151129. lajstromszámú szabadalom • Mérési eljárás és mérőműszer félvezető, valamint egyéb kristályok és rétegek ellenállásának meghatározására

151129 1 mm széles — gyűrű alakú, ohmos áramáthajtást biztosító kontaktust létesítünk és az így kapott gyűrű középpontjában kisméretű, célszerűen legfeljebb 1 mm átmérőjű tűelektródát helyezünk el és az említett gyűrűs kontaktushoz, valamint a tűelektródához csatlakoztatjuk a vizsgálathoz szükséges áramforrás két pólusát, majd a vizsgálandó félvezetőt két radiálisán és polárisán tetszőlegesen beállítható változtatható helyzetű tűkontaktussal potenciál-eloszlás szempontjából feltérképezzük. 2. Az 1. igénypont szerinti eljárás foganatosítás! módja félvezetők foto vezetése keresztmetszet szerinti eloszlásának vizsgálatára, azzal 10 6 jellemezve, hogy a mérés folyamán a félvezetőt homogén megvilágítást biztosító fényforrással megvilágítjuk. 3. Mérőműszer az 1. vagy 2. igénypont szerinti eljárás megvalósítására, azzal jellemezve, hogy tűelektródát és a vizsgálandó félvezető gyűrűs kontaktusához csatlakoztatható érintkezőt tartalmaz és potenciáleloszlást mérő kettős tűkontaktusát radiális és/vagy poláris irányban automatikusan mozgató szerve van és kettős tűkontaktusa a mért potenciál eloszlását regisztráló kompenzográffal áll kapcsolatban. 2 do rajz Figyelembe vett nyomtatványok: 1072 745 és 1079 196 lajstromszámú NSZK-beli szabadalmi leírások. A kiadásért felel: a Közgazdasági és Jogi Könyvkiadó igazgatója. 642645 Zrínyi (T) Nyomda, Budapest, V., Balassi Bálint utca 21—23. 3