. 642647 Zrínyi (T) Nyomda, Budapest, V., Balassi Bálint utca 21—23. 3
