151124. lajstromszámú szabadalom • Folytonos eljárás és berendezés rétegellenállások készítésére krakkolással
151124 6 A 6 krakkolócsövet a 10 elektromos fűtőtest, utóbbit pedig a 11 hőszigetelő cső veszi körül. A 12 krakkolótéren belül a 6 krakkolócső perforációkkal van ellátva, hogy a krakkgáz könnyebben jusson a kerámiai hordozótestekhez. A 8 krakkolócsőra a 10 fűtőtest van erősítve, amelyet kívülről a 11 hőszigetelő cső vesz körül. A két cső között vákuum vagy semleges gáz van, hogy a fűtőtestet az oxidálódástól megóvja. A 11 hőszigetelő cső a sugárzás útján terjedő hőveszteség megakadályozása végett kívülről fényes réteggel van bevonva. A 12 krakkolótérbe a krakkgáz a 13 csövön keresztül áramlik be. A krakkgáz normál hőmérsékleten folyékony halmazállapotú, ezért a 14 tartályban kellő hőmérsékletre melegítjük úgy, hogy a 15 folyadék hőmérsékletét a 10 fűtőtesttel a kellő hőmérsékleten tartjuk. A keletkezett gáz nyomását a 17 nyomásmérő mutatja, illetve szabályozza a fűtőtest fűtését. A krakkgáz a 20 csövön keresztül áramlik a 19 szivattyúhoz, melyet a 18 motor hajt meg. Ha bór-karbon vagy sziliciuni-karbon ellenállásokat kívánunk gyártani, akkor a bemenő gáz összetételét állítjuk be a megfelelő értékre úgy, hogy valamely bór- vagy szilicium-szénhidrogénnel alkotott keveréket krakkóiunk. A 18 motor fordulata, és így az időegység alatt bemenő krakkgáz mennyisége is változtatható. A 13 csövön keresztül a krakkolótérbe bejutó gáz kb. 1000 C°-on alkotóelemeire bomlik szét, és a szén lerakódik a kerámiai hordozótestekre. A keletkező hidrogén a 21 vákuumcsövön keresztül megy a 23 vákuumszivattyúhoz, melyet a 24 elektromotor hajt meg. A 21 csövön átmenő hidrogént a 22 hűtő lehűti. A krakkóit munkadarabok lefelé haladnak a csőben, és közvetlenül krakkolás után a 25 hűtőnél lehűlnek, A krakkolócső 26 gumidugón keresztül megy be a 27 harangba, amelyben a kivevőszerkezet van. A 27 harangot a 28 asztalon a 30 csavarok rögzítik a 29 tömítéssel együtt. A 31 vázon van elrendezve a 32 változtatható fordulatú motor, melynek tengelyén a 33 kisfogaskerék foglal helyet. Utóbbi a 34 nagyfogaskerékhez és a 35 kivevő fogaskerékhez kapcsolódik. A 35 kivevő fogaskerékhez van rögzítve a 36 hornyolt kerék, amely a 38 kész ellenállásokkal érintkezik. A 36 hornyolt kerék ' forgásiránya megegyezik a 38 munkadarab haladási irányával. A kész ellenállásokat a 37 szorítókerék a 36 hornyolt kerékhez nyomja. A szorítás ereje állandó, úgyhogy a 39 kulisszát szorító 40 rugó a 41 szorítócsavarral összenyomható. Az ellenállástest legkisebb vastagságát a 43 ütközőnél elhelyezett 44 csavar segítségével lehet beállítani. A 36 és 37 hornyolt kerekek közül kikerülő kész rétegellenállások a 45 csőbe esnek, és abban úgy helyezkednek el. hogy alsó és felső végeik szabadon maradnak. A 46 vonórúd a 45 csövet a benne levő munkadarabbal együtt a 42 asztalon elrendezett 51 és 52 érintkezők közé húzza be, amelyeken keresztül a kész rétegellenállás egy mérőkészülékbe kapcsolódik. A kerámiai hordozótestekre lerakódott kris-5 tályos szénréteg, bór-szén vagy szilicium-szén réteg az 51 és 52 érintkezők között meghatá-! rozott ellenállást fejt ki, amely megváltoztatja az 54 elektronikus szabályozó egység, pl. kompenzográf vezérlő jelét. 10 Az elektronikus szabályozó egység az előre beállított ellenállásértékhez viszonyítva elvégzi az összehasonlítást, és a 32 motor fordulatszámát az esetleges hibajelnek megfelelően megváltoztatja. így a munkadarab több vagy 15 kevesebb ideig tartózkodik a krakkolótérben aszerint, hogy a névleges értékhez viszonyítva milyen irányban történt az eltérés. Ha a kész ellenállás-darab értéke kisebb a névleges értéknél, akkor a 32 motor fordulata nő, a 20 munkadarab rövidebb ideig tartózkodik a krakkolótérben, a leváló szénréteg vékonyabb lesz, vagyis az ellenállás értéke növekszik. Ha a kész eüenállás-dEprab értéke magasabb a névleges értéknél, a 32 motor fordulata csökken, 25 a munkadarab hosszabb ideig tartózkodik a krakkolótérben, ezáltal vastagabb szénréteg rakódik rá, és az ellenállás értéke alacsonyabb lesz. Az elektronikus szabályozó egység a krakkgáz adagolási sebességét is változtatja, 30 nem kielégítő működés esetén hibát jelez, és a nem megfelelő darabokat selejtezi, illetve a berendezést leállítja. Ha a krakkolócsövön áthaladó 38 munkadarab sebessége állandó, akkor a szabályozást 35 a beáramló krakkgázzal végezhetjük úgy, hogy az 54 elektrokompenzográf vezérlő jelével a 18 motor fordulatát szabályozzuk, és így megváltoztatjuk az időegység alatt bemenő gáz mennyiségét. 40 A 46 vonórudat az 50 tengely körül elmozduló 48 rúd a 49 rugó ellenében mozgatja. A 48 rudat a 47 körhagyó mozgatja olyan pályakiképzéssel, mellyel a 45 cső hátrahúzása után az 51 és 52 érintkezők között tartja a kész 45 53 rétegellenállás. Ezután a 45 csövet a 46 vonórúd a 42 asztal kiejtő nyílása fölé tolja, ahol az fi 3 rétegellenállás a 45 csőből kiesik. Ezt követően a 45 cső visszaáll a töltőállásba. A töltőállásban új munkadarab esik a 45 csőbe, 50 és. a mérési művelet elölről kezdődik. A 45 csőből kieső munkadarabok az 56 csapon mennek keresztül, és a csap állásának megfelelően az 55 vagy az 57 tartályba esnek. A két tartályt egymástól függetlenül lehet 55 vákuum vagy atmoszférikus nyomás alá helyezni aszerint, hogy töltés vagy ürítés történik. A levegő kiszivattyúzása vagy beeng°r\--c az 58 és a 61 csapokon keresztül törtek ^ 60 tartályba kerülő munkadarabok az 5° ' '""" részbe esnek, ahonnan a 60 lezáró t1 ^ ' -emelése után kiemelhetők. A találmány szerinti berendezés ,iír^i; l;< '••> változatának alkalmazása esetén •> ív ,A -n : ai 65 hprdozótesteket beadagoljuk a 62 ouir.u- . dő o
