136207. lajstromszámú szabadalom • Eljárás könnyen elgőzölgő rétegek hőkezelésére

"^f Megjelent 1954. évi december hó 15-én. ORSZÁGOS TALÁLMÁNYI HIVATAL SZABADALMI LEÍRÁS 136.207. SZÁM. 21. g. 1-16, OSZTÁLY. — L-8559. ALAPSZÁM. Eljárás könnyen elgőzölgő rétegek hőkezelésére Licentia Patent-Verwaltungs-Gesellschaft mit beschränkter Haftung, Berlin A bejelentés napja: 1941. november hó 8. Németországi elsőbbsége: 1940. november hó 16. A találmány eljárás köimyen elgőzölögtethető rétegek hőkezelésére, mint amilyenre, pl. száraz egyenirányítók vagy záróréteges cellák fémvezető rétegeinek a formálásánál szükség van. A hőkezelés szabad levegőn gyakran nem lehetiseges, mivel ezek a rétegek könnyen oxidálódnak vagy vízgőz csekély nyomaira érzékenyek. A vákuumban „való hőkezelés hátránya, hogy az egész anyagréteg hordozójáról már aránylag alacsony hőmérsékleten elgőzölög, és a vákuumedény valiamely hidegebb részén csapódik le. Ezért ajánlották már, hogy a hőkezelést levegő kizárása mellett, azonban közömbös gázok jelenlében végezzék, melynek részleges nyomása a réteg anyagának újra való elgőzölgését megakadályozza. Ez az eljárás azonban rendkívül körülményes, mivel meghatározott nyomást kell betartani, és az alkalmazott gázokat előzetesen gondosan tisztítani kell. A találmány szerinti eljárás lehetővé teszi, hogy a hőkezelést vákuumban eszközöljük, anélkül, hogy a réteg anyaga újra elgőzölögne, mégpedig úgy, hogy a kezelési hőmérsékleten tartott réteget a vele szemben kis távolságban elrendezett lemezalakú hőforrás hatásának tesszük ki. Így elérjük, hogy e. járulékos hőforrás alkalmas kialakításával és hőmérsékletével a közötte és a réteg között lévő térben állandó egyensúlyi állapot áll be, mely vagy egyáltalában megakadályozza, hogy a réteg anyaga hordozójáról eltávozzék, vagy pedig az esetleg elgőzölgött részecskéket a hordozóra visszaverődni kényszeríti. A legelőnyösebb viszonyokat akkor kapjuk, ha a járulékos hőforrást a réteg hőmérsékletével legalább is egyenlő vagy előnyösen még valamivel magasabb hőmérsékleten tartjuk. A találmány szerinti eljárás foganatosítására különösen olyan berendezés vált be, melynél legalább az egyik fütőszerkezötnek, tehát vagy a réteghordozóra ráfekvő, vagy a réteggel/Szemben elrendezett fűtőszerkezetnek körgyűrű alakú gallérja van, melynek széles karimafelülete a másik fűtőszerkezethez oly közel van elhelyezve, hogy a kettő között megmaradó gyűrűs rés magaseága a karima szélességéhez képest kicsi. A körgyűrű alakú rés magassága célszerűen kisebb, minit 5 mm. A. találmény szerinti berendezés előnyös elrendezését az ábra vázlatosan mutatja. A pl. szelénből való —1— réteggel ellátott —2— hordozó a lemezalakú —3— fűtőfoirrással szorosan érintkezik, A fűtőforrásnak gyűrű alakú —4— gallérja vam, melynek széles —5— karima felülete a réteggel szemben elrendezett —6— fűtőforrással szemben kis távolságban fekszik. A két fütőforrás közötti —7— gyűrűs rész magassága kisebb, mintömm. Célszerűen egészen 1/10 mm-re csökkenthető. Ha a —6— fűtőforrás hőmérséklete valamivel magasabb, .mint a —3— fűtőforrásé, akkor az"—1— réteg észrevehetően egyáltalán nem fog elgőzölögni. Az esetleg elgőzölgött részecskék számára minden esetre lehetetlen, hogy a —7— gyűrűs résen át a fűtőforrások közötti teret elhagyhassák. Azt tapasztaltuk, hogy 10 4

mm higanyoszlopnál nagyobb vákuumnál és a fűtőszerkezietek közötti néhány tizedmiliméteres távolság mellett a —6— fűtőszerkezeten az —1— réteg anyagának még nyomai sem állapíthatók meg. A —3— és —6— hőforrások evakuálható edényben vannak elrendezve és pedig célszerűen akként, hogy azok egyike a másikkal szemben kilengethető. E fűtés pl. —8—9— fűtőspirálisokkal történhetik. Szabadalmi igénypontok: 1. Eljárás könnyen elgőzölögtethető vékony rétegek hőkezelésére, pl. félvezetőrétegeknek vákuumban