148127. lajstromszámú szabadalom • Eljárás nagytisztatású, elsősorban félvezetők gyártására szolgáló szilícium előállítására

148.127 3 szilíciumtetraklorid gázt magával vivő hidrogéngázt áramoltatunk és azután a képződött wolframszilicidet vákuumban termikusan megbontjuk. 2. Az 1. igénypont szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy a wolframszilicid termikus bontását úgy végezzük, hogy mindjárt a végtermékként előállítani kívánt félvezetőt pl. fény elemet, egyenirányítót, stb. — nyerjünk. 3. Az 1. igénypont szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy a wolframszilicid előállítására a wolframfémet kiterjedt nagyfelületű alakban alkalmazzuk. 4. Az í. vagy 3. igénypont szerinti eljárás foganatosítás:! módja, azzal jellemezve, hogy a wolframot porkohászati úton előállított rudak alakjában alkalmazzuk, mikoris a rudakat olyan hőmérsékleten zsugorítjuk, hogy a pórusok nyitottak maradjanak és a rudat ezen a hőmérsékleten annyi ideig izzítjuk, hogy a wolframrúdban jelenievő tisztátalanságok a legmesszebbmenőén eltávozzanak. 5. A 2. igénypont szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy a WSÍ2 termikus bontásánál felszabaduló szilíciumot tantállemezen fogjuk fel. 6. A 2. igénypont szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy a felszabaduló szilícium felfogására szolgáló lemezt, pl. csiszolt, ömlesztett kvarcból készített lemezt olyan bevonattal pl. polistirol réteggel látjuk el, mely lehetővé teszi a felpárologtatott szilíciumból álló hártya, ill. iemezke könnyű leválasztását. 7. Egykristály előállítása a 2., 5. és 6. igénypontok szerint előállított rétegekből, vagy lemezkékből azzal jellemezve, hogy azokat nagyon tiszta, a tisztítás utolsó fázisában izzó titánnal, zikronnal, thorium mai tisztított argonban a szilícium olvadáspontjához közeleső hőmérsékleten a szükséges ideig izzítjuk. 8. A 2., 5., 6. igénypontokban meghatározott eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy a szilicidek termikus bontására szolgáló apparatúrával egy üveg- vagy kvarcedényt közlekedtetünk és abban nagy gázelnyelő képességgel bíró fémeket, pl. titánt, zirkont, thoriumot, tantált izzítunk annak megakadályozására, hogy az apparatúrában jelenlevő aktív gázok a keletkező szilícium rácsába beépülhessenek, vagy annak felületén adszorbeáltassanak. 2 rajz A kiadásért felel: a Közgazdasági és Jogi Könyvkiadó igazgatója 604596. Terv Nyomda, Budapest V., Balassi Bálint utca 21-23.