131196. lajstromszámú szabadalom • Berendezés kiváltképen fémes rétegek előállítására termikus felgőzöléssel
2 131196. a szelén, melyek a tartólemez meghatározott magasabb hőmérsékleténél arra előírt kristályos módosulatban csapódnak le anélkül, hogy ehhez még külön hőkcze-5 lésre volna szükség. A találmány szerinti berendezéssel sikerült annyira érzékenyen reagáló félvezetőkből is olyan rétegeket előállítani, melyek a tartólemez teljes kiterjedésében nemcsak 10 rétegvastagságuk, hanem szövetük és szerkezetük tekintetében is, azonos sajátságúak. Azonos rétegvastagságok elérésénél ugyanis mindenkor ugyanaz a szublimáló hőmennyiség lép fel, amely a réteg szerke-15 zetét mértékadóan befolyásolja. Szabadalmi igénypontok: 1. Berendezés egyenletes rétegek, kiváltképen fémrétegek előállítására gőzölő eljárással, jellemezve a gőzölendő testtel 20 szoros hőkapcsolathan álló tarlóval és a gőzáramot egész hosszában körülvevő ernyővel, amelyek miudegyikének egyegy mindkét részen azonos hőmérsékletek beállítását lehetővé tevő fűtőberendezése van. 25 2. Az 1. igénypont szerinti berendezés kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy a gőzölendő (4) test részére való (1) tartónak és a (2) ernyőnek egymás felé fordított peremrészükön széles gyűrűs- 30 felületük van, melyek egymással szemben csekély távolságban vannak elrendezve. 3. Az 1. vagy 2. igénypont szerinti berendezés kiviteli alakja, azzal jellemezve, 35 hogy a (2) ernyő belső átmérője megközelítően kétszerese a (4) gőzölendő felület átmérőjének. 4. Az 1—3. igénypontok bármelyike szerinti berendezés kiviteli alakja, azzal 40 jellemezve, hogy az elgőzölögtető teret határoló részek hőkapacitása legalább megközelítően azonos. 5. Az 1—3. igénypontok bármelyike szerinti berendezés kiviteli alakja, azzal 45 jellemezve, hogy az elgőzölögtető teret határoló részek hősugárzó képessége megközelítően azonos. legalább 1 rajzlap melléklettel. Felelős kiadó: áv. ladoméri SZMEUTNIK ISTVÁN' m. ktr. szabadalmi bíró, „JÖVŐ" Ny«MMJ*sx8vetkeaet, Budapest, IX.. Erkel-u. 17. Tel.: 182-278. Fol. v§K.: Demjén Ferenc