150791. lajstromszámú szabadalom • Eljárás félvezető egykristályszeletek vékonyítására

150.791 3 réteg, amely szabadon hagyja a marandó kollektorfelületet, biztosítja egyrészt a kristálylapok rögzítését, másrészt a kristályfelület tökéletes tisztíthatóságát, hogy a preparálás során a külső beágyazó anyagból lecsapódó szennyezések a marandó felületet bevonó rugalmas réteggel eltávolíthatók a marás megkezdése előtt. 2. Az 1. igénypont szerinti eljárás kivitelezési módja, azzal jellemezve, hogy a vékonyítandó kristály egyszintbe van elhelyezve a levékonyítás folyamán a rögzítő-ragasztó anyaggal, így a kristály szélén vékony perem képződik, amely egyrészt biztosítja a különböző sajátságokkal rendelkező oldalak szabad szemmel történő megkülönA kiadásért felel: a Közgazdasági és Jogi Könyvkiadó igazgatója 634213. Terv Nyomda, Budapest V., Balassi Bálint utca 21^23. böztethetőségét, másrészt, a vékony szeletek mechanikai ellenállóképességét növeli. 3. Az 1. igénypont szerinti eljárás, azzal jellemezve, hogy beágyazó anyagokként két különböző oldhatóságú, marószernek ellenálló műanyagot alkalmaznak. 4. Az 1. igénypont szerinti eljárás kivitelezési módja, azzal jellemezve, hogy beágyazó anyagként részben természetes, részben mesterséges eredetű makromolekuláris anyagot alkalmaznak. 5. Az 1. igénypont szerinti eljárás kivitelezési módja, azzal jellemezve, hogy a beágyazó anyagként a követelménynek megfelelő szervetlen eredetű ragasztóanyagokat alkalmaznak.