150318. lajstromszámú szabadalom • Eljárás és berendezés germániumszeletek méretre marására
2 150.318 A találmányunk szerinti eljárást tehát a következőképpen hajtjuk végre. A szeletelt, majd darabolt germániumot találmányunk szerinti berendezésbe helyezzük, a vastagságnak a kívánt méretre való marása céljából. A 14 félvezető szeleteket a 10 edénybe helyezve, azokat az ott elhelyezett 11 marófolyadék minden irányban elkezdi marni. A 14 félvezető szeletek a 12 lemez 12a nyílásaiban helyezkednek el. A 12a nyílást felülnézetben a 2a. ábra, oldalmetszetbein a 2b. ábra ábrázolja részletesebben. A 2a. ábrán látható, hogy a nyílás egy egyenlőszárú háromszögből és egy téglalapból áll. Az egyenlőszárú háromszög alapja és a téglalap hosszabbik oldala azonos méretűek, ezt a méretet a rajzban ,,a"-val jelöltük. A téglalap rövidebb oldala ezen „a" méretnek a fele. Az egyenlőszárú háromszög szárainak hossza az „a" távolság másfélszerese. A téglalap és az egyenlőszárú háromszög úgy vannak összetolva, hogy egyetlen síkidomot képeznek, és a téglalap a háromszög csúcsát úgy vágja le, hogy egyrészt a háromszög alapjával párhuzamosan van elhelyezve a téglalap hosszabbik oldala és ha a téglalap rövidebbik oldalait meghosszabbítjuk, ezen meghosszabbítási vonalak a háromszög két másik csúcsát érintik, másrészt a téglalap által az eredeti háromszögből kimetszett kis háromszög alapja éppen a félvezető szelet kívánt x vastagsági mérete. A 2b. ábrán látható módon a 14 félvezető szelet a nyílásban átlósan felfekszik a háromszög alakú részben, és a nyíláson csak akkor tud átesni' ha a vastagság a kívánt x .értéket elérte. Ekkor a 14 félvezető szelet átesik a 12a nyíláson és a 13 védőfolyadékba jut, tehát a marás automatikusan megszűnik, mihelyt a félvezető szelet a kívánt vastagsági méretet elérte. A 11 marófolyadék és a 13 védőfolyadék között fajsúly különbség van. a 13 védőfolyadék a nagyobb fajsúlyú és így a nehézségi erő hatására természetszerűleg az helyezkedik el alul. A 12 lemezt a maró- és a védőfolyadék elválasztó vonala felett helyezkedik el úgy, hogy a behelyezett szeletek alsó csúcsa legyen a folyadék szétválasztó határfelülete, és így érjük el azt, hogy a méretre mart félvezető szelet a kívánt vastagsági méret elérésekor azonnal a 13 védőfolyadékba hullik, és annak alján helyezkedik el, ahonnan könnyűszerrel kivehető. A 14 félvezető szeleteket a 12 lemez 12a nyílásaiba csipesszel kézzel, vagy speciálisan erre a célra készített kézi, vagy félautomatikus, esetleg teljesen automatizált töltőkészülékkel végezhet j ük. A védőfolyadékból az oda lehullott 14 félvezető szeleteket úgy is eltávolíthatjuk, hogy alul egy csapot kinyitva, egyben a marófolyadék leomlásét a 12a nyílásokon keresztül bármilyen módon meggátolva, a védőfolyadékot leeresztjük, és így azzal együtt a 14 félvezető szeleteket is megkapjuk. A védőfolyadékot ezután a 15 oldalnyíláson keresztül újra betölthetjük. Eljárásunk végrehajtása gorán arra is kell ügyelnünk, hogy a 11 maró-Eoiyadékot oly méretekben hígítjuk, hogy az a félvezető szeleteket buborékképződés nélkül tudja marni, mert az esetleges felületi buborékképződés a félvezető szeleteket a nyílásból kiemelné. Marófolyadékul többféle anyagot használhatunk. Példaképpen, de semmiképpen sem korlátozó jelleggel, megadunk egy összetételt. Ezen összetétel a következő: 13 cm3 jégecet, 1 g bróm, 25 cm 3 tömény salétromsav és 17 g 46%-os fluorsav. A védőfolyadék legegyszerűbb esetben, pl. sizéntetraklorid lehet. A nyílásokkal ellátott lemez anyaga célszerűen csillám, vagy esetleg teflon lehet, de természetesen bármely olyan anyag jó, mely a vegyi hatásoknak ellenáll és nem viselkedik katalizátorként. Szabadalmi igénypontok: 1. Eljárás félvezető és más hasonló, főleg germániumszeletek méretre marására, azzal jellemezve, hogy a félvezető szeleteket oly edénybe adagoljuk, melyben felül egy marófolyadék van elhelyezve és ezen marófolyadék a belehelyezett szeleteket megmarva, azok egy a szeletek kívánt méretének megfelelő nagyságú és különleges kialakítású nyílásokkal ellátott lemezen keresztül a kívánt méret elérésekor a lemez alatt elhelyezett védőfolyadékba esnek, mely védőfolyadék nagyobb fajsúlyánál fogva a marófolyadék alatt helyezkedik el. 2. Az 1. igénypont szerinti eljárás foganatosítására szolgáló berendezés, jellemezve egy edénynyel, mely az edény alaplapjával párhuzamos és a félvezető szeletek kívánt méretre marásának megfelelő méretű és különleges alakú nyílásokkal ellátott lemezzel van kettéválasztva, mely lemez fölött maró folyadék és alatta a szeletek méreteitől függően a maró folyadéknál nagyobb fajsúlyú védőfolyadék van elhelyezve. 3. A 2. igénypont szerinti berendezés kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy a imaró és védőfolyadékot egymástól elválasztó lemez nyílásai úgy vannak kialakítva, hogy azok egy egyenlőszárú háromszög és egy téglalap összetolásából keletkeznek oly módon, hogy az egyenlőszárú háromszög alapja rövidebb mint a szárai és ez az alap a téglalap hosszabbik oldalával egyenlő méretű, míg a téglalap rövidebb oldala a háromszög oldalának fele és a háromszög szára az alap másfélszerese, a téglalapot úgy helyezzük el hoszszabbik oldalával a háromszög alapjával párhuzamosan, hogy a téglalap két rövidebb oldalának meghosszabbításai a háromszög alapjának két végpontját metszi, és a háromszög csúcsát a téglalap úgy vágja le, hogy a téglalap által a három-Bzög csúcsából kimetszett kis hasonló háromszög alapja a félvezető szelet kívánt vastagsági mérete. 1 rajz A kiadásért felel: a Közgazdasági és Jogi Könyvkiadó igazgatója 631041. Terv Nyomda, Budapest V., Balassi Bálint utca 21-23.
