148571. lajstromszámú szabadalom • Eljárás alumíniumnitrid gyártására

/fitf* 40. v^v ^TMT 20 -48 22 xTlZ^ /4 ^r rf §4 Fig. 4 f A 4£ 40 30 > 34 AT" 32 f>4—<,—^—l <$> 0 riq. 2 -44 46 ÍH85T1