125659. lajstromszámú szabadalom • Eljárás vákuumban való elgőzölögtetésre

125659. Az 1—5. igénypontok bármelyike szerinli eljárás foganalosílási módja, melyre jellemző, hogy az elieklronsugarak iörrásakénl hideg kálódat alkalmazunk. Az 1—7. igényponlok bármelyike szerinti eljárás foganalosílási módja, melyre jellemző, hogy az e '•lak Irons .ugarakai oly lérben létesítjük, melynek nyomása eltér annak a télinek a nyomásától, amelyben az anyagól elgőzölögi etjük. A 8. igénypont szerinti eljárás foganatosítást módja, melyre jellemző, hogy az eleklronsugarakat az egyik térből a. másikba lyukrekeszen ál vezetjük. A S). igénypont .szeri ni i eljárás löganalosítási módja, melyre jellemző, hogy a két térben uralkodó ellen") nyomások fenntartása végeit a lyukrekeszei: át állandó légáramot tartunk lenül azáltal, bogy a. nagvohb nyomású térbe folytonosa n levegői vezetünk, míg a másik terel evakuáljuk. A 10. Igénypont szerinti eljárás fogairalosílási módja, melyre jel Írem zö, bogy a levegő helyiéit az elgőzölögleilendő anyaggal, a gőzzel és a lecsapolt réteggel vegyileg nem reagáló gázt alkalmazunk. A 10. vagy II. igényponlok bármelyike szerinli eljárás lőganalosílási módja, melyre jellemző, bogy a két tér közötti nyomáskülönbség fokozása végett egymás mögött több, labirinllömílés módjára elrendezett lyukrekeszl alkalmazunk. A 12. igénypont szerinti eljárás lőganalosílási ;

módja, melyre jellemző, hogy az egyes lyukrekeszek közötti tereiket legs z i va Hy ókhoz csa IIa kozlal j u k. A X- 111 igényponlok bármelyike szerinli eljárás lőganalosílási módja, melyre jellemző, hogy a,z egyik 1 érben létesített elektronsugara kai eleklronoplikai eszközökkel, a lyukrekesz nyílásán át, a másik térbe tereljük" és ott további eleküxjiioptikai eszközökkel az elgőzölögteleiidő testen egyesílj ü k. 15. Az 1-11. igény pontok bármelyike sze- 50 rinli eljárás foganalosílási módja, melyre jellemző, hogy kis mc'leg vezetőképességű anyagokat elgőzölögtetés végeit felvevő edény nélkül lömbök vagy telszőlegesen ...formált, testek alakjában. 55 viszünk az elektronsugarak. sugármer.etébe. .10. A .15. igénypont szerinli eljárás foganalosílási módja., melyre jellemző, hogy az eleklronsugarakoak az elgőzölögte- 60 tendő lest felületén, való IJeilcsapódási ponljál eltoljuk. 17. A 15. igénypont szerinti eljárás foganalosílási módja, melyre jellemző, hogy az el gőzölög le len dő lesiet az elektron- 6^ sugarak l'elesapódási pontjával szemben eltoljuk vagy elforgatjuk. 1(S. A 15. igényponl szerinli eljárás lőganalosílási módja, melyre jellemző, hogy az eieklronsugarak l'elesapódási pont- 70 ját és az elgőzölögi élendő lesiet egymással szemben elmozgatjuk. 1!). Az 1 II. igényponlok bármelyike szerinli eljárás foganalosílási módja, melyre jellemző, hogy az elgőzölögte- 75 tendő anyagól az elgőzölögtetés helyéhez megszakítás nélkül egyenletesen vezetjük. 20. A 1í). igénypont szerinli eljárás foganalosílási módja, melyre jellemző, hogy S0 az elgőzölögteleiidő anyag utánszál'ílásál önműködően, megszakítjuk, ha az elgőzölögtetés .helyén a kívántnál több clgőzöliögtelendŐ! anyag gyüll össze. 21. A 20. igényponl szerinli eljárás foga- 85 nalosilási módja, melyre, jellemző, hogy az ulánszátlílásl az. elgőzölögtetés helyén .lévő megömlöll anyag súlyával mehanikus vagy villamos álvivőszerkezel útján szakíljuk meg. 90 1 rajzlap melléklettel.