131196. lajstromszámú szabadalom • Berendezés kiváltképen fémes rétegek előállítására termikus felgőzöléssel

, Megjelent 1943. évi február hó 15-én. MAGYAB KIRÁLYI (JJBOHC SZABADALMI BIRÖSÁQ SZABADALMI LEÍRÁS 131196. szám. XVI/c. (VH/g.) osztály. — L—8639. alapszám. Berendezés kiváltképcn íémes rétegek előállítására termikus felgőzöléssel. Licentia Pa tent-Verwaltungs-Gesellschaft mit beschränkter Haftung, Berlin. A bejelentés napja: 1942. évi január hó 17. — Németországi elsőbbsége: 1941. évi január hő 28. Vékony réLegeknek, kiváltképen fémrétegeknek termikus felgőzölő eljárással való előállítása a legkülönfélébb célokra kitűnően bevált. Kitűnt azonban, hogy gyak-5 ran, mindenekelőtt akkor, ha nagyobb kiterjedésű rétegekről vau szó; a rétegvastagság az egyes rétegeken belül ingadozik. Mindenekelőtt gyakran megfigyelhető, hogy a rétegvastagság a szélek felé csökken. A vélő gctt, hogy a rétegvastagságnak ezt a csökkenését elkerüljük és nagyobbszámú rétegek folyamatos előállításánál az egyenletességet rétegenként is fokozzuk, a találmány értelmében gondoskodnunk kell ar-15 ról, hogy a gőzáram keresztmetszetében hőesés ne álljon elő és különösen hogy a gőzáram közelében ne legyenek hűvösebb, a gőzrészecskék lecsapódását elősegítő felületek. Ezt pl. úgy érhetjük el, hogy a 2o gőzölésnek kitett testtel szoros hőkapcsolalban álló tartót és a gőzáramot egész hosszában körülvevő ernyőt rendezünk el, melyek mindegyikének egy-egy fűtőberendezése van, melyek mindkét részen nagy-25 jából azonos hőmérsékletek beállítását teszik lehetővé. A rajz a találmány szerinti berendezés . példakénti kiviteli alakját ábrázolja. A berendezésnek lényegileg három —1—, 30

—2—, —3— része van, melyek nem szemléltetett légteleníthető edény belsejében (vannak. A felső, előnyösen központon kívüli tengely körül lengethető —1— rész a gőzölésnek kitett test, tehát pl. —4— 35 lemez felvételére való. Ez lefelé nyitott, előnyösen hengeres tartályból áll, melynek fenekén a gőzölésnek kiteendő —4— test rögzíthető és ettől csekély távolságra —5— fűtőberendezése van, mely pl. ellenálláshuzalból készült tekercsből állhat. Az el- 40 gőzölendő anyag a —3— kemencében van, mely —6— tolófedővel kívülről tetszés szerint elzárható. Ennek a tolófedőnek nem szabad a kemencével hővezető érintkezésben állnia, mert különben a felette levő 45 —2— test egyes részeit egyenetlenül melegítené fel. A —3— kemencéből kiinduló gőzáramot oldalról lényegileg hengeres —2— ernyő határolja, melynek falában szintén az —5— berendezésnek megfelelő 50 —7— fűtőberendezés van. A hengeres —2— ernyő belső átmérője előnyösen kétszerese a gőzölésnek kitett —4— lemez átmérőjének. Ha mármost a —2— és —-1— részek fűtésévei gondoskodunk arról, hogy 55 a hőmérséklet a —4— gőzölésnek kitett test helyén és a —3— kemencéből a —-4— irányában kilépő gőzáram környezetében azonos legyen, akkor meglepő módon azt találtuk, hogy — nyilvánvalóan a gőzáram 60 keresztmetszetében hőesés hiánya miatt — a rétegvastagság az egyes rétegekben, valamint azonos időtartamok és hőmérsékletek betartása esetén rétegenként is egyenletes és azonos. 65 Ennek különös jelentősége oly rétegek előállításánál van, melyeknek a —4— helyen elrendezett tartólemezen rögtön meghatározott módosulatban kell jelentkezniök. Ez történik pl. félvezetőknél, mint amilyen 70