150772. lajstromszámú szabadalom • Többrétetű bevonat fotoelektromos vezetőképességű anyagból
2 150.772 A találmány szerinti többrétegű bevonat jól ielhasználható tulajdonságokkal rendelkezik az ultravörös színképtartományban kb. 2 m^i-ig, mint ez a tény az 1. ábrán feltüntetett diagramból kivehető. Az 1. ábra a görbéjén a technika állását képező bevonat színkép eloszlását, míg a b görbe a találmány szerinti többrétegű bevonatok színkép eloszlását ábrázolja. A fotoelektromos vezetőképességű anyagot a 2. ábrán feltüntetett kiviteli példának megfelelően egy televíziós képfelvevő csőbe az alábbi eljárás alkalmazásával visszük be. A 2. ábra a vázlatosan ábrázolt képfelvevő cső elülső részét mutatja hosszmetszetben. A cső légtelenített 1 üvegburájába van a szokásos, nem ábrázolt, sugárrendszer beépítve, amelyik néhány m/j átmérőjű eletkronsugár köteget állít elő. Ezen fókuszálható és eltéríthető elektronsugár segítségével lesz tudvalevőleg az üvegbura 2 homloklapja mögött található fotoelektromos vezetőképességű anyag letapogatva. A 2 homloklapnak a sugárrendszer felé néző, ill. a nyíl irányában beeső fénysugarakkal ellentétes felülete az átlátszó 3 vezetőréteggel, az ún. jellemezzel van ellátva, amelynek pozitív feszültséget adunk, és amelyik ismert fizikai törvények szerint a szokásos eszközökkel szolgáltatja a televíziós átvitel részére a képjelet. A 3 jel-lemez ezen működésére nézve az annak szabad felületére felvitt fotoelektromos vezetőképességű anyag döntő fontossággal bír. Ahogy a rajzon vázlatosan jelezve van, ez az anyag a három (4, 5 és 6) rétegből áll. A 4 réteg ólomszulfidból, az 5 réteg ólomoxidból és a 6 réteg antimontriszulfidból áll. Ez a hármas fotoelektromos vezető réteg az említett jó tulajdonságokkal rendelkezik, ami azt az ultravörös spektrálterület részére is szolgáló televíziós képfelvevő csövekben való használatra kiválóan alkalmassá teszi. Míg az elektromosan vezető, átlátszó 3 bevonat ismert eljárások alkalmazásával állítható elő, addig a találmány szerinti háromalkotós 4, 5 és 6 réteg előállítása előnyösen a következőképpen történik: A 3 bevonatra kb. 1 Torr nyomásnál a vékony, lyukacsos 4 ólomszulfid réteget párologtatjuk fel. E réteg vastagsága mintegy 0,3—0,6 m/i között ingadozhat. Erre a 4 rétegre most mintegy 10~2 Torr nyomásnál az ólomoxid lesz 0,1—0,3 m;x rétegvastagságban rágőzölögtetve. Utoljára következik az antimontriszulfid rágőzölögtetése mintegy 10 5 Torr nyomásnál. A 6 antimontriszulfid réteg vastagsága határozza meg lényegében az egész fotoelektromos félvezető réteg kapacitását. Ez a háromalkotós réteg, előállítása után, 1—4 percnyi időtartamra mintegy 170—180 C°-os hőmérsékletű hevítésnek lesz alávetve. A 4 ólomszulfidréteg vastagsága nem nagyon kritikus, míg az 5 ólomoxid réteg vastagsága rendkívül kritikus az anyag fotoelektromos érzékenységi mértékére nézve. A háromalkotós réteg lyukacsos, szivacsos kinézésű és hamar le lehet dörzsölni az alapról. A 3 jel-lemezen mégis eléggé tapad, úgyhogy a csövek üzemeltetése alatt semmiféle nehézség sem merült fel. A lyukacsosságot főleg a 4 ólomszulfid réteg határozza meg. Átnézetben a háromalkotós félvezető rétegnek vöröses színe van. Ezt a színt lényegében a 6 antimontriszulfid réteg szolgáltatja. Szabadalmi igénypontok: 1. Elektronikus képfelvevő berendezésben, főként televíziós képfelvevő berendezésben képfelvevő ernyőként, alkalmazható, fotoelektromos vezetőképességű anyagból álló többrétegű bevonat három egymásfelett elrendezett, egymással felületi érintkezésben álló olyan rétegből, amelynél az egyik réteg antimonszulfidból, a második réteg valamely fémoxidból, a harmadik réteg pedig valamely fémszulfidból áll, azzal jellemezve, hogy az antimontriszulfid réteg (6) egy ólomoxid réteggel (5), utóbbi pedig egy ólomszulfid réteggel (4) van borítva és amely adott esetben elektromos vezetőképességgel rendelkező lapra felvitt állapotban van és azzal elektromos érintkezésben áll. 2. Az 1. igénypont szerinti többrétegű bevonat kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy az ólomszulfid réteg (4) mintegy 0,3—0,6 m;i, az ólomoxíd réteg (5) mintegy 0,1—0,3 m/* vastag és az antimontriszulfid réteg (6) több m/i-nyi vastagságú. 3. Eljárás a 3. igénypont szerinti többrétegű bevonat előállítására, azzal jellemezve, hogy az elektromos vezetőlapra (3) először az ólomszulildet mintegy 1 Torr nyomásnál ólomszulfid réteg alakjában, majd az ólomszulfid rétegre az ólomoxidot ((5) mintegy 10~2 Torr nyomásnál ólomoxid réteg alkjában és végül a második rétegre az antimontriszulfidot (6) mintegy 10~5 Torr nyomásnál antimontriszulfid réteg alakjában párologtatjuk fel, majd az így kialakított többrétegű bevonatot 170—180 C° hőmérsékleten mintegy 1—4 percig hőkezeljük. 1 rajz A kiadásért íeíei a Közgazdasági és Jogi Könyvkiadó igazgatója 634211. Terv Nyomda, Budapest V., Balassi Bálint utca 21-23.
